JP5173624B2 - 記録ヘッド及び記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
105 インナーリード
106 電極パッド
107 スタッドバンプ
202 吐出口
203 記録素子
204 液室
Claims (5)
- 吐出口から液体を吐出するために当該液体にエネルギーを付与する記録素子と、
前記記録素子に電気エネルギーを伝送するために前記記録素子から延びている配線の端部に形成されている電極端子と、
前記記録素子を駆動させるための駆動信号の伝送を行うために前記電極端子に対応して配置されたリード端子と
を有する記録ヘッドにおいて、
前記電極端子と前記リード端子とがバンプを介して接続されており、
前記電極端子と前記バンプとの間の接続は、前記電極端子と前記バンプとが接触した状態で超音波振動が接続部に第一の方向に印加されることで行われ、
前記リード端子と前記バンプとの間の接続は、前記リード端子と前記バンプとが接触した状態で超音波振動が接続部に前記第一の方向に交差する第二の方向に印加されることで行われることを特徴とする記録ヘッド。 - 前記バンプは、超音波振動が印加されて所定の形状に形成され、
前記バンプを所定の形状とするために印加される超音波振動は、前記第一の方向及び前記第二の方向に交差する第三の方向に印加されることで行われることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。 - 吐出口から液体を吐出するために当該液体にエネルギーを付与する記録素子と、
前記記録素子に電気エネルギーを伝送するために前記記録素子から延びている配線の端部に形成されている電極端子と、
前記記録素子を駆動させるための駆動信号の伝送を行うために前記電極端子に対応して配置されたリード端子とを有し、
前記電極端子と前記リード端子とがバンプを介して接続された記録ヘッドを製造する記録ヘッドの製造方法において、
前記電極端子と前記バンプとが接触した状態で超音波振動を接続部に第一の方向に印加して前記電極端子と前記バンプとの間の接続を行う電極端子接続工程と、
前記リード端子と前記バンプとが接触した状態で超音波振動を接続部に前記第一の方向に交差する第二の方向に印加して前記リード端子と前記バンプとの間の接続を行うリード端子接続工程と
を具えることを特徴とする記録ヘッドの製造方法。 - 前記電極端子接続工程の後に、前記電極端子に接続された前記バンプに、前記第一の方向及び第二の方向に交差する第三の方向に超音波振動を印加して前記バンプを所定の形状に形成するバンプ形成工程を具え、
所定の形状に形成されたバンプが前記リード端子接続工程で前記リード端子に接続されることを特徴とする請求項3に記載の記録ヘッドの製造方法。 - 前記電極端子接続工程では前記電極端子がウエハ内に形成されており、
前記バンプが前記電極端子に接続されるのは、前記電極端子がウエハ内に形成されている段階であり、
前記ウエハ内の全ての前記電極端子と前記バンプとの間の接続部に対して超音波振動が第一の方向に印加されることを特徴とする請求項3または4に記載の記録ヘッドの製造方法。
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