JP5184251B2 - 分光素子、分光装置および分光方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の分光素子10の構成の一例である。図1(a)は分光素子の上面図であり、入射光の入射面から見た分光素子10の形状を示す。分光素子10は厚さの均一な金属板に上面すなわち入射面から下面すなわち射出面に貫通する垂直の孔部20を有する構造体である。図1ではあたかもひとつの分光素子が独立しているかのように描かれているが、隣接する他の分光素子とは金属板を共有とする構造をとるのが製造上あるいは使用上望ましい。従って図1の外形部分は仮想的なものであると考えることができる。図1(b)は図1(a)のA−A’面の断面を示す図である。分光素子10の構造体を構成する金属板はその孔部20の内壁で入射光を反射させるが、その反射面11、12は、本実施例では入射面16および射出面18と垂直に交わる。図1(c)は図1(a)のB−B’面の断面を示す図であり、図1(b)と同じく反射面13、14は入射面16および射出面18と垂直に交わる。
本発明の分光素子を使用してX方向偏光した入射光の分光結果を図7に示す。図7左の座標系は図1の分光素子の座標系に対応している。波長 440nm(a)から波長690nm(f)までの6波長において、どのように分光されるかを示した。図7の(a)から(f)までの各グラフでより白く表示されているところが、その波長の光が定在波として強く存在するピークであることを示す。このピーク位置は波長ごとに異なり、分光素子として機能していることがわかる。図4に示したY方向偏光の結果と異なり、X軸に平行な線状のピークとなっている。
図9(a)および図9(b)は、本発明の分光素子の孔部形状を変形した例である。図9(a)および(b)は基本的に変わらないため、ここでは図9(b)について主に説明する。本発明の分光素子の孔部92形状は、分光素子に対する入射光の入射面もしくは射出面から見た形状が、孔部92を構成する辺のうち、3辺、すなわち辺22、辺26および辺28の延長線である延長線23,延長線27,延長線29が囲む図形が、図9(b)に示す頂角Hが狭角である二等辺三角形30を形成する。すなわち、三角形を構成する。図9(b)の孔部形状92は、二等辺三角形30の頂部を底辺28と並行に切断した台形形状となっている。第1の実施形態と異なるのは、孔部形状92の角を丸めてあることである。
図11は本発明の分光素子10の第2実施形態である。図11(a)は上面図であり、分光素子10は厚さの均一な金属板に上面すなわち入射面から下面すなわち射出面に貫通するテーパ状の孔部21を有する構造体である。図1に示した第1の実施形態の分光素子と異なるのは、分光素子10の孔部21の形状のうち、分光素子10に対する入射光の入射面形状1101と射出面形状1102が、相似形となっていることである。このため、入射面形状1101と射出面形状1102を結ぶ反射面は、入射面および反射面に対し垂直以外の角度を持って交わる。
本発明の分光素子10を用い、分光装置1300を構成した例を図13に示す。分光素子10はここまで述べてきた分光素子である。分光素子そのものの実施形態としてはどの形態も用いることが出来る。分光素子への入射光(図では一例として白色光)を孔部20で分光し、分光分布の局在位置となる分光素子の下面に受光素子(1302から1314)を配置することによって、前記分光分布を電気信号に変換することができる分光装置を実現している。
図15に本発明の分光装置を二次元方向に複数配列して構成した二次元分光装置を示す。本発明の分光素子1510をXY方向に連続して複数配置し、二次元の分光装置1500としたものである。ひとつの分光装置では測定できない、複数の光源の分光や光源分光分布を測定することが可能になる。前述しているように半導体製造工程を用いれば分光素子を複数おなじ分光装置上に高精度に製作することが可能であり、精度の高い二次元分光測定装置が実現できる。信号出力は、通常の撮像素子と同様に読み出せばよく、出力を一つにすることも、必要に応じて分光装置ごとに出力することも可能である。さらには、分光結果が二次元に得られることから通常の撮像素子としての利用も可能になる。撮像素子として使用する場合は、定在波による分光であるために入射光の損失が少なく高感度の撮像素子を実現可能である。
