JP5197175B2 - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
インクを吐出する吐出手段を有する記録素子基板と、前記記録素子基板の電気接続部に接続される複数のインナーリード接続部を有する電気配線基板と、前記記録素子基板を支持する支持部材と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
チクソトロピー性を有する第1の粘度を有する封止剤に第1の剪断力を付与し前記第1の粘度よりも小さい第2の粘度に変化させ、前記複数のインナーリードの間を介して前記複数のインナーリードと前記支持部材との間の領域に封止剤を塗布する第1の工程と、
前記第1の粘度を有する封止剤に第2の剪断力を付与し前記第1の粘度よりも小さく、かつ前記第2の粘度よりも大きい第3の粘度に変化させ、前記複数のインナーリードの前記支持部材側とは反対側に封止剤を塗布する第2の工程と、
を有することを特徴とする。
図5は、本発明に係る製造方法における封止工程の一例を示す模式図である。図5は、流路形成部材16を有する記録素子基板3と、フレキシブル配線基板1のインナーリード2とがバンプ17により接続された電気接続部分を、チクソトロピー性を有する封止剤13で封止している状態を示している。なお、これらは、マクラ4とともにチッププレート5に設置されている。ディスペンサー12から吐出される封止剤13には、ディスペンサー12に設置されている超音波振動子14からの超音波による剪断力を付与することができ、その剪断力の大きさは、超音波振動子コントローラ15により制御される。
・ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂 20質量部
(商品名:EP−4100、株式会社ADEKA製)
・メチルヘキサヒドロ無水フタル酸 20質量部
(商品名:リカシッドMH700、新日本理化株式会社製)
・結晶性シリカ 60質量部
(商品名:F8、株式会社ニッチツ製、平均粒子径:8μm)
・微粒子シリカ 2質量部
(商品名:200、日本アエロジル株式会社製、平均粒子径:12nm)
・硬化促進剤 0.3質量部
(商品名:1B2PZ、四国化成工業株式会社製)
なお、超音波振動子の周波数は1MHzであり、超音波振動コントローラによってその振幅を調整することができる。また、樹脂組成物には超音波振動を付与し、超音波振動子への印加電力を変化させることで樹脂組成物へ付与される剪断力を調整して、樹脂組成物の粘度を30Pa・sから300Pa・sの範囲で制御できるようにした。
図6は、本発明に係る製造方法における封止工程の一例を示す模式図である。図6は、流路形成部材16を有する記録素子基板3と、フレキシブル配線基板1のインナーリード2とがバンプ17により接続された電気接続部分を、チクソトロピー性を有する封止剤13で封止している状態を示している。なお、これらは、マクラ4とともにチッププレート5に設置されている。ディスペンサー12から吐出される封止剤13には、チッププレート5に設置されている超音波振動子14からの超音波による剪断力を付与することができ、その剪断力の大きさは、超音波振動子コントローラ15により制御される。
・ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂 25質量部
(商品名:EP−4100、株式会社ADEKA製)
・メチルヘキサヒドロ無水フタル酸 20質量部
(商品名:リカシッドMH700、新日本理化株式会社製)
・結晶性シリカ 65質量部
(商品名:F8、株式会社ニッチツ製、平均粒子径:8μm)
・微粒子シリカ 3質量部
(商品名:200、日本アエロジル株式会社製、平均粒子径:12nm)
・硬化促進剤 0.2質量部
(1B2PZ、四国化成工業株式会社製)
また、チッププレートに超音波振動子を設置した。なお、超音波振動子の周波数は200kHzであり、超音波振動コントローラによってその振幅を調整することができる。また、樹脂組成物には超音波振動を付与し、超音波振動子への印加電力を変化させることで樹脂組成物へ付与される剪断力を調整して、樹脂組成物の粘度を25Pa・sから290Pa・sの範囲で制御できるようにした。
以下の成分からなる樹脂組成物をシリンジ4本に充填した。
・ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂 20質量部
(商品名:EP−4100、株式会社ADEKA製)
・メチルヘキサヒドロ無水フタル酸 20質量部
(商品名:リカシッドMH700、新日本理化株式会社製)
・結晶性シリカ 65質量部
(商品名:F8、株式会社ニッチツ製、平均粒子径:8μm)
・微粒子シリカ 1.5質量部
(商品名:200、日本アエロジル株式会社製、平均粒子径:12nm)
・硬化促進剤 0.3質量部
(商品名:1B2PZ、四国化成工業株式会社製)
