JP5190669B2 - 貼り合わせウェーハの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 317
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 16
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 12
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 11
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 10
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 claims description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
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- Element Separation (AREA)
Description
この方法では、例えば、2枚のシリコンウェーハのうち、少なくとも一方に酸化膜を形成すると共に、一方のシリコンウェーハ(ボンドウェーハ)の上面から水素イオンまたは希ガスイオンを注入し、該ウェーハ内部にイオン注入層(「微小気泡層」ともいう)を形成させる。
一方、貼り合わせウェーハを使用して通常とは違う半導体デバイスを作る目的のため、異なる面方位を有するボンドウェーハとベースウェーハを貼り合わせて、貼り合わせウェーハとして製造するものがある。
剥離の開始位置は、ヘイズレベルが悪化するが、その位置は剥離熱処理の際使用する熱処理炉によってそれぞれ異なるため、予め上記の方法で調べることにより、使用する熱処理炉の剥離開始位置を確実に特定することができる。
本発明の剥離熱処理に使用する熱処理炉としては、横型炉であればボンドウェーハの剥離開始位置がそれぞれの炉ごとに比較的一定しているため、本発明の製造方法がより確実に実施できる。
ボンドウェーハについても切り欠き部があれば、ウェーハ同士を貼り合わせる際の位置の基準として便利である。また、この場合はボンドウェーハの切り欠き部をベースウェーハの切り欠き部と合わせて貼り合わせることにより、ボンドウェーハの切り欠き部についても同時にストレスを緩和し欠陥を防止することができる。
ノッチを有するウェーハであれば、ウェーハ同士の貼り合わせの際の位置の基準とすることができるため貼り合わせが容易となる。また、近年の大口径ウェーハはノッチが主流であるため、本発明は、このようなノッチを有する大口径ウェーハの貼り合わせに対応できる。
シリコン単結晶ウェーハであれば、汎用性が高く、比較的安価であり、大口径化も容易である。従って、シリコンウェーハを用いて本発明により貼り合わせウェーハを製造すれば、極めて高品質な大口径の貼り合わせウェーハを安価に提供することができる。
一方、同じ面方位を有し、ノッチ位置も同一のウェーハを2枚用意して、ノッチ位置を一致させて貼り合わせて作製した貼り合わせウェーハに限り、ノッチ近傍に連続したLPDとして観察されるボイドは発生しなかった。
一方、熱処理による剥離工程では、剥離後のウェーハ表面のヘイズ測定を行うことにより、剥離開始領域が最もヘイズレベルが悪く、また、異なる面方位のウェーハ同士を貼りあわせた場合、更にヘイズが悪化することがわかった。このようなヘイズレベルの悪化は、剥離時に薄膜に作用するストレスの大きさに起因するものと推定される。
そこで、剥離熱処理時にベースウェーハのノッチ部が剥離開始領域に一致しないように配置することによって、欠陥の発生を抑制できることを見出した。
さらに検討を進め、剥離熱処理時にボート上へウェーハセットする場合、剥離が開始される位置からベースウェーハのノッチ位置を180±45度の範囲で回転させることで、ノッチ位置の欠陥をほぼ完全に防止できることを見出し本発明を完成させた。
この際、切り欠き部としてはノッチであるか又はオリエンテーションフラットであってもよい。これらはウェーハ面の回転方向の面方位を示すものであるため、貼り合わせの際に貼り合わせ位置の基準として利用される。
このとき貼り合わせウェーハAのベースウェーハ20の面方位として(110)のようなボンドウェーハ10と異なる面方位を有するウェーハを使用する。もちろん、ボンドウェーハの面方位とベースウェーハの面方位は逆でもよく、あるいは、これら以外の面方位としてもよい。一方、貼り合わせウェーハBの面方位はボンドウェーハ10と同一の面方位を有するベースウェーハを使用する。この場合も貼り合わせウェーハの面方位は(100)(110)に限定されない。
このとき、面方位が異なるウェーハ同士を貼り合わせる貼り合わせウェーハAの場合には、切り欠き部の位置に関係なく貼り合わせることができるが、ボンドウェーハ10が切り欠き部を有する場合には切り欠き部同士を合わせて貼り合わせることが好ましい。これにより、剥離熱処理の際にベースウェーハ20の切り欠き部と同じ位置にできるため、ボンドウェーハ10の切り欠き部周辺の欠陥も効率的に防止できる。
