JP5194315B2 - スパッタリング装置 - Google Patents
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Description
真空槽と、
前記真空槽内で成膜対象物の表面に成膜材料の粒子を蒸着させて成膜する成膜手段と、
前記成膜対象物の成膜対象面が露出するように前記成膜対象物を載置する載置部材と、
前記成膜時に、前記成膜対象物の前記成膜対象面以外の所定の面に当接することにより前記所定の面を前記成膜材料の粒子からシールドするシールド部材と、
前記成膜時に、前記載置部材に当接することにより前記成膜対象物の前記所定の面と前記シールド部材とを覆うカバー部材と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを昇降させる昇降手段と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを連結する連結手段と、を備え、
前記連結手段は、前記シールド部材と前記カバー部材との間に介在し、前記シールド部材と前記カバー部材との相対位置に応じて変形するスプリングを備える、
ことを特徴とする。
真空槽と、
前記真空槽内で成膜対象物の表面に成膜材料の粒子を蒸着させて成膜する成膜手段と、
前記成膜対象物の成膜対象面が露出するように前記成膜対象物を載置する載置部材と、
前記成膜対象物を把持する把持部材と、
前記成膜時に、前記把持部材に当接することにより前記成膜対象面以外の所定の面を前記成膜材料の粒子からシールドするシールド部材と、
前記成膜時に、前記載置部材に当接することにより前記成膜対象物の前記所定の面と前記シールド部材とを覆うカバー部材と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを昇降させる昇降手段と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを連結する連結手段と、を備え、
前記連結手段は、前記シールド部材と前記カバー部材との間に介在し、前記シールド部材と前記カバー部材との相対位置に応じて変形するスプリングを備える、
ことを特徴とする。
前記把持部材は、同時に処理される1又は複数個の前記成膜対象物を一体に把持し、全体として板状体に形成され、前記板状体の両主面側に前記成膜対象面を露出させる複数の開口を有しており、
前記成膜時に、前記把持部材が前記成膜対象物を把持した状態で前記載置部材上に載置され、前記シールド部材が前記把持部材の一主面に当接することにより前記成膜対象面以外の所定の面を前記成膜材料の粒子からシールドする、
こととしてもよい。
前記把持部材を反転させる反転手段をさらに備える、
こととしてもよい。
10 搬送室
11 ロボットアーム
12 駆動機構
20 仕込取出し室
21 基板カセット
23 扉
30 第1の成膜室
31 スパッタカソード
32 基板ステージ
33 裏面シールド機構
34 シールド板
35 シールド蓋
36 昇降機構
37 連結部
39 冷却機構
40 電源
41 ターゲット
50 第2の成膜室
60 反転室
61 基板支持台
62 反転機構
70 基板トレー
71 開口
80 基板
100 制御部
Claims (4)
- 真空槽と、
前記真空槽内で成膜対象物の表面に成膜材料の粒子を蒸着させて成膜する成膜手段と、
前記成膜対象物の成膜対象面が露出するように前記成膜対象物を載置する載置部材と、
前記成膜時に、前記成膜対象物の前記成膜対象面以外の所定の面に当接することにより前記所定の面を前記成膜材料の粒子からシールドするシールド部材と、
前記成膜時に、前記載置部材に当接することにより前記成膜対象物の前記所定の面と前記シールド部材とを覆うカバー部材と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを昇降させる昇降手段と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを連結する連結手段と、を備え、
前記連結手段は、前記シールド部材と前記カバー部材との間に介在し、前記シールド部材と前記カバー部材との相対位置に応じて変形するスプリングを備える、
ことを特徴とするスパッタリング装置。 - 真空槽と、
前記真空槽内で成膜対象物の表面に成膜材料の粒子を蒸着させて成膜する成膜手段と、
前記成膜対象物の成膜対象面が露出するように前記成膜対象物を載置する載置部材と、
前記成膜対象物を把持する把持部材と、
前記成膜時に、前記把持部材に当接することにより前記成膜対象面以外の所定の面を前記成膜材料の粒子からシールドするシールド部材と、
前記成膜時に、前記載置部材に当接することにより前記成膜対象物の前記所定の面と前記シールド部材とを覆うカバー部材と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを昇降させる昇降手段と、
前記シールド部材と前記カバー部材とを連結する連結手段と、を備え、
前記連結手段は、前記シールド部材と前記カバー部材との間に介在し、前記シールド部材と前記カバー部材との相対位置に応じて変形するスプリングを備える、
ことを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記把持部材は、同時に処理される1又は複数個の前記成膜対象物を一体に把持し、全体として板状体に形成され、前記板状体の両主面側に前記成膜対象面を露出させる複数の開口を有しており、
前記成膜時に、前記把持部材が前記成膜対象物を把持した状態で前記載置部材上に載置され、前記シールド部材が前記把持部材の一主面に当接することにより前記成膜対象面以外の所定の面を前記成膜材料の粒子からシールドする、
ことを特徴とする請求項2に記載のスパッタリング装置。 - 前記把持部材を反転させる反転手段をさらに備える、
ことを特徴とする請求項3に記載のスパッタリング装置。
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Family
ID=41700070
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JP2008175454A Active JP5194315B2 (ja) | 2008-07-04 | 2008-07-04 | スパッタリング装置 |
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2008
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