JP5186776B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 196
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 47
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 143
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 140
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 88
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 88
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 38
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 25
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 24
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 16
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 145
- 235000001674 Agaricus brunnescens Nutrition 0.000 description 37
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 21
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 20
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 19
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 18
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 16
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 13
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 230000009471 action Effects 0.000 description 9
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 9
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 7
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 6
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
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- C23C16/34—Nitrides
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- H01L21/318—Inorganic layers composed of nitrides
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
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Description
本発明の半導体装置は、化合物半導体領域と、前記化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜とを含み、前記保護絶縁膜は、前記化合物半導体領域の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有しており、前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、N−H結合を1.0×10 22 /cm 3 以上含む。
本発明の半導体装置の製造方法は、化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜を形成するに際して、前記保護絶縁膜を、前記化合物半導体領域の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有するように形成し、前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、N−H結合を1.0×10 22 /cm 3 以上含む。
化合物半導体装置では、多くの場合、化合物半導体領域の表面が結晶構成元素の酸化物で覆われている。この酸化物は、電子に対してトラップとして働いたり、一定の導電性を有するリークパスとして作用することがある。
また、別の観点から、化合物半導体領域の表面が酸化することなく結合手が切れた状態もしくは、水素(H)で終端された状態が想定される。この場合も、酸化物が形成された場合と同様に、電子に対するトラップまたはリークパスとして作用する可能性がある。
ここで、図1がショットキーゲート型のFET、図2がMISゲート型のFETである。図1では、(a)がショットキーゲート型のFET、(b)がマッシュルーム型のゲート電極を有するショットキーゲート型のFET、(c)がマッシュルーム型のゲート電極を有するショットキーゲート型のFETの他の態様である。図2では、(a)がMISゲート型のFET、(b)がMISゲート型のマッシュルーム型のゲート電極を有するFET、(c)がマッシュルーム型のゲート電極を有するMISゲート型のFETの他の態様である。
そして、図1では、オーミック電極4,5間における活性領域上に直接的にゲート電極6が形成されている。ここで(a)では、オーミック電極4,5上を含む化合物半導体領域2を覆い、ゲート電極6の側面下方に若干食い込むように、本発明の保護絶縁膜10が形成されている。また、(b),(c)では、オーミック電極4,5上を含む化合物半導体領域2を覆い、マッシュルーム型のゲート電極6の柄部分の側面まで保護絶縁膜10が形成されている。
また、図1(a)及び図2(a)では、保護絶縁膜10を第1及び第2の絶縁膜11,12からなるものとして図示しているが、図示の便宜上、図1(b),(c)及び図2(b)),(c)では、第1及び第2の絶縁膜11,12の図示を省略して保護絶縁膜10を単層の如く表示している。
先ず、化合物半導体領域の表面に最初に堆積する第1の絶縁膜11について説明する。
半導体領域、特に化合物半導体領域の表面は、結晶構成元素の酸化物や水素終端及び水酸基終端されたボンドが多く存在する。一方、絶縁膜、特にシリコン窒化膜(SiN膜)は、一般的に多量の水素原子を含有している。この水素原子はSiまたはNと結合しており、Si3N4と比較して化学的安定性を低下させている。換言すれば、このSiN膜は、被堆積結晶に対して化学的アクションを惹起し易い状態にあると言える。このような性質を有するSiN膜が化合物半導体領域の表面に被着した場合、例えば、化合物半導体領域の表面の酸素とSiN内部の水素とが反応する可能性もある。反応の結果として、化合物半導体領域の表面からの不純物の除去、SiN膜からの水素の離脱、及び半導体構成元素とSiN構成元素との直接的結合が実現する。このように反応が進行した化合物半導体領域の表面では、一定の時定数を持つトラップを有する化合物半導体領域の表面と比較して、デバイス動作中における不必要な表面電位変化が少ない。このSiN膜の物理的特徴は、Si−HまたはN−Hの濃度が高く、屈折率としてはストイキオメトリからずれた絶縁膜が好ましい。
