JP5174013B2 - 分光分析用の発電機 - Google Patents
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Description
分光分析では、ICPは質量分析(MS)用のイオン源または原子発光分析(OES)用の光源として使用されてもよい。ICP装置は、トーチアセンブリと同軸上に装着した1または複数の水冷誘導コイルから構成されてもよく、該トーチアセンブリからアルゴンガスが慎重に制御した速度で導入される。RF電力を誘電コイルに供給する。アルゴンは電気を通さないため、例えば高電圧火花によってアルゴン内で発生した小規模な放電でプラズマが「開始」されるまでは、誘導コイルのRF電磁場によって加熱されない。この放電により、RF電磁場と相互に作用するのに十分な電子とイオンとが生成され、その結果、イオンおよび電子生成のプロセスで自己持続するのに十分な熱が発生し、それによりプラズマを保持する。
RF電力を供給する発電機は、プラズマを励起して維持するための十分な電力、例えば500Wないし3kWの範囲の電力を発生させることができなければならない。また、発電機は、例えば不意にプラズマが消える際に起きる負荷インピーダンスの急激かつ著しい変化に対応できなければならない。また、発電機は、例えばプラズマの励起と持続的発生との間に起きる負荷インピーダンスの非定常状態に対応できなければならない。
固体スイッチング装置を備え、DC電源の両端に接続可能なスイッチング回路であって、前記固体スイッチング装置の各々がゲート駆動電圧を受けるためのゲート電極を有し、
それによりRF電力を供給するためにオン・オフを交互に切り替え可能であるスイッチング回路と、
前記スイッチング回路からのRF電力が結合される負荷回路であって、誘導コイルとコンデンサとを備えた負荷回路と、
各固体スイッチング装置のためのゲート駆動回路であって、各々が負荷回路の一部分と互いに誘導結合する一部分を有し、前記ゲート駆動電圧を提供するゲート駆動回路と、
を備え、
前記誘導コイルとコンデンサとは、並列共振のために接続されていて、
前記負荷回路の前記一部分は前記誘導コイルの支持導線であり、
各ゲート駆動回路の前記一部分は誘導ループであり、
各誘導ループはプリント回路基板の導通性トラックにより設けられた分光分析用の誘導結合プラズマ(ICP)を励起するための誘導コイル用無線周波数(RF)発電機が提供される。
誘導コイルの導線と互いに誘導結合する各ゲート駆動回路の一部分は、誘導コイルの導線と平行に延びている誘導ループであることが好ましい。
本発明の実施形態では、RF MOSFET(金属酸化物半導体電界効果トランジスタ)のフルブリッジは、RF周波数で切り替わり、並列接続されている誘導コイルとコンデンサとに結合回路網によって接続されている。MOSFETのゲート駆動電圧は、プラズマ誘導コイルの支持導線に近接した誘導結合ループから生じることが好ましい。この配置は、支持導線を1次インダクタとして使用して、それにより付加的な構成要素の必要性を回避し、コストを削減するので有利である。また、誘導結合ループ(すなわち、2次インダクタ)は、例えばプリント回路基板の導電性トラックを介して比較的安価に設けることができる。あるいは、ゲート駆動電圧は負荷回路の他の部分から生じるものとすることができる。例えば、スイッチング回路と、並列接続されている誘導コイルおよびコンデンサとの間を結合するためのインダクタから生じるものとすることができる。
本発明をより理解し、本発明がいかに実施されるかを示すために、非限定的な例として、添付の図面を参照しながら実施形態をよって以下に説明する。
図5(図2における同様の構成要素には同様の参照符号を使用)は、ターナー(米国特許第5,194,731号明細書)が記述するような、相互結合したインターレース方式のプラズマ誘導コイル60aおよび60b(L5A/1,L5A/2)を使用する固体RF発電機50’の別の実施形態を示す。この構成では、接地電位に対して均衡されたDC電源56’を採用する必要がある。2つの電源バイパスコンデンサ58aおよび58b(C10A,C10B)がこの構成では必要になる。また、MOSFET51および53(M1およびM3)のバイアス電源97および99は、図2の実施形態のように接地電位を基準にするよりもむしろ、負DC電源レール74’に対して直ちに浮動しなければならないため、バイアス電圧基準点を確立するために別のRFチョーク91a(RFC1B)が必要になる。その他の点については、この種のRF発電機50’の動作は図2に示すものとすべて同じである。
図6(図2における同様の構成要素には同様の参照符号を使用)を参照すると、本発明の図2の実施形態に係る電源装置50の構造200の一部分には、2対の対向するプリント回路基板204、206を支持するフレーム202が備えられている。プラズマトーチ(図示せず)が配置可能な誘導コイル60は、プリント回路基板204,206とフレーム202とから成るアセンブリ200に対して誘導コイル60を構造的に支持する導線80および82を備えている。誘導コイル60とその導線80および82は、発電機50の作動中に冷媒が流れる銅管から形成されていてもよい。
本明細書に記載の発明は、具体的に記述した以外の変形、変更および/または追加が可能であり、そのような変形、変更および/または追加は、以下の特許請求の範囲内に含まれることを理解すべきである。
Claims (10)
- 固体スイッチング装置を備え、DC電源の両端に接続可能なスイッチング回路であって、前記固体スイッチング装置の各々がゲート駆動電圧を受けるためのゲート電極を有し、それによりRF電力を供給するためにオン・オフを交互に切り替え可能であるスイッチング回路と、
前記スイッチング回路からのRF電力に結合される負荷回路であって、誘導コイルとコンデンサとを備えた負荷回路と、
各固体スイッチング装置のためのゲート駆動回路であって、各々が前記負荷回路の一部分と互いに誘導結合する一部分を有し、前記ゲート駆動電圧を提供するゲート駆動回路と、
を備え、
前記誘導コイルと前記コンデンサとは、並列共振のために接続されていて、
前記負荷回路の前記一部分は前記誘導コイルの支持導線であり、
各ゲート駆動回路の前記一部分は誘導ループであり、
各誘導ループはプリント回路基板の導通性トラックにより設けられていることを特徴とする分光分析用の誘導結合プラズマを励起するための誘導コイル用無線周波数発電機。 - 前記誘導ループは前記誘導コイルの前記導線と平行に延びていることを特徴とする請求項1に記載の無線周波数発電機。
- 前記固体スイッチング装置は絶縁ゲート電界効果トランジスタであることを特徴とする請求項1または2に記載の無線周波数発電機。
- 前記スイッチング装置は、フルブリッジ型に構成した4つのMOSFETを備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の無線周波数発電機。
- DC電圧源を備え、前記DC電圧は、前記発電機の出力を変化させるために変えられることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の無線周波数発電機。
- 前記DC電圧は前記負荷回路の測定変数に応じて変えられることを特徴とする請求項5に記載の無線周波数発電機。
- 前記負荷回路の測定変数は前記誘導コイル共振回路の無線周波数電流であることを特徴とする請求項6に記載の無線周波数発電機。
- 前記DC電圧は少なくとも1つの前記固体スイッチング装置のゲート駆動電圧に応じて変えられることを特徴とする請求項5に記載の無線周波数発電機。
- 前記DC電圧源は、AC商用電源に接続可能なAC−DC変換器を備えたことを特徴とする請求項5ないし8のいずれか1項に記載の無線周波数発電機。
- 前記AC−DC変換器は、AC−DC力率補正変換器と、それに続くDC−DC変換器とを有する2段階変換器であることを特徴とする請求項9に記載の無線周波数発電機。
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