また、剥離のための熱処理炉としては、横型炉であることが好ましい。横型炉であれば、ボンドウェーハの剥離開始位置が炉ごとに比較的一定であるため本発明の実施がより確実にできる。
(熱処理炉の剥離開始位置の特定)
先ず、剥離熱処理に使用する2つの熱処理炉(横型炉)において、剥離開始位置を調べるため、水素イオンを注入したボンドウェーハ(表面酸化膜付き)とベースウェーハ(酸化膜なし)を室温で貼り合わせたウェーハをそれぞれの熱処理炉に投入し、500℃で30分の剥離熱処理を行い貼り合わせウェーハを作製した。その後、作製した貼り合わせウェーハの剥離面のヘイズを調べ、その最もレベル悪い箇所(回転位置)を見出し、その位置を剥離開始位置と特定した。
その結果、2つの熱処理炉の剥離開始位置は、熱処理炉(横型炉)の真上を0度の位置として、時計回りに45度と315度の位置であった。
面方位(100)、ノッチ方位[011]のシリコン単結晶ウェーハをボンドウェーハに用いて200nmの酸化膜を成長させた後、水素イオン注入を行った。一方、面方位(110)、ノッチ方位[001]のシリコン単結晶ウェーハをベースウェーハに用いた。
これらのウェーハをノッチ位置を合わせて室温で貼り合わせを行い、その後、剥離開始位置が45度の横型炉で剥離熱処理を行った。その際、先ずノッチを真上にセットして剥離熱処理を行った。その条件ではノッチ部近傍に欠陥が発生し、また剥離開始位置は45度の位置であることを確認した。
面方位(100)、ノッチ方位[011]のシリコン単結晶ウェーハをボンドウェーハに用いて200nmの酸化膜を成長させた後、水素イオン注入を行った。一方、面方位(100)、ノッチ方位[010]のシリコン単結晶ウェーハをベースウェーハに用いた。
これらのウェーハをノッチ位置を合わせて室温で貼り合わせを行い、その後、剥離開始位置が315度の横型炉で剥離熱処理を行った。その際、先ずノッチを真上にセットして剥離熱処理を行った。その条件ではノッチ部近傍に欠陥が発生し、また剥離開始位置は315度の位置であることを確認した。
面方位(100)、ノッチ方位[011]のシリコン単結晶ウェーハをボンドウェーハに用いて、200nmの酸化膜を成長させた後、水素イオン注入を行った。ボンドウェーハと同一仕様のシリコン単結晶ウェーハをベースウェーハに用いた。
これらのウェーハを、ノッチ位置を45度ずらせて室温で貼り合わせを行い、その後、剥離開始位置が45度の横型炉で剥離熱処理を行った。
このため、特に欠陥が生じやすい異なる面方位のウェーハ同士を貼り合わせた場合、および同一の面方位のウェーハ同士を所定の角度回転させて貼り合わせた場合の剥離熱処理においても、欠陥の発生を防止できることが分かった。
20…ベースウェーハ、 30…貼り合わせウェーハ、
31…剥離ウェーハ、 32…SOI層。
Claims (6)
- 少なくとも、ボンドウェーハの表面から水素イオン、希ガスイオンあるいはこれらの混合ガスイオンをイオン注入してウェーハ内部にイオン注入層を形成し、前記ボンドウェーハのイオン注入した表面とベースウェーハの表面とを直接あるいは絶縁膜を介して貼り合わせた後、該貼り合わせたウェーハに熱処理を行なうことにより、前記イオン注入層でボンドウェーハを剥離させて貼り合わせウェーハを形成する貼り合わせウェーハの製造方法において、
前記ボンドウェーハ及び前記ベースウェーハとして、互いに異なる面方位を有するウェーハであって、少なくとも前記ベースウェーハに切り欠き部を有するウェーハを使用し、前記ボンドウェーハと前記ベースウェーハを貼り合わせた後、貼り合わせられた前記ベースウェーハの切り欠き部が、前記剥離のための熱処理を行う熱処理炉によって特定される前記ボンドウェーハの剥離開始位置から、180±45度の範囲内に位置する様に前記熱処理炉内に貼り合わせたウェーハを配置して前記熱処理を行い、かつ
前記熱処理炉によって特定される前記ボンドウェーハの剥離開始位置を、予め、前記熱処理炉を用いて剥離熱処理を行ったウェーハの剥離面をヘイズ測定し、最もヘイズのレベルが悪い位置を前記剥離開始位置として特定することを特徴とする貼り合わせウェーハの製造方法。 - 少なくとも、ボンドウェーハの表面から水素イオン、希ガスイオンあるいはこれらの混合ガスイオンをイオン注入してウェーハ内部にイオン注入層を形成し、前記ボンドウェーハのイオン注入した表面とベースウェーハの表面とを直接あるいは絶縁膜を介して貼り合わせた後、該貼り合わせたウェーハに熱処理を行なうことにより、前記イオン注入層でボンドウェーハを剥離させて貼り合わせウェーハを形成する貼り合わせウェーハの製造方法において、
前記ボンドウェーハ及び前記ベースウェーハとして、同一の面方位を有するウェーハであって、少なくとも前記ベースウェーハに切り欠き部を有するウェーハを使用し、前記ボンドウェーハと前記ベースウェーハの少なくとも一方を所定の角度回転させて貼り合わせた後、前記ベースウェーハの切り欠き部が、前記剥離のための熱処理を行う熱処理炉によって特定される前記ボンドウェーハの剥離開始位置から、180±45度の範囲内に位置する様に前記熱処理炉内に貼り合わせたウェーハを配置して前記熱処理を行い、かつ