先述したSiN膜では、必然的にSi3N4の結合が完成されていないために、絶縁膜でありながら膜中を微弱電流が流れる。このような絶縁膜としての不都合を解消するため、第1の絶縁膜11上に、絶縁性に優れた第2の絶縁膜12を堆積する。絶縁性に優れた膜とは、Si−HまたはN−H結合が少なく、屈折率としてはほぼストイキオメトリに位置する絶縁膜である。このような絶縁膜は、結合状態が脆弱な結合が少なく、電気伝導に寄与するイオンの量が少ない特徴を持つ。
先ず、化合物半導体領域の表面に最初に堆積する第1の絶縁膜11について説明する。
前述したように、化合物半導体領域の表面に接するSiN膜は、結晶構成元素の酸化物や水素終端及び水酸基終端されたボンドを還元または正常な結合状態に戻す必要がある。発明態様1では、第1の絶縁膜11として水素を多く含み化学的に不安定なSiN膜を用いた。しかしながら、同様の効果は、第1の絶縁膜11を例えばプラズマCVD法で成膜する場合、プラズマ中の水素濃度を上昇させることにより実現できる。プラズマCVD法でSiN膜を堆積する場合、窒素材料ガスとしてNH3ガスを用いることができる。
第1の絶縁膜11上に堆積される第2の絶縁膜12は絶縁性の観点から、低周波RFにより励起されたプラズマにより成膜された膜(低周波RFによるプラズマCVD法により形成した膜)が好ましい。一般的に、低周波RF(例えば380kHz)で堆積したSiN膜は、絶縁性・緻密性に優れていることが知られている。しかしながら、成膜時の反応種のイオン性が強く、化合物半導体表面、特にソース/ドレイン間の電気伝導部分に対して、致命的なダメージを与える。ところが、本発明による構造の場合、第2の絶縁膜12の堆積時におけるイオンエネルギーは、第1の絶縁膜11が吸収し、基板1側は無損傷となる。この構造及び手法により、発明態様1,2の場合よりも絶縁性に優れた2層構造の保護絶縁膜10が実現する。
発明態様1から発明態様3まで、第2の絶縁膜12としては化学的に安定な、屈折率としてはほぼストイキオメトリに位置する(ストイキオメトリ或いはこれに近い)絶縁膜を用いている。この場合、第2の絶縁膜12は酸素,炭素,水分等を表面に吸着し易い。例えば、酸素,炭素,水分等が吸着したまま上部に新たなSiN膜を積層した場合、上部に堆積されるSiN膜が悪影響を受けることは良く知られている。このような、酸素等の吸着を防止する方法として、発明態様4による保護絶縁膜10は有効である。
また、図4(a)及び図5(a)では、保護絶縁膜10を第1及び第2の絶縁膜11,12からなるものとして図示しているが、図示の便宜上、図4(b),(c)及び図5(b)),(c)では、第1〜第3の絶縁膜11〜13の図示を省略して保護絶縁膜10を単層の如く表示している。
上記した本発明の基本骨子を踏まえ、本発明を適用した具体的な諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態は、上記した発明態様1に対応しており、図1(a)に示したショットキーゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
図6−1及び図6−2は、第1の実施形態によるショットキーゲート型のFET(図1(a)に対応する)の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
次に、例えば真空蒸着法により化合物半導体領域2上にTi及びAlをそれぞれ例えば膜厚20nm程度及び200nm程度に順次堆積する。そして、加温した有機溶剤によりリフトオフし、上記したオーミック電極形成部位で露出する電子供給層2c上に一対のオーミック電極4,5を形成する。その後、熱処理を加えることにより、電子供給層2cとオーミック電極4,5との間でオーミックコンタクトを形成する。
しかる後、層間絶縁膜やコンタクト孔、各種の配線等の形成工程を経て、本実施形態によるショットキーゲート型のFETを完成させる。
第1の絶縁膜11の成膜には、プラズマCVD法を用いる。プラズマの励起周波数を13.56MHz、高周波出力を50W、ガス流量をSiH4/N2/He=3sccm/150sccm/1000sccmとし、膜厚5nm程度に成膜する。SiNに含有するSi−H結合濃度は 2.0×1022個/cm3程度、N−H結合濃度は4.0×1021個/cm3程度、屈折率は2.3程度となった。
また、結晶(エピ)構造については、要求される諸特性によっては、GaNよりなる表面層を用いない場合があるが、本発明の効果が得られるデバイス構造であることに変わりはない。
本実施形態は、上記した発明態様2に対応しており、図1(a)に示したショットキーゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
本実施形態による保護絶縁膜10では、第1の絶縁膜11としてほぼストイキオメトリの状態とされた膜を使用することも可能である。この場合、保護絶縁膜10全体の高い絶縁性を実現できる。
以下に、本実施形態における保護絶縁膜10の構成を詳細に説明する。
本実施形態は、上記した発明態様3に対応しており、図1(a)に示したショットキーゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
以下に、本実施形態における保護絶縁膜10の構成を詳細に説明する。
本実施形態は、上記した発明態様4に対応しており、図4(a)に示したショットキーゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
以下に、本実施形態における保護絶縁膜10の構成を詳細に説明する。
図6(d)において、第1の絶縁膜11の成膜には、プラズマCVD法を用いる。プラズマの励起周波数を13.56MHz、高周波出力を50W、ガス流量をSiH4/N2/He=3sccm/150sccm/1000sccmとし、膜厚5nm程度に成膜する。SiNに含有するSi−H結合濃度は 2.0×1022個/cm3程度、N−H結合濃度は4.0×1021個/cm3程度、屈折率は2.3程度となった。
本実施形態は、上記した発明態様1〜4に対応しており、図1(b)に示したマッシュルーム型のゲート電極を有するショットキーゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
図8−1及び図8−2は、第5の実施形態によるマッシュルーム型のゲート電極を有するショットキーゲート型のFET(図1(b)に対応する)の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
次に、例えば真空蒸着法により化合物半導体領域2上にTi及びAlをそれぞれ例えば膜厚20nm程度及び200nm程度に順次堆積する。そして、加温した有機溶剤によりリフトオフし、上記したオーミック電極形成部位で露出する電子供給層2c上に一対のオーミック電極4,5を形成する。その後、熱処理を加えることにより、電子供給層2cとオーミック電極4,5との間でオーミックコンタクトを形成する。
次に、アルカリ可溶性樹脂(商品名PMGI:米国マイクロケム社製)である下層レジスト32を500nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で3分間熱処理する。
更に、下層レジスト32上に、ポジ型電子線レジスト(商品名ZEP520−Al7:日本ゼオン社製)である上層レジスト33を200nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で2分間熱処理する。
