JP5204124B2 - スパッタリングターゲット修復用の方法 - Google Patents
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Description
(態様1)
スパッタではじき出されなかった金属から成る使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットは、消耗した領域を有する、
加熱プレスダイ内に、充填されたスパッタリングターゲットを配置するステップ、
該加熱プレスダイ内に、該スパッタリングターゲットを配置するステップの前または後のいずれかにおいて、該消耗した領域を、該金属の粉末で充填し、それによって、充填されたスパッタリングターゲットを生産するステップ、および、
固体拡散プロセスの間に、該粉末化金属が該スパッタではじき出されなかった金属と焼結して結合して、修復されたターゲット中の他の部分で見いだされるのと同じ、該スパッタではじき出されなかった金属と該焼結された粉末との間の界面における気孔率および特異的な粒子成長を、有する均質な修復されたターゲットを生産するように、該充填されたスパッタリングターゲットに、充分な熱および一軸方向の力を適用して、該充填されたスパッタリングターゲットを加熱プレスするステップ、
の各ステップを含んで成る、使用済みスパッタリングターゲットを修復する方法。
(態様2)
該修復されたターゲットの所望の重量を確認するステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットの重量を決定するステップ、
該粉末および該使用済みスパッタリングターゲットの全重量は、該修復されたターゲ ットの該所望の重量に等しく、それによって、該粉末の過剰量の使用を避ける、
の各ステップをさらに含む、態様1に記載の方法。
(態様3)
該充填されたスパッタリングターゲットが上面を有し、該消耗した領域が上面上にあり、そして該一軸方向の力が、該上面に対して垂直な方向で該充填されたスパッタリングターゲットに適用される、態様1に記載の方法。
(態様4)
充分な熱および一軸方向の力を適用するステップが、該金属の融点未満に該ダイの温度を維持し、固体拡散が、充分な熱および一軸方向の力を適用するステップの間に、生じている唯一のメカニズムであるようにする、態様1に記載の方法。
(態様5)
該粉末は、ルテニウム、白金およびロジウムからなる群から選択される金属を含む、態様1に記載の方法。
(態様6)
トップパンチを用いて、該一軸方向の力が適用され、および充分な熱および一軸方向の力を適用するステップの前に、バリアー層が該トップパンチと該粉末との間に挿入される、態様1に記載の方法。
(態様7)
充分な熱および一軸方向の力を適用するステップが、該粉末を焼結し、そして修復されたターゲット中の他の部分で見いだされるのと同じ、気孔率および該スパッタではじき出されなかった金属と該焼結された粉末との間の界面における特異的な粒子成長を、有する該使用済みスパッタリングターゲットとの固体拡散結合を形成するのに充分な時間行われる、態様1に記載の方法。
(態様8)
該粉末化金属が、少なくとも2種の金属の合金を含む、態様1に記載の方法。
(態様9)
該粉末化金属が、金属酸化物を含む、態様1に記載の方法。
(態様10)
該粉末化金属が、Co−Cr−Pt−B酸化物を含む、態様1に記載の方法。
(態様11)
スパッタではじき出されなかった金属から本質的に成る使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットは、消耗した領域を有する、
修復されたターゲットの所望の重量を確認するステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットの重量を決定するステップ、
該粉末および該使用済みスパッタリングターゲットの全重量が、該修復されたターゲットの該所望の重量に等しいように、金属粉末を測定するステップ、
該金属粉末は、単一の金属から本質的に成る、
加熱プレスダイ内に該充填されたスパッタリングターゲットを配置するステップ、
該加熱プレスダイ内に、該スパッタリングターゲットを配置するステップの前または後のいずれかにおいて、該金属粉末で該消耗した領域を充填し、それによって、充填されたスパッタリングターゲットを生産するステップ、そして、
固体拡散プロセスの間に、該粉末化金属が該スパッタではじき出されなかった金属と焼結し、そして融合して、修復されたターゲット中の他の部分で見いだされるのと同じ、気孔率および該スパッタではじき出されなかった金属と該焼結された粉末との間の界面における特異的な粒子成長を、有する均質な修復されたターゲットを生産するように、該充填されたスパッタリングターゲットに、充分な熱および一軸方向の力を適用して、該充填されたスパッタリングターゲットを加熱プレスするステップ、
の各ステップを含んで成る、使用済みスパッタリングターゲットを修復する方法。
(態様12)
該金属粉末が、ルテニウム、白金、およびロジウムからなる群から選択される、態様11に記載の方法。
(態様13)
スパッタではじき出されなかったルテニウムから本質的に成る使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットは、消耗した領域を有する、