超音波振動子を取り付けた水槽中に、封止を行うチップユニットを4個設置し、水を介在して全てのチップユニットに超音波振動が同時に伝わるようにした。超音波振動子の周波数は150kHzであり、超音波振動コントローラによってその振幅を調整することができる。また、樹脂組成物には超音波振動を付与し、超音波振動子への印加電力を変化させることで樹脂組成物へ付与される剪断力を調整して、樹脂組成物の粘度を20Pa・sから280Pa・sの範囲で制御できるようにした。
以下の成分からなる樹脂組成物をシリンジに充填した。
・ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂 30質量部
(商品名:EP−4100、株式会社ADEKA製)
・メチルヘキサヒドロ無水フタル酸 20質量部
(商品名:リカシッドMH700、新日本理化株式会社製)
・硬化促進剤 0.2質量部
(商品名:1B2PZ、四国化成工業株式会社製)
そして、樹脂組成物には剪断力を付与せずにインナーリードの封止を行った。上記のようにインナーリード接続部の封止を行ったチップユニットを用いて、図1に示すようなインクジェット記録ヘッドを作製した。
以下の成分からなる樹脂組成物をシリンジに充填した。
・ビスフェノールAグリシジルエーテル型エポキシ樹脂 15質量部
(商品名:EP−4100、株式会社ADEKA製)
・メチルヘキサヒドロ無水フタル酸 20質量部
(商品名:リカシッドMH700、新日本理化株式会社製)
・結晶性シリカ 100質量部
(商品名:F8、株式会社ニッチツ製、平均粒子径:8μm)
・微粒子シリカ 5質量部
(商品名:200、日本アエロジル株式会社製、平均粒子径:12nm)
・硬化促進剤 0.5質量部
(商品名:1B2PZ、四国化成工業株式会社製)
そして、樹脂組成物には剪断力を付与せずにインナーリードの封止を行った。上記のようにインナーリード接続部の封止を行ったチップユニットを用いて、図1に示すようなインクジェット記録ヘッドを作製した。
実施例1〜3および比較例1、2で作製したインクジェット記録ヘッドを用いて信頼性評価を行った。具体的には、約10000枚の印字耐久試験を行った。
2 インナーリード
3 記録素子基板
4 マクラ
5 チッププレート
6 チップユニット
7 接着剤
8 接着剤
9 接着剤
10 インナーリード下封止部
11 インナーリード上封止部
12 ディスペンサー
13 封止剤
14 超音波振動子
15 超音波振動子コントローラ
16 流路形成部材
17 バンプ
Claims (9)
- インクを吐出する吐出手段を有する記録素子基板と、前記記録素子基板の電気接続部に接続される複数のインナーリード接続部を有する電気配線基板と、前記記録素子基板を支持する支持部材と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
チクソトロピー性を有する第1の粘度を有する封止剤に第1の剪断力を付与し前記第1の粘度よりも小さい第2の粘度に変化させ、前記複数のインナーリードの間を介して前記複数のインナーリードと前記支持部材との間の領域に封止剤を塗布する第1の工程と、
前記第1の粘度を有する封止剤に第2の剪断力を付与し前記第1の粘度よりも小さく、かつ前記第2の粘度よりも大きい第3の粘度に変化させ、前記複数のインナーリードの前記支持部材側とは反対側に封止剤を塗布する第2の工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 超音波振動により前記封止剤に剪断力を付与することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記封止剤に剪断力を付与する手段が、前記封止剤を塗布する装置に設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記封止剤に剪断力を付与する手段が、前記封止剤が塗布される基板に設置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第2の粘度は2Pa・s以上70Pa・s以下の範囲であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第3の粘度は150Pa・s以上10000Pa・s以下の範囲であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記第2の剪断力は前記第1の剪断力よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記封止剤はディスペンサーから吐出され、前記第1の工程と前記第2の工程は前記ディスペンサーから封止剤が連続して吐出されて実行されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 請求項1乃至8のいずれかに記載の製造方法によって製造されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
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