JP5186281B2 - バイポーラパルス電源及びこのバイポーラパルス電源を複数台並列接続してなる電源装置 - Google Patents
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Description
2 発振部
22 ブリッジ回路
24a、24b 出力ケーブル
25 出力電流、電圧検出回路
27 アーク検知制御回路
E バイポーラパルス電源
SW0乃至SW4 スイッチング素子
T1、T2 電極(ターゲット)
Claims (4)
- 直流電力供給源からの正負の直流出力間に接続されたスイッチング素子から構成されるブリッジ回路と、ブリッジ回路の各スイッチング素子のオン、オフの切換えを制御する制御手段とを備え、プラズマに接触する一対の電極に所定の周波数でバイポーラパルス状に電力供給するバイポーラパルス電源において、前記直流電力供給源からブリッジ回路への正負の直流出力のうち少なくとも一方に1mH以上の値を持つインダクタを設け、
前記直流電力供給源からの正負の直流出力に並列に接続したキャパシタと、前記インダクタに並列であって相互に直列に接続されたダイオード及び抵抗とを備える出力クランプ回路をさらに有することを特徴とするバイポーラパルス電源。 - 前記電極は、スパッタリング法を実施する処理室内に配置した一対のターゲットであることを特徴とする請求項1記載のバイポーラパルス電源。
- 前記直流電力供給源からブリッジ回路への正負の直流出力間に設けた出力短絡用のスイッチング素子と、前記一対の電極間の出力電流を検出する検出手段と、この出力電流の絶対値が電極への定常出力電流値を超えると、異常放電発生の前段現象として捕える異常放電検出手段とを備え、この異常放電検出手段によって異常放電発生の前段現象が捕えられると、前記出力短絡用のスイッチング素子によって電極への出力を遮断して異常放電の消弧処理を行うことを特徴とする請求項1または請求項2記載のバイポーラパルス電源。
- 請求項3記載のバイポーラパルス電源を複数台並列接続してなる電源装置であって、同一の処理室内に配置した複数対の電極にバイポーラパルス状の電力供給を行うとき、各バイポーラパルス電源の出力短絡用のスイッチング素子のオン、オフの切換えを制御する統括制御手段を備えたことを特徴とする電源装置。
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