JP5181209B2 - 半導体ウエハのダイシング方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 39
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 64
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 105
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 14
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 8
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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Description
(1)ウエハ内周部表面に回路が形成され、裏面外周部に環状凸部を有する半導体ウエハの回路面側を固定し、
ダイシングストリート延長線上の環状凸部に、第1ブレードにより溝を削成し、
第2ブレードを、溝から進入させダイシングストリートに沿って走行し、半導体ウエハを個片化する、半導体ウエハのダイシング方法であって、
環状凸部の全厚T1と、ウエハ内周部厚T2と、環状凸部頂部からの溝の深さDとが、
T1>D≧T1−T2 の関係を満たす半導体ウエハのダイシング方法。
環状凸部を有する半導体ウエハとして下記ウエハを準備し、平滑面側(環状凸部が形成されていない面)に、全厚90μmのダイシングシート(リンテック社製、Adwill D−668(商品名))を貼付し、シート外縁部をリングフレームで固定し、ダイシング装置(ディスコ社製、DFD651)のテーブル上に設置した。なお、以下で「ブレード高さ」とは、ブレードの下端とテーブル表面との距離を意味する。
環状凸部を有する半導体ウエハとして下記ウエハを準備し、平滑面側(環状凸部が形成されていない面)に、全厚90μmのダイシングシート(リンテック社製、Adwill D−668(商品名))を貼付し、シート外縁部をリングフレームで固定し、ダイシング装置のテーブル上に設置した。
実施例2において、第1ブレード高さを230μmとし、環状凸部に第1ブレードで深さ(D)585μm、幅800μmの溝を削成し、溝から第2ブレードを進入させてウエハをフルカットダイシングした以外は同様の操作を行った。
実施例1において、第1ブレードを用いず、第2ブレード単独でダイシングを試みたが、第2ブレードの刃出し量(BL)が環状凸部の高さT1よりも少ないため、環状凸部を切断できず、ダイシングは不可能であった。
比較例2において、環状凸部の全厚(T1)が400μmである半導体ウエハを用意してダイシングを行った以外は同様の操作を行った。
11…半導体ウエハ
12…半導体チップ
13…回路
14…回路表面内周部
15…余剰部分
16…裏面の内周部
17…環状凸部
18…溝
20…ブレードの回転軸
21…ブレードの台座
DB1…第1ブレード
DB2…第2ブレード
RF…リングフレーム
Claims (3)
- ウエハ内周部表面に回路が形成され、裏面外周部に環状凸部を有する半導体ウエハの回路面側を固定し、
ダイシングストリート延長線上の環状凸部に、第1ブレードにより溝を削成し、
第2ブレードを、溝から進入させダイシングストリートに沿って走行し、半導体ウエハを個片化する、半導体ウエハのダイシング方法であって、
環状凸部の全厚T1と、ウエハ内周部厚T2と、環状凸部頂部からの溝の深さDとが、
T1>D≧T1−T2 の関係を満たす半導体ウエハのダイシング方法。 - 第1ブレードの幅W1が第2ブレードの幅W2よりも広い、請求項1に記載のダイシング方法。
- 第1ブレードによる溝の削成を環状凸部にのみ行う請求項1に記載の半導体ウエハのダイシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008310846A JP5181209B2 (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 半導体ウエハのダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008310846A JP5181209B2 (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 半導体ウエハのダイシング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010135601A JP2010135601A (ja) | 2010-06-17 |
JP5181209B2 true JP5181209B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=42346586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008310846A Active JP5181209B2 (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 半導体ウエハのダイシング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5181209B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5285741B2 (ja) * | 2011-05-19 | 2013-09-11 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 半導体ウェハ及びその加工方法 |
JP7366490B2 (ja) * | 2019-04-19 | 2023-10-23 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4767702B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2011-09-07 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP2008187153A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Toyota Motor Corp | 複数個の半導体装置を製造する方法 |
JP5141070B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2013-02-13 | 富士電機株式会社 | ウェーハのダイシング方法 |
JP2008277610A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Toshiba Corp | ウエハのダイシング方法 |
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2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010135601A (ja) | 2010-06-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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