JP5168905B2 - 光スイッチ及び経路切り替え方法 - Google Patents

光スイッチ及び経路切り替え方法

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Description

本発明は、光通信、光交換、光情報処理および光インターコネクション等に用いられる多入力多出力の光行路の切り替えに用いられる集積型光空間スイッチに関するものである。
光通信の分野のみならず光情報処理の分野においても、大容量の光信号情報を電気信号に変換せずに光信号のまま行路(経路)切り替えを行う光スイッチング技術の開発が重要になってきている。従来、石英ガラス、半導体、ニオブ酸リチウム、ポリマーなどの基板上に、平面光導波路を形成した例や、マイクロマシン等の微小な可動機構を有する大規模なスイッチまで様々なものが開発されている。
しかしながら、マイクロマシンによるスイッチは、可動部を有する為に、製作工程が複雑であり、また、信頼性を確保することが容易でないこと、さらには、切り替え速度を上げることが困難であるという問題点がある。
また、平面光回路による光スイッチの例として、1入力2出力及び2入力2出力の構成を基本要素としてマトリクス状に複数組み合わせた多入力多出力の光スイッチがある。例えば、4入力4出力のマトリクス光スイッチを例にとると、1X2のスイッチ要素8個と2X2のスイッチ要素4個が必要となる。この場合、各スイッチ要素における光行路の切り替えは、熱光学効果あるいは電気光学効果による屈折率の変化を利用することになる。
しかしながら、この方式では、スイッチ規模が大きくなり、チャネル数が増加すると、全体の素子サイズが急速に増大すると共に、導波路交差の数も増大することから、光学損失の増大と素子コスト、歩留まりの低下など多くの問題が顕在化することになる。
そこで、最近では、アレイ光導波路の屈折率を変化させることにより、伝播光ビームを偏向させて行路切り替えを行う方式が検討されている。
図4は、アレイ光導波路型スイッチの一般的な構成である(特許文献1参照)。この例では、石英基板71上に、平面光回路でアレイ光導波路型の経路切り替えスイッチが形成されている。アレイ光導波路部の各光導波路の長さは、等しく設定されており、各導波路毎に異なる電極長を有するヒータ電極76への電圧印加により、各光導波路間の屈折率に対して一定の差異を生じさせることが可能となっている。
入力光導波路74に入力された信号光は、第一のスラブ光導波路75で横方向に広がり、アレイ光導波路77に分配される。
ヒータ電極76への印加電圧を変えることにより、アレイ光導波路77では、各導波路間に熱光学効果により、一定の屈折率変化が生じるので、第二のスラブ光導波路72の入力端79おいて、光ビームの進行方向に偏向が発生する。これにより、第二のスラブ光導波路72の出力端78における集光点が変化して、信号光の出力光導波路(出力ポート)73が変更される。
図4に示した構成の場合、前述したマトリクススイッチのような導波路交差やチャネル数の増加に伴う著しいサイズの増大を生じないという利点がある。しかしながら、この構成は、1入力複数出力は可能であるが、複数入力・複数出力ができない、という問題を有する。
なお、特許文献2には、複数の入力ポートと複数の出力ポート間を、スラブ光導波路中を伝播する2次元的な光ビームによって接続することによりNXNスイッチを実現する光スイッチが記載されている。また、特許文献3には、第一光偏向器、平面光導波路、第二光偏向器を備え、第一光偏向器は入力ポートに順次接続したスターカプラ及び導波路アレイと電極を備え、第二光偏向器は出力ポートに順次接続したスターカプラ及び導波路アレイと電極を備え、二つのアレイを平面導波路を介し接続し、第一光偏向器のアレイの各導波光の位相を電極を介して制御して第二光偏向器の所望のアレイに入射させ、該アレイを導波する各導波光の位相を電極を介して制御することによりこれらの光を等位相としてカプラに入射させ、該カプラは等位相で入射した光のみを出射する光スイッチの構成が開示されている。
特開平11−212123号公報(第1図) 特開2003−202606号公報(第9図) 特開平5−273604(第1図)
近年の光スイッチにおいては、通信分野のみならず光情報処理分野においても、1XNだけでなく、NXNの入出力切り替え機能が求められている。
前記したアレイ光導波路型の空間偏向スイッチでは、マトリクススイッチのように導波路交差を生じず、さらに、チャネル数の増大に伴うサイズの増大も比較的緩やかであり、今後の実用化が期待される方式ではあるものの、NXNの入出力切り替え機能が出来ない、という課題があった。
