JP5180781B2 - 光電変換装置の製造方法および光電変換装置 - Google Patents
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Description
一方、中間コンタクト層は、導電性を有しているため、裏面電極が充填された接続溝と電気的に接続されると、アモルファスシリコン層や微結晶シリコン層で発生した電流が中間コンタクト層を介して接続溝へと漏れてしまう。
そこで、レーザー加工によって中間コンタクト層を分離することで、中間コンタクト層から接続溝への電流の漏洩を防止する技術が提案されている(特許文献1及び2参照)。
中間コンタクト層を分離するようにレーザーを中間コンタクト層およびアモルファスシリコン層に照射すると、レーザーの熱エネルギーをアモルファスシリコン層が吸収し、このアモルファスシリコン層が溶融し、中間コンタクト層を伴って飛散し、中間コンタクト層分離溝が形成される。この中間コンタクト層分離溝を形成する際に、中間コンタクト層分離溝を形成する壁部(底壁を含む)では、アモルファスシリコン層が溶融し再結晶する。この再結晶化した領域は、当初のアモルファスシリコンから変質しているため、低抵抗化すると考えられる。このように低抵抗化した再結晶領域は、電流の新たな漏れ経路となり、電池性能の低下を来してしまう。
具体的には、第1に、図5の左側に示すように中間コンタクト層分離溝100aが浅い場合、再結晶化領域101がアモルファスn層103に接続されてしまい、アモルファスn層103からドナー原子103aが再結晶化領域101内に拡散し、再結晶化領域101が低抵抗化してしまう。第2に、図5の右側に示すように中間コンタクト層分離溝100bが深い場合、再結晶化領域101がアモルファスp層105に接続されてしまい、アモルファスp層105からアクセプタ原子105aが再結晶化領域101内に拡散し、再結晶化領域101が低抵抗化してしまう。なお、図5において、符号107はガラス基板、109は透明電極層、111はアモルファスi層、113は中間コンタクト層を示す。
すなわち、本発明にかかる光電変換装置の製造方法は、シリコンを主成分とする第1光電変換層を製膜する第1光電変換層製膜工程と、前記第1光電変換層上に、該第1光電変換層に対して電気的および光学的に接続される中間コンタクト層を製膜する中間コンタクト層製膜工程と、レーザーを照射して、前記中間コンタクト層を除去するとともに、前記第1光電変換層まで到達する中間コンタクト層分離溝を形成して該中間コンタクト層を分離する中間コンタクト層分離工程と、前記中間コンタクト層上および前記中間コンタクト層分離溝内に、該中間コンタクト層に対して電気的および光学的に接続されるとともに、シリコンを主成分とする第2光電変換層を製膜する第2光電変換層製膜工程とを有する光電変換装置の製造方法において、前記第1光電変換層は、i層と、該i層を挟むように製膜されたp層およびn層とから構成され、前記中間コンタクト層分離工程は、前記第1光電変換層の前記i層にて終端するように前記中間コンタクト層分離溝を形成することを特徴とする。
本発明では、中間コンタクト層分離溝の終端を、第1光電変換層のi層に位置させることとした。これにより、中間コンタクト層分離溝の周囲に存在する再結晶化領域がn層またはp層に接続されることを回避し、再結晶化領域にn層からドナー原子が拡散することが防止され、また、再結晶化領域にp層からアクセプタ原子が拡散することが防止される。したがって、再結晶化領域にn層のドナー原子やp層のアクセプタ原子が拡散して低抵抗化することが回避され、電流の漏れ経路となることが防止される。
なお、第1光電変換層としては、好適には、アモルファスシリコン層が用いられ、第2光電変換層としては、微結晶シリコン層が用いられる。中間コンタクト層としては、GZO(GaドープZnO)が好適に用いられる。
i層の中間位置の範囲としては、第1光電変換層の下層となる透明電極や光透過性基板の表面における凹凸がi層の膜厚分布に影響を与えることを考慮して決定する。凹凸の程度と同等の範囲となるように、例えば凹凸の範囲がi層膜厚の±30%の場合には、i層の膜厚の中央位置からi層膜厚の±30%の範囲に中間コンタクト層分離溝の終端位置を設定することが好ましい。