しかる後、層間絶縁膜やコンタクト孔、各種の配線等の形成工程を経て、本実施形態によるショットキーゲート型のFETを完成させる。
本実施形態は、上記した発明態様1〜4に対応しており、図1(c)に示したマッシュルーム型のゲート電極を有するショットキーゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
図9−1及び図9−2は、第6の実施形態によるマッシュルーム型のゲート電極を有するショットキーゲート型のFET(図1(c)に対応する)の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
そして、電子線描画によりレジスト35を加工し、レジスト35に開口35aを形成する。
その後、レジスト35をマスクとし、エッチングストッパ層2Dの表面の一部が露出するまで低抵抗層2Eをウェットエッチングし、低抵抗層2Eに開口35aに倣った形状の開口2Eaを形成する。原理上、本工程で開口10cよりも開口2Eaが後退するが、図示は省略する。
次に、アルカリ可溶性樹脂(商品名PMGI:米国マイクロケム社製)である下層レジスト32を500nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で3分間熱処理する。
更に、下層レジスト32上に、ポジ型電子線レジスト(商品名ZEP520−Al7:日本ゼオン社製)である上層レジスト33を200nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で2分間熱処理する。
しかる後、層間絶縁膜やコンタクト孔、各種の配線等の形成工程を経て、本実施形態によるショットキーゲート型のFETを完成させる。
本実施形態は、上記した発明態様1〜4に対応しており、図2(a)に示したMISゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
図10−1及び図10−2は、第7の実施形態によるMISゲート型のFET(図2(a)に対応する)の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
しかる後、層間絶縁膜やコンタクト孔、各種の配線等の形成工程を経て、本実施形態によるMISゲート型のFETを完成させる。
本実施形態は、上記した発明態様1〜4に対応しており、図2(b)に示したマッシュルーム型のゲート電極を有するMISゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
図11−1及び図11−2は、第8の実施形態によるマッシュルーム型のゲート電極を有するMISゲート型のFET(図2(b)に対応する)の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
次に、例えば真空蒸着法により化合物半導体領域2上にTi及びAlをそれぞれ例えば膜厚20nm程度及び200nm程度に順次堆積する。そして、加温した有機溶剤によりリフトオフし、上記したオーミック電極形成部位で露出する電子供給層2c上に一対のオーミック電極4,5を形成する。その後、熱処理を加えることにより、電子供給層2cとオーミック電極4,5との間でオーミックコンタクトを形成する。
次に、アルカリ可溶性樹脂(商品名PMGI:米国マイクロケム社製)である下層レジスト32を500nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で3分間熱処理する。
更に、下層レジスト32上に、ポジ型電子線レジスト(商品名ZEP520−Al7:日本ゼオン社製)である上層レジスト33を200nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で2分間熱処理する。
しかる後、層間絶縁膜やコンタクト孔、各種の配線等の形成工程を経て、本実施形態によるMISゲート型のFETを完成させる。
本実施形態は、上記した発明態様1〜4に対応しており、図2(c)に示したマッシュルーム型のゲート電極を有するMISゲート型のFETの構成をその製造方法と共に説明する。
図12−1及び図12−2は、第9の実施形態によるマッシュルーム型のゲート電極を有するMISゲート型のFET(図2(c)に対応する)の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
そして、電子線描画によりレジスト35を加工し、レジスト35に開口35aを形成する。
その後、レジスト35をマスクとし、エッチングストッパ層2Dの表面の一部が露出するまで低抵抗層2Eをウェットエッチングし、低抵抗層2Eに開口35aに倣った形状の開口2Eaを形成する。原理上、本工程で開口10cよりも開口2Eaが後退するが、図示は省略する。
次に、アルカリ可溶性樹脂(商品名PMGI:米国マイクロケム社製)である下層レジスト32を500nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で3分間熱処理する。
更に、下層レジスト32上に、ポジ型電子線レジスト(商品名ZEP520−Al7:日本ゼオン社製)である上層レジスト33を200nm程度の厚みにスピンコート法により塗布形成し、180℃で2分間熱処理する。
しかる後、層間絶縁膜やコンタクト孔、各種の配線等の形成工程を経て、本実施形態によるMISゲート型のFETを完成させる。
前記化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜と
を含み、
前記保護絶縁膜は、前記化合物半導体基板の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有することを特徴とする半導体装置。
前記保護絶縁膜を、前記化合物半導体基板の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有するように形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
1A 半絶縁性のInP基板
2 化合物半導体領域
3 素子分離構造
4,5一対のオーミック電極
6 ゲート電極
10 保護絶縁膜
11 第1の絶縁膜
12 第2の絶縁膜
13 第3の絶縁膜
Claims (15)
- 化合物半導体領域と、
前記化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜と
を含み、
前記保護絶縁膜は、前記化合物半導体領域の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有しており、
前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、Si−H結合を1.0×10 22 /cm 3 以上含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、波長633nmの光に対する屈折率が2.1以上のものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 化合物半導体領域と、
前記化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜と
を含み、
前記保護絶縁膜は、前記化合物半導体領域の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有しており、