したがって、本発明は、このような課題を解決するために為されたのものであり、その主たる目的は、チャネル数の増加に対して光学損失およびサイズの増大を抑止可能とし、NXNの入出力切り替えが可能な光スイッチを提供すること目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一つの側面(アスペクト)に係る光スイッチは、複数の入力ポートと複数の出力ポートを有する平面導波路型の経路切り替え機能を有する光スイッチであって、前記複数の入力ポートは、それぞれ異なるサブスラブ光導波路の一端に接続されており、前記複数のサブスラブ光導波路の他端は、それぞれ異なるアレイ型光導波路を介して、共通のメインスラブ光導波路の一端に光学的に接続されており、また、前記メインスラブ光導波路の他端には、複数の出力ポートが接続されており、さらに、前記アレイ型光導波路の上部には各光導波路の屈折率に差異を生じせしめる電極が配置されていること特徴としている。
本発明において、前記メインスラブ光導波路は、前記複数の出力ポートに接続する他端の側で幅狭とされ、前記複数のアレイ型光導波路に接続する一端の側が弧状に幅広とされる略扇型の平面形状を有する構成としてもよい。
また、本発明に係る光スイッチにおいて、アレイ光導波路の上部にヒータ電極が配置されており、このヒータ電極の発熱による熱光学効果により、前記アレイ光導波路の隣接する導波路間の屈折率に差異を生じせしめる構成としてもよい。
また、本発明に係る光スイッチにおいて、前記アレイ光導波路が電気光学効果を有する材料で形成されており、前記アレイ光導波路の上部に電圧を印加するための電極が配置されており、前記電極への電圧印加による電気光学効果により、前記アレイ光導波路の隣接する導波路間の屈折率に差異を生じせしめる構成としてもよい。
また、本発明に係る光スイッチにおいて、前記アレイ光導波路の隣接する各光導波路の長さが一定の割合で変化している構成としてもよい。
あるいは、前述の光スイッチにおいて、前記アレイ光導波路の隣接する各光導波路の長さが等しく設定されているようにしてもよい。
あるいは、前述の光スイッチにおいて、前記サブスラブ光導波路及び前記メインスラブ光導波路と前記アレイ光導波路が同一平面上にモノリシック集積されていることを特徴としている。
あるいは、本発明に係る光スイッチにおいて、少なくとも前記アレイ光導波路が電気光学効果を有する半導体材料で形成されている構成としてもよい。
また、本発明に係る光スイッチにおいて、少なくとも前記アレイ光導波路が電気光学効果を有する誘電体材料で形成されている構成としてもよい。
本発明の他の側面(アスペクト)に係る方法は、複数の入力ポートに一端がそれぞれ接続された複数のサブスラブ光導波路と、前記複数のサブスラブ光導波路の他端に、複数のアレイ型光導波路を介して、対応する一端がそれぞれ接続されている、共通のメインスラブ光導波路と、を有し、前記メインスラブ光導波路の他端には複数の出力ポートが接続されており、前記各アレイ型光導波路に対応して、前記各光導波路の屈折率を可変制御させる制御電極が設けられた光スイッチの経路切り替え方法であって、前記アレイ光導波路の屈折率の変化を制御することで、前記メインスラブ光導波路での集光ポイントを可変させ、前記出力ポートの切り替えを行うステップを含む。
本発明に係る方法において、ある入力ポートから入力された光波は、前記入力ポートに接続されたサブスラブ光導波路を伝播した後に、前記アレイ光導波路に分波されるステップと、
前記アレイ光導波路では、前記制御電極により、アレイ状に隣接する光導波路間でその屈折率に所定の差異をもたせ、前記アレイ光導波路を伝播した光波の等位相面に、前記アレイ光導波路の終端である前記メインスラブ光導波路端面で前記屈折率差に応じた傾きを生じさせるステップと、
前記傾きをもった光波は、前記メインスラブ光導波路を伝播する過程で前記メインスラブ光導波路端面に設けられた、ある出力ポート端に集光し、前記ある出力ポートを介して、前記光スイッチ外部へ出力されるステップと、を含むようにしてもよい。
[本発明の概要・作用]