修復されたターゲットの所望の重量を確認するステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットの重量を決定するステップ、
該粉末化ルテニウムおよび該使用済みスパッタリングターゲットの全重量が該修復されたターゲットの該所望の重量に等しいように、粉末化ルテニウムのサンプルを測定するステップ、
加熱プレスダイ内に、該スパッタリングターゲットを配置するステップ、
該加熱プレスダイ内に該スパッタリングターゲットに配置する該ステップの前または後のいずれかにおいて、該粉末化ルテニウムで該消耗した領域で充填し、それによって、充填されたスパッタリングターゲットを生産するステップ、そして、
該粉末化ルテニウムが該スパッタではじき出されなかったルテニウムと焼結して結合して、修復されたターゲット中の他の部分で見いだされるのと同じ、気孔率および該スパッタではじき出されなかった金属と該焼結された粉末との間の界面における特異的な粒子成長を、有する均質な修復されたターゲットを生成するように、該充填されたスパッタリングターゲットに約1400℃〜約1550℃の熱および一軸方向の力を適用して、該充填されたスパッタリングターゲットを加熱プレスするステップ、
の各ステップを含んで成る、使用済みスパッタリングターゲットを修復する方法。
(態様14)
熱を適用するステップが、約1400℃〜約1550℃の温度に、約5時間〜約10時間の間、該ダイを維持させる、態様13に記載の方法。
(態様15)
該消耗した領域が、不均一である、態様13に記載の方法。
(態様16)
側壁によって囲まれた空洞を含む、加熱プレスダイ、
該側壁は、以下の関数の漸近線に相当する厚みを有する:
(態様17)
該空洞が、断面において円形である、態様16に記載の加熱プレスダイ。
(態様18)
該ダイが、高グレードのグラファイトからなる、態様16に記載の加熱プレスダイ。
(態様19)
グラファイトのブロックを旋盤加工して、態様16中で記載されたような加熱プレスダイを形成するステップを含む、加熱プレスダイを形成する方法。
(態様20)
使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるための空洞を含む加熱プレスダイ、
該空洞は、内径を有し、そして該加熱プレスされたダイは、外径を有し、そして該外径の該内径に対する比は、約2.36である。
Claims (13)
- スパッタではじき出されなかった特定の組成の金属または金属酸化物から成る使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットは、その上面上の非均一な消耗した
領域および該消耗した領域の反対側にある裏面を有する、
当初の形状における、該使用済みのスパッタリングターゲットの重量に相当する所望の重量を確認するステップ、
該使用済みのスパッタリングターゲットの重量を決定するステップ、
底壁を有する加熱プレスダイ内に、該ターゲットの該裏面が該底壁と接するように該使用済みのスパッタリングターゲットを配置するステップ、
金属粉末または金属酸化物粉末で該非均一な消耗した領域のみを充填するステップであって、ここで該粉末は該スパッタではじき出されなかった金属または金属酸化物の該特定の組成に相当する特定の組成を有し、該充填するステップが、該加熱プレスダイ内に該スパッタリングターゲットを配置するステップの前または後のいずれかにおいて行われ、それによって、粉末の層および該粉末と該消耗した領域との間に界面を有する充填されたスパッタリングターゲットを生産し、ここで該粉末および該使用済みのスパッタリングターゲットの全重量が該所望の重量に実質的に等しいステップ、そして、
固体拡散プロセスの間に、該粉末化金属または該粉末化金属酸化物が該スパッタではじき出されなかった金属または金属酸化物と焼結して結合して、それによって該界面を均質化させることにより該使用済みのターゲットを該当初の形状に修復させ、そして均質な修復されたターゲットを生産するように充分な熱および該消耗された領域の該上面と垂直の方向に一軸方向の力を適用して、固体状態拡散が、該充分な熱および一軸方向の力を適用するステップの間に生じる唯一のメカニズムであることを確かにするように、該金属または金属酸化物の融点の温度未満に温度を保持しながら、該充填されたスパッタリングターゲットを加熱プレスするステップ、
の各ステップを含んで成る、スパッタリングターゲットの当初の形状にスパッタリングターゲットを修復させるための使用済みスパッタリングターゲットを修復する方法であって、
光学ストレージ媒体を生産するために、基材上に薄膜を堆積させるのに、該修復されたスパッタリングターゲットを利用するステップを更に含む、方法。 - 該粉末は、ルテニウム、白金およびロジウムからなる群から選択される金属を含む、請求項1に記載の方法。
- トップパンチを用いて、該一軸方向の力が適用され、および充分な熱および一軸方向の力を適用するステップの前に、バリアー層が該トップパンチと該粉末との間に挿入される、請求項1に記載の方法。
- 該粉末化金属が、少なくとも2種の異なる金属の合金を含み、少なくともその1種がルテニウム、白金およびロジウムから選択されている、請求項1に記載の方法。
- 該粉末化金属酸化物が、Co−Cr−Pt−B酸化物であり、そして該使用済みのスパッタリングターゲットが、該Co−Cr−Pt−B酸化物と同一の組成からなる、請求項1に記載の方法。