前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、N−H結合を1.0×10 22 /cm 3 以上含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、波長が633nmの光に対する屈折率が1.9以下のものであることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第2の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、Si−H結合の個数が1.0×1022/cm3未満であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第2の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、波長633nmの光に対する屈折率が1.9より大きく2.1より小さいものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1の絶縁膜は、前記第2の絶縁膜に比して高水素含有組成のものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第2の絶縁膜は、低周波励起のプラズマCVD法により形成された絶縁膜であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記保護絶縁膜は、前記2層構造上に積層され、Si/N比が3/4以上とされたシリコン窒化膜である第3の絶縁膜を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜を形成するに際して、
前記保護絶縁膜を、前記化合物半導体領域の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有するように形成し、
前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、Si−H結合を1.0×10 22 /cm 3 以上含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 化合物半導体領域の表面の少なくとも一部を覆う保護絶縁膜を形成するに際して、
前記保護絶縁膜を、前記化合物半導体領域の表面と化学的活性度の高い状態に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に積層され、前記第1の絶縁膜よりも化学的活性度の低い第2の絶縁膜とからなる2層構造を有するように形成し、
前記第1の絶縁膜は、シリコン窒化膜であり、N−H結合を1.0×10 22 /cm 3 以上含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の絶縁膜は、非ストイキオメトリの性質を持つことを特徴とする請求項10又は11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜を、原料ガスとしてNH3ガスを含むプラズマCVD法により形成することを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の絶縁膜を、低周波励起のプラズマCVD法により形成することを特徴とする請求項10〜13のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記保護絶縁膜を、前記2層構造上に積層され、Si/N比が3/4以上とされたシリコン窒化膜である第3の絶縁膜を有するように形成することを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007042669A JP5186776B2 (ja) | 2007-02-22 | 2007-02-22 | 半導体装置及びその製造方法 |
US12/071,093 US8587092B2 (en) | 2007-02-22 | 2008-02-15 | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
US14/055,321 US8980768B2 (en) | 2007-02-22 | 2013-10-16 | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007042669A JP5186776B2 (ja) | 2007-02-22 | 2007-02-22 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008205392A JP2008205392A (ja) | 2008-09-04 |
JP5186776B2 true JP5186776B2 (ja) | 2013-04-24 |
Family
ID=39714937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007042669A Expired - Fee Related JP5186776B2 (ja) | 2007-02-22 | 2007-02-22 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8587092B2 (ja) |
JP (1) | JP5186776B2 (ja) |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8878245B2 (en) * | 2006-11-30 | 2014-11-04 | Cree, Inc. | Transistors and method for making ohmic contact to transistors |
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US8368100B2 (en) | 2007-11-14 | 2013-02-05 | Cree, Inc. | Semiconductor light emitting diodes having reflective structures and methods of fabricating same |
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JP5114947B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-01-09 | 富士通株式会社 | 窒化物半導体装置とその製造方法 |
-
2007
- 2007-02-22 JP JP2007042669A patent/JP5186776B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-02-15 US US12/071,093 patent/US8587092B2/en active Active
-
2013
- 2013-10-16 US US14/055,321 patent/US8980768B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008205392A (ja) | 2008-09-04 |
US20080203541A1 (en) | 2008-08-28 |
US20140045345A1 (en) | 2014-02-13 |
US8587092B2 (en) | 2013-11-19 |
US8980768B2 (en) | 2015-03-17 |
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