本発明に係る光スイッチによれば、複数入力で複数出力の経路切り替えが可能であり、かつ、入出力光の干渉を生じずに各ポートへの同時切り替えが可能な光スイッチである。複数ある入力ポートの中である特定の入力ポートから入力された光波は、このポートに接続されたサブスラブ光導波路を伝播した後に、アレイ光導波路に分波される。このアレイ光導波路では、近傍に設けられた制御電極により、アレイ状に隣接する光導波路間でその屈折率に一定の差異をもたせることが可能であり、アレイ光導波路を伝播した光波の等位相面には、アレイ光導波路の終端であるメインスラブ光導波路端面で、前記屈折率差に応じた傾きが生じることになる。ある傾きをもった光波は、メインスラブ光導波路を伝播する過程でメインスラブ光導波路端面に設けられた特定の出力ポート端に集光し、その出力ポートを介して、光スイッチ外部へ出力されることになる。また、上記アレイ光導波路の屈折率変化を適当に制御することにより、メインスラブ光導波路での集光ポイントを変化させることが可能であり、これにより、出力ポートの切り替えが可能となる。上記の光波行路(経路)の選択は、複数ポートの行路(経路)切り替えが同時に行われる場合であっても、特に別段の問題は生じない。
また、本発明に係る光スイッチは、石英基板を用いた平面光回路で構成することが可能であり、アレイ光導波路の屈折率変化に石英の熱光学効果を用いることにより、石英材料単体で構成することができる。また、前記アレイ光導波路に半導体材料または強誘電体材料を用いることにより高速の経路切り替えも可能となる。
本発明の光スイッチによれば、複数の入力ポートに接続されている複数のサブスラブ光導波路が一つの共通のメインスラブ光導波路に接続されていることによって、全体として、NXNスイッチの経路切り替えを実現することができる。アレイ光導波路を用いた経路切り替えスイッチは、通常2つのスラブ光導波路間を結ぶアレイ光導波路の屈折率を制御することにより、出力側のスラブ光導波路を伝播する光波の等位相面を変化させて、スラブ光導波路端面の集光点を移動させることにより、出力ポートを変えている。この場合、1XNの経路切り替えスイッチの構成となり、これらの光スイッチをN個並べても、NXNスイッチの構成にはならない。
また、本発明に係る光スイッチによれば、入力光導波路、サブスラブ光導波路、アレイ光導波路、出力光導波路の各要素を一つの基板上の平面光回路としてモノリシック集積できるので、小型化および実装コストの低減が可能となる。
また、本発明に係る光スイッチによれば、複数の入力ポートへ入力された光波は、それぞれ独立にアレイ光導波路で経路切り替えが制御され、メインスラブ光導波路で空間的な切り替えが行われるので、同時に複数の光波経路の切り替えが可能となる。
さらに、本発明に係る光スイッチによれば、アレイ光導波路部に半導体材料または強誘電体材料を用いることにより、電気光学効果による屈折率変化を利用することができ、高速の経路切り替えが可能となる。
さらにまた、本発明に係る光スイッチによれば、アレイ光導波路を構成する光導波路の長さに一定の割合で変化をもたせることにより、波長ルーティングの機能を持たせることが可能となる。
本発明によれば、メインスラブ光導波路を、出力光導波路が接続する端面側を絞り込んで、幅狭とし、アレイ光導波路に接続する側を幅広とする略扇型の平面形状とすることで、NXNの光スイッチの素子サイズの縮減に貢献する。
本発明の一実施の形態の光スイッチの構成を示す図である。 本発明の別の実施の形態の光スイッチの構成を示す図である。 図2の半導体アレイ光導波路集積部を部分的に拡大して示した斜視図である。 アレイ光導波路を用いた従来の光スイッチの構成を示す図である。
符号の説明
10 入力ポート
11 入力導波路
12 サブスラブ光導波路
13 楔形ヒータ制御電極
14 アレイ光導波路
15 メインスラブ光導波路
16 出力光導波路
17 出力ポート
18 石英基板
19 メインスラブ光導波路の入力端
20 メインスラブ光導波路の出力端
30 入力ポート
31 入力導波路
32 サブスラブ光導波路
33 楔型制御電極
34 半導体アレイ光導波路
35 メインスラブ光導波路
36 出力光導波路
37 出力ポート
38 石英基板
39 メインスラブ光導波路の入力端
40 メインスラブ光導波路の出力端
41 グランド電極
42 半導体アレイ光導波路部
50 楔型電極
52 石英導波路の第二クラッド層
53 石英導波路の第一クラッド層
54 石英導波路のコア層
55 グランド電極
56 n型InP基板
57 InP光導波路アレイ
58 p型InPクラッド層
59 n型InPクラッド層
60 InGaAsP/InP 多重量子井戸コア層
71 石英基板
72 第二スラブ光導波路
73 出力光導波路
74 入力光導波路
75 第一スラブ光導波路
76 ヒータ電極
77 アレイ光導波路
78 第二スラブ光導波路の出