JP5190075B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
ONとなる。また、試料ホルダ11が試料ステージ10の所定位置に適切に装着されたとき、試料ステージ側の電極202は試料ホルダ11側の電極105と接触し、電気的な接続が図られる。
IDごとに持っており、現在装備されている対物ポールピースのギャップとそのホルダ形状データからまずTiltの動作制限を行う。電子顕微鏡本体にホルダ形状のデータがないようなホルダ種IDだった場合には、例外処置機能を起動し、動作制限をユーザーの入力によって行うこととする。その後、Tiltを動作させた場合のY方向の移動制限をその動作に合わせて設定していく。
602を図示してある。図6はTiltしていない状態を示す。この状態であれば移動制限をする必要はない。図7は試料をTiltさせた状態を示す。この場合、ポールピース601のギャップに対して試料ホルダの外形形状602が大きいため、Tiltの角度を大きくすると試料ホルダがポールピース601に接触し、破損することとなるので、これを避ける為にTilt制限をする必要がある。また、Tilt制限を行っても、Tiltさせた状態でY方向の移動を行うと、やはりポールピース601に接触するため、Tilt角度に応じたY方向の移動制限を行う必要がある。
IDとシリアルナンバーが記憶されているので、各々の装置では、取得したデータにこのホルダ種IDとシリアルナンバーを一緒に記録し、データベース404に保存する。
882の輪郭位置から所定長さだけ余裕を持たせて輪郭を設定することによって、不確定要素によるプローブ903と構造物881の衝突を、より確実に防止することができる。
90゜回転させることで、図13(c)のように目的箇所883をプローブ接触可能にすることができる。このときの観察像を図13(d)に示す。接触不可部分の表示は表示ボタンを押すことで更新できるようにできる。また、表示部分ははリアルタイムに更新することで、ユーザーはより直感的にプローブの接触不可の部分を把握することができる。
(過去の加工条件や加工時の画像ファイル名など)が表示される。このRemarks 内の情報のFIB加工時の画像ファイル名を選択した場合、下のFilename部分にそのファイル名が表示される。このFilename入力部の右にある「View」ボタンを選択すると、新たな画像表示画面が開き、FIB加工時の画像が表示される。
104…突起部、105…試料ホルダ側電極、106…絶縁部、202…電極、203…マイクロスイッチ、303…本体CPU、305…試料ホルダ駆動系、307…試料ホルダ制御系、308…試料ホルダ通信系、309…電子顕微鏡制御CPU、401…TEM、402…STEM、403…FIB、404…データベース(サーバー)、405…データベース検索用端末、406…LAN、601…対物レンズポールピース、602…外形形状。
Claims (6)
- 試料ステージと、前記試料ステージに対して着脱自在に保持される試料ホルダに装着された試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線照射系と、試料の位置あるいは姿勢を微動させる試料微動機構とを備える荷電粒子線装置において、
試料ホルダをユニークに識別する情報と、当該情報に関連付けられた試料表面の高さ情報を記憶領域から読み出し、読み出された高さ情報に基づいて前記荷電粒子線照射系の焦点位置又は試料の高さ方向の位置を制御する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置は、
前記記憶領域から前記高さ情報のマップ情報を読み出し、当該マップ情報に基づいて前記試料から微細構造部分を摘出する際に使用するプローブの接触不可部分を計算する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置は、
計算された前記接触不可部分を観察像にオーバーレイ表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置は、
計算された前記接触不可部分の輪郭位置から所定長さ分の輪郭を設定し、プローブと試料表面に形成された構造物の衝突を防止する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記記憶領域は、試料ホルダが有するメモリである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記記憶領域は、データベースである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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