- スパッタではじき出されなかった特定の組成の単一の金属から本質的に成る使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットは、その上面上の非均一な消耗した
領域および該消耗した領域の反対側にある裏面を有する、
当初の形状における、該使用済みのスパッタリングターゲットの所望の重量に相当する所望の重量を確認するステップ、
該使用済みのスパッタリングターゲットの重量を決定するステップ、
粉末および該使用済みスパッタリングターゲットの全重量が、該単一の修復されたターゲットの該所望の重量に実質的に等しいように、金属粉末を測定するステップ、
該金属粉末は、同一の単一の金属から本質的に成る、
底壁を有する加熱プレスダイ内に該ターゲットの該裏面が該底壁と接するように該使用済みのスパッタリングターゲットを配置するステップ、
該金属粉末で該非均一な消耗した領域のみを充填するステップであって、ここで該粉末は該スパッタではじき出されなかった金属の該特定の組成に相当する特定の組成を有し、該充填するステップが、該加熱プレスダイ内に該スパッタリングターゲットを配置するステップの前または後のいずれかにおいて行われ、それによって、粉末の層および該粉末と該消耗した領域との間に界面を有する充填されたスパッタリングターゲットを生産し、ここで、該粉末および該単一の使用済みのスパッタリングターゲットの全重量は、該当初のターゲットの該所望の重量に実質的に等しいステップ、そして、
固体拡散プロセスの間に、該粉末化金属が該スパッタではじき出されなかった金属と焼結して結合して、それによって該界面を均質化させることにより該使用済みのターゲットを該当初の形状に修復させ、そして均質な修復されたターゲットを生産するように、充分な熱および該消耗された領域の該上面と垂直の方向に一軸方向の力を適用して、固体状態拡散が、該充分な熱および一軸方向の力を適用するステップの間に生じる唯一のメカニズムであることを確かにするように、該金属の融点の温度未満に温度を保持しながら、該充填されたスパッタリングターゲットを加熱プレスするステップ、
の各ステップを含んで成る、スパッタリングターゲットの当初の形状にスパッタリングターゲットを修復させるための使用済みスパッタリングターゲットを修復する方法。 - 該金属粉末が、ルテニウム、白金、およびロジウムからなる群から選択される、請求項6に記載の方法。
- スパッタではじき出されなかった特定の組成を有するルテニウムから本質的に成る使用済みスパッタリングターゲットを受け入れるステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットは、その上面上の非均一な消耗した
領域および該消耗した領域の反対側にある裏面を有する、
当初の形状における、該使用済みのスパッタリングターゲットの所望の重量に相当する修復されたターゲットの所望の重量を確認するステップ、
該使用済みスパッタリングターゲットの重量を決定するステップ、
粉末化ルテニウムおよび該使用済みスパッタリングターゲットの全重量が該修復されたターゲットの該所望の重量に実質的に等しいように、粉末化ルテニウムから本質的に成るサンプルを測定するステップ、
底壁を有する加熱プレスダイ内に該底壁と該ターゲットの該裏面が接するように、該使用済みのスパッタリングターゲットを配置するステップ、
該加熱プレスダイ内に該スパッタリングターゲットを配置する該ステップの前または後のいずれかにおいて、該粉末化ルテニウムで該非均一な消耗した領域のみを充填するステップであって、それによって、粉末の層および該粉末と該消耗した領域との間に界面を有する充填されたスパッタリングターゲットを生産し、ここで、該粉末および該使用済みのスパッタリングターゲットの全重量は、該当初のターゲットの該所望の重量に実質的に等しいステップ、そして、
該粉末化ルテニウムが該スパッタではじき出されなかったルテニウムと焼結して結合して、それによって該界面を均質化させることにより該使用済みのターゲットを該当初の形状に修復させ、そして均質な修復されたターゲットを生産するように、1400℃〜1550℃の熱および該消耗された領域の該上面と垂直の方向に40MPa〜60MPaの一軸方向の力を適用して、該充填されたスパッタリングターゲットを加熱プレスするステップ、
の各ステップを含んで成る、スパッタリングターゲットの当初の形状にスパッタリングターゲットを修復させるための使用済みスパッタリングターゲットを修復する方法。 - 熱を適用するステップが、1400℃〜1550℃の温度に、5時間〜10時間の間、該ダイを維持させる、請求項8に記載の方法。
- 該充填されたスパッタリングターゲットが該加熱プレスダイ中の空洞内に配置され、該空洞は、内径を有し、そして該加熱プレスされたダイは、外径を有し、そして該外径の該内径に対する比は、2.36である、請求項1に記載の方法。
- 光学ストレージ媒体を生産するために、基材上に薄膜を堆積させるのに、該修復されたスパッタリングターゲットを利用するステップを更に含む、請求項6に記載の方法。
- 光学ストレージ媒体を生産するために、基材上に薄膜を堆積させるのに、該修復されたスパッタリングターゲットを利用するステップを更に含む、請求項8に記載の方法。
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