本発明では、中間コンタクト層分離溝の終端を、第1光電変換層のi層に位置させることとした。これにより、中間コンタクト層分離溝の周囲に存在する再結晶化領域がn層またはp層に接続されることを回避し、再結晶化領域にn層からドナー原子が拡散することが防止され、また、再結晶化領域にp層からアクセプタ原子が拡散することが防止される。したがって、再結晶化領域にn層のドナー原子やp層のアクセプタ原子が拡散して低抵抗化することが回避され、電流の漏れ経路となることが防止される。
なお、第1光電変換層としては、好適には、アモルファスシリコン層が用いられ、第2光電変換層としては、微結晶シリコン層が用いられる。
中間コンタクト層としては、GZO(GaドープZnO)が好適に用いられる。
i層の中間位置としては、第1光電変換層の下層となる透明電極や光透過性基板の表面における凹凸を考慮して、i層の膜厚の中央位置からi層膜厚の±30%の範囲にすることが好ましい。
図1には、タンデム型とされたシリコン系薄膜太陽電池(光電変換装置)の縦断面が示されている。
太陽電池10は、ガラス基板(透光性基板)1と、透明電極層2と、トップ層(第1光電変換層)91と、中間コンタクト層93と、ボトム層(第2光電変換層)92と、裏面電極層4とを備えている。本実施形態において、トップ層91は非晶質シリコン系半導体を主として有する光電変換層であり、ボトム層92は結晶質シリコン系半導体を主として有する光電変換層である。
ガラス基板1としては、1m四方の大きさとされたソーダフロートガラスが用いられる。具体的には、1.4m×1.1mの大きさとされ、板厚が3.5〜4.5mmのものが用いられる。ガラス基板1の端面は、熱応力や衝撃などによる破損防止のために、コーナー面取り加工やR面取り加工が施されていることが好ましい。
トップ層91は、本実施形態では、アモルファスp層としてBドープしたアモルファスSiCを主とした膜厚10nm〜30nm、アモルファスi層としてアモルファスSiを主とした膜厚200nm〜350nm、アモルファスn層としてアモルファスSiに微結晶Siを含有するpドープしたSi層を主とした膜厚30nm〜50nmから構成されている。また、p層膜とi層膜の間には、界面特性の向上のためにバッファー層を設けても良い。
ボトム層92は、本実施形態では、微結晶p層としてBドープした微結晶SiCを主とした膜厚10nm〜50nm、微結晶i層として微結晶Siを主とした膜厚1.2μm〜3.0μm、微結晶n層としてpドープした微結晶Siを主とした膜厚20nm〜50nmから構成されている。
当該工程に用いられるレーザーは、1ns〜100nsのパルス幅を有するナノ秒パルスレーザーである。具体的には、発振周波数12kHz、ビームスポット径90μm、とされたYVO4レーザー(波長532nm)が好適に用いられる。加工速度(即ちガラス基板1に対するレーザーの送り速度)は、例えば、800mm/s程度とされる。
なお、レーザーとしては、YAGレーザーの第2高周波(532nm)やファイバーレーザーを用いてもよい。
同図において、中央に位置する太線が中間コンタクト層分離槽14の終端位置14Lを示す。したがって、同図において上下方向が膜厚方向を意味する。
同図において終端位置14Lの下方に位置する三角波形状の凹凸線91i−Lは、アモルファスi層91iとアモルファスp層91pとの界面を示す。この凹凸は、透明電極層2の表面に形成されたテクスチャ構造の凹凸が反映されたものである。この凹凸線91i−Lの略中央に示されている破線91i−Lavは、凹凸線91i−Lの膜厚方向の平均値を示した平均線である。
同図において終端位置14Lの上方に位置する三角波形状の凹凸線91i−Uは、アモルファスi層91iとアモルファスp層91pとの界面を示す。この凹凸は、透明電極層2の表面に形成されたテクスチャ構造の凹凸が反映されたものである。この凹凸線2Lの略中央に示されている破線91i−Uavは、凹凸線91i−Uの膜厚方向の平均値を示した平均線である。
中間コンタクト層分離溝14の終端位置14Lは、凹凸線91i−L,Uの凹凸の程度を考慮して決定する。例えば、アモルファスi層91iの膜厚(破線91i−Lav,Uav間の距離)に対して±30%の凹凸が有る場合には、終端位置14Lの位置は、この凹凸の程度と同等となるように、アモルファスi層91iの膜厚の中央位置からi層膜厚の±30%の範囲に設定する。