前記熱処理炉によって特定される前記ボンドウェーハの剥離開始位置を、予め、前記熱処理炉を用いて剥離熱処理を行ったウェーハの剥離面をヘイズ測定し、最もヘイズのレベルが悪い位置を前記剥離開始位置として特定することを特徴とする貼り合わせウェーハの製造方法。 - 前記熱処理炉が横型炉であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
- 前記ボンドウェーハとして切り欠き部を有するウェーハを使用し、該ボンドウェーハの切り欠き部と前記ベースウェーハの切り欠き部の位置を合わせて貼り合わせることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
- 前記切り欠き部がノッチであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
- 前記ボンドウェーハ及び前記ベースウェーハとして、シリコン単結晶ウェーハを使用することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008006983A JP5190669B2 (ja) | 2008-01-16 | 2008-01-16 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008006983A JP5190669B2 (ja) | 2008-01-16 | 2008-01-16 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009170652A JP2009170652A (ja) | 2009-07-30 |
JP5190669B2 true JP5190669B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=40971506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008006983A Active JP5190669B2 (ja) | 2008-01-16 | 2008-01-16 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5190669B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6213046B2 (ja) | 2013-08-21 | 2017-10-18 | 信越半導体株式会社 | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
CN105277830B (zh) * | 2015-11-13 | 2018-09-11 | 北京金山安全软件有限公司 | 电子设备的耗电测试方法及装置 |
CN105372527B (zh) * | 2015-11-13 | 2019-01-18 | 北京金山安全软件有限公司 | 电子设备的耗电测试方法及装置 |
WO2023228868A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | 信越半導体株式会社 | 電子デバイス用基板及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09246505A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-09-19 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
EP1453096B1 (en) * | 2001-12-04 | 2017-02-22 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Method for producing a bonded wafer |
JP2003347176A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-12-05 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
JP2007019303A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Sumco Corp | 半導体基板の製造方法及びその半導体基板 |
-
2008
- 2008-01-16 JP JP2008006983A patent/JP5190669B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009170652A (ja) | 2009-07-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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