図16は本発明の分光素子10の別の実施形態である。図16は孔部の上面図であり、分光素子10は厚さの均一な金属板に上面すなわち入射面から下面すなわち射出面に貫通する台形状の孔部20を有する構造体である。孔部20の形状のうち、図示しない深さ方向には6.27μmの厚みを持つ。本実施例の分光素子を使用してY方向偏光した入射光の分光結果を図17の(a)から(e)に示す。図17の配置の関係で、図16と図17で座標が回転していることに注意されたい。(a) 波長 390nm、(b) 波長490nm、(c) 波長590nm、(d)波長 690nm、および(e)波長790nmの100nm間隔の5波長において、各波長の入射光がどのように分光されるかを、深さ方向Z=0μmからZ=6.3μmの8箇所の断面で示した。図17中の各分光結果において、グラフでより白く表示されているところが、その波長の光が定在波として強く存在することを示す。
図18は本発明の分光素子の孔部20の形状のバリエーションを表形式で示したものである。図中、大きく左右にY方向の長さ12.8μmと6.4μmに別れ、さらにそれぞれに左辺のX方向の長さが6.4μm、4.8μm、3.2μmの3種類がある。また、ここまで示した6種類の形状に対して、右辺/左辺の割合を0%(すなわち二等辺三角形となる)から75%まで25%おきに試作した。これらの孔部形状においても分光素子として機能することを確認した。
11 反射面
20 孔部
90 孔部形状の変形例1
92 孔部形状の変形例2
1300 分光装置
1301 半導体基板
1420 受光素子
1500 二次元分光装置
1510 分光装置(二次元分光装置の構成用途としての)
Claims (12)
- 上方に開口した穴部もしくは孔部であって、水平断面が互いに平行でない少なくとも一対の対向面を有する多角形の穴部もしくは孔部を有する金属板からなり、
前記穴部もしくは孔部の内側面が鏡状の反射面となっており、
前記開口から前記穴部もしくは孔部に入射する偏光された入射光を、前記反射面において反射することによる干渉によって、前記穴部もしくは孔部の内部に定在波を生じさせて、前記入射光を複数の波長帯に分光することを特徴とする分光素子。 - 前記穴部もしくは孔部の底部において、水平方向に異なる位置に異なる波長帯の分光成分を集光させることを特徴とする請求項1記載の分光素子
- 前記穴部もしくは孔部の水平断面の形状が、二等辺三角形であることを特徴とする請求項1または2記載の分光素子。
- 前記穴部もしくは孔部の水平断面の形状が、等脚台形であることを特徴とする請求項1または2記載の分光素子。
- 厚さの均一な金属板の上面から下面に貫通する孔部を有し、
前記孔部の、前記金属板の前記上面および前記下面に平行な横断面の形状は、前記横断面を構成する辺のうち、最長の辺から長い順に3辺を選んだときに、3辺の延長線が頂角を狭角とする二等辺三角形を形成すると共に、
前記孔部の内側面のうち、少なくとも前記二等辺三角形の等辺に接する内側面が鏡状の反射面となっていて、
前記金属板の上面から前記孔部に入射する偏光された入射光が、
前記孔部の前記反射面において前記入射光が反射されることによる干渉によって複数の波長帯に分光することを特徴とする分光素子。 - 前記分光素子の上部に偏光素子を設け、前記偏光素子の偏光方向を前記二等辺三角形の底辺の垂直二等分線と平行方向とすることを特徴とする請求項5に記載の分光素子。
- 前記分光素子の上部に偏光素子を設け、前記偏光素子の偏光方向を前記二等辺三角形の底辺の垂直二等分線と直角方向とすることを特徴とする請求項5に記載の分光素子。
- 前記孔部が、前記金属板の上面および下面に対し垂直に貫通することを特徴とする請求項5から7のいずれかに記載の分光素子。
- 請求項5から8のいずれかに記載の分光素子と、前記入射光が分光した分光分布の局在位置となる前記分光素子の下面に配置された受光素子とからなり、該受光素子により前記分光分布を電気信号に変換することを特徴とする分光装置。
- 前記分光分布の複数の局在位置に合わせて、前記受光素子を複数配置したことを特徴とする請求項9記載の分光装置。
- 請求項9または10のいずれかに記載の分光装置を、二次元方向に複数配列したことを特徴とする二次元分光装置。
- 水平断面が互いに平行でない少なくとも一対の対向面を有する多角形の、上方に開口した、内側面が鏡状の反射面となっている穴部もしくは孔部を有する金属板を用意し、
前記開口から前記穴部もしくは孔部に偏光された入射光を入射させ、前記反射面において反射することによる干渉によって、前記穴部もしくは孔部の内部に定在波を生じさせて、前記入射光を複数の波長帯に分光することを特徴とする分光方法。
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