y = -1373.4x2 + 1700x - 226.95 ・・・(1)
という二次式に表される関係がある。
このような加工深さ範囲、即ち105〜305nmの範囲の加工深さでは、上式(1)は精度良く近似される。
したがって、105〜305nmの加工深さを実現するためには、図4に示されているように、0.24J/cm2(12kHz,0.18W)〜0.6J/cm2(12kHz,0.45W)の範囲のエネルギー密度にナノ秒パルスレーザーの出力を調整すればよい。ただし、安定化出力の観点から、0.3〜0.4J/cm2の範囲にてナノ秒パルスレーザーの出力を調整するのが好ましい。
中間コンタクト層分離溝14の終端14Lを、トップ層91のアモルファスi層91iに位置させることとした。これにより、中間コンタクト層分離溝14の周囲に存在する再結晶化領域15がアモルファスn層91nまたはアモルファスp層14pに接続されることを回避し、再結晶化領域15にn層からドナー原子が拡散することが防止され、また、再結晶化領域15にp層からアクセプタ原子が拡散することが防止される。したがって、再結晶化領域15にn層のドナー原子やp層のアクセプタ原子が拡散して低抵抗化することが回避され、電流の漏れ経路となることが防止される。
2 透明電極層
4 裏面電極層
5 発電セル
10 太陽電池(光電変換装置)
14 中間コンタクト層分離溝
15 再結晶化領域
91 トップ層(第1光電変換層)
92 ボトム層(第2光電変換層)
93 中間コンタクト層
Claims (3)
- シリコンを主成分とする第1光電変換層を製膜する第1光電変換層製膜工程と、
前記第1光電変換層上に、該第1光電変換層に対して電気的および光学的に接続される中間コンタクト層を製膜する中間コンタクト層製膜工程と、
レーザーを照射して、前記中間コンタクト層を除去するとともに、前記第1光電変換層まで到達する中間コンタクト層分離溝を形成して該中間コンタクト層を分離する中間コンタクト層分離工程と、
前記中間コンタクト層上および前記中間コンタクト層分離溝内に、該中間コンタクト層に対して電気的および光学的に接続されるとともに、シリコンを主成分とする第2光電変換層を製膜する第2光電変換層製膜工程と、
を有する光電変換装置の製造方法において、
前記第1光電変換層は、i層と、該i層を挟むように製膜されたp層およびn層とから構成され、
前記中間コンタクト層分離工程は、前記第1光電変換層の前記i層にて終端するように前記中間コンタクト層分離溝を形成し、
前記中間コンタクト層分離溝の終端位置は、前記i層の膜厚方向における略中間位置でかつ、前記i層の膜厚の中央位置から、前記第1光電変換層の下層となる透明電極または光透過性基板の表面における凹凸の程度と同等の範囲とされていることを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 前記中間コンタクト層分離溝の終端位置は、前記パルスレーザーの単位面積当たりの出力を示すパワー密度を調整することによって決定されることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置の製造方法。
- シリコンを主成分とする第1光電変換層と、
該第1光電変換層に対して電気的および光学的に接続された中間コンタクト層と、
該中間コンタクト層に対して電気的および光学的に接続されるとともに、シリコンを主成分とする第2光電変換層と、を備え、
前記中間コンタクト層を分離するように該中間コンタクト層を貫通するとともに前記第1光電変換層まで到達する中間コンタクト層分離溝が形成された光電変換装置において、
前記第1光電変換層は、i層と、該i層を挟むように製膜されたp層およびn層とから構成され、
前記中間コンタクト層分離溝は、前記第1光電変換層の前記i層にて終端し、
前記中間コンタクト層分離溝の終端位置は、前記i層の膜厚方向における略中間位置でかつ、前記i層の膜厚の中央位置から、前記第1光電変換層の下層となる透明電極または光透過性基板の表面における凹凸の程度と同等の範囲とされていることを特徴とする光電変換装置。
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