JP5196582B2 - 可動鏡機構 - Google Patents
可動鏡機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5196582B2 JP5196582B2 JP2009109061A JP2009109061A JP5196582B2 JP 5196582 B2 JP5196582 B2 JP 5196582B2 JP 2009109061 A JP2009109061 A JP 2009109061A JP 2009109061 A JP2009109061 A JP 2009109061A JP 5196582 B2 JP5196582 B2 JP 5196582B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- holding
- holding substrate
- movable mirror
- pulling means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
このため、特に人工衛星と地上との間で光通信を行う場合には、狭ビームできわめて高精度の光軸合せが必要となる。この光軸を合わせる手段として可動鏡機構により光反射鏡を光路に挿入し、その法線の方位を高速に調整して光軸を合わせることが行われている。
2 集光器
3 レンズ
4 ビームスプリッタ
5 レーザー
6 ハーフミラー
7 受光素子
8 位置検出素子
9 制御駆動回路
21 支持基板
22 引っ張り棒
23 圧電駆動素子
24 球体関節部材
25 位置決めナット
26 光反射鏡保持部材
27 光反射鏡
28 中央穴
29 球受け穴
30 位置決め管
31 板バネ
32 外側支持部材
33 内側支持部材
34 圧縮バネ
35 引っ張りバネ
36 ワイヤー
Claims (3)
- 周波数応答限界が2kHz以上であり、光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸あわせを行なう可動鏡機構であって、
保持基板に固定された反射鏡と、
上記保持基板を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータと、
上記保持基板と枢結し上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段と、
上記引っ張り手段と上記アクチュエータとを持設する支持基板と、
上記アクチュエータを制御する制御器と、
を備え、
上記制御器は、上記保持基板と上記引っ張り手段とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動するものであり、
上記引っ張り手段と上記保持基板とを枢結するバネ機構を備え、
上記バネ機構は、回転対称性を有する板バネであり、
上記引っ張り手段は、引っ張り棒または引っ張りワイヤーであり、
上記アクチュエータは、圧電駆動素子であり、
上記アクチュエータは3以上の複数であって、
さらに上記保持基板を持設する保持棒を含み、
上記アクチュエータと上記保持棒とは上記引っ張り手段の周りを取り囲むように配置され
上記アクチュエータには球体関節部材が回転可能に係合され、更に該球体関節部材には、上記保持基板が嵌合されていることを特徴とする可動鏡機構。 - 上記アクチュエータは、入力電圧に対する伸張量応答が線形である位置フィードバックコントロール付きのものであることを特徴とする請求項1に記載の可動鏡機構。
- 上記引っ張り手段と上記保持基板とを枢結する部分は、反射鏡を固定した保持基板の重心にあることを特徴とする請求項1あるいは2のいずれか1つに記載の可動鏡機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109061A JP5196582B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 可動鏡機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109061A JP5196582B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 可動鏡機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010256772A JP2010256772A (ja) | 2010-11-11 |
JP5196582B2 true JP5196582B2 (ja) | 2013-05-15 |
Family
ID=43317725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009109061A Expired - Fee Related JP5196582B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 可動鏡機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5196582B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017112517B3 (de) | 2017-06-07 | 2018-12-06 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Stellvorrichtung |
CN107942472B (zh) * | 2017-12-07 | 2023-05-23 | 西安工业大学 | 稀疏孔径成像***光束相位补偿反射镜 |
CN109633602B (zh) * | 2018-11-30 | 2023-10-13 | 河南平原光电有限公司 | 一种用于光路对接的平板机构的微调装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5931916A (ja) * | 1982-08-17 | 1984-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ用ミラ−角度調節器 |
JPH09113793A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Mitsubishi Electric Corp | 多重反射光学装置および反射鏡の傾動機構 |
JP3471641B2 (ja) * | 1998-12-28 | 2003-12-02 | 株式会社堀場製作所 | 部材装着台の位置調整機構およびミラー装着台を用いた粒子径分布測定装置 |
JP2000338430A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Mitsubishi Electric Corp | ミラー傾動機構 |
-
2009
- 2009-04-28 JP JP2009109061A patent/JP5196582B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010256772A (ja) | 2010-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5184839B2 (ja) | 圧電モータおよびカメラ装置 | |
JP4550850B2 (ja) | 圧電モータシステム | |
JP4751471B2 (ja) | 構成要素、サブアセンブリおよびアセンブリを自己整合する方法、装置およびシステム | |
US9054636B2 (en) | Micromechanical resonator arrangement | |
US6844952B2 (en) | Actuator-controlled mirror with Z-stop mechanism | |
CN108803008B (zh) | 一种位移放大机构、光纤扫描装置及投影仪 | |
US9759993B2 (en) | Composite scanning mirror systems | |
CN105301762B (zh) | 一种低厚度含二级放大的二维快速偏转装置及其偏转方法 | |
JP2017506366A (ja) | 画像スタビライザの位置決めデバイス | |
Zhang et al. | Development of a low capacitance two-axis piezoelectric tilting mirror used for optical assisted micromanipulation | |
GB2573669A (en) | Drive Device, Optical Instrument and Imaging Apparatus | |
JP2015070214A (ja) | 光学装置、投影光学系、露光装置および物品の製造方法 | |
CN110095860B (zh) | 一种两级复合大行程高精度快速反射镜 | |
JP5196582B2 (ja) | 可動鏡機構 | |
RU181166U1 (ru) | Двухкоординатный пьзокерамический корректор углов наклона волнового фронта | |
EP2239792A1 (en) | Positioning device and use of the same | |
JP4897016B2 (ja) | 圧電モータ | |
Mokbel et al. | Research on the mechanical design of two-axis fast steering mirror for optical beam guidance | |
US7482734B2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive device and method of driving piezoelectric/electrostrictive device | |
US10558011B2 (en) | Vibration actuator and electronic apparatus using vibration actuator | |
WO2020149108A1 (ja) | 光学機器用アクチュエータおよびこれを備えたレンズ鏡筒 | |
CN107462880A (zh) | 一种双面快速转向反射镜结构 | |
JP5447501B2 (ja) | 駆動装置及びレンズ駆動装置 | |
RU2606520C1 (ru) | Пьезоэлектрический двухкоординатный однозеркальный оптический дефлектор | |
JP7182980B2 (ja) | 振動型アクチュエータ及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120425 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120425 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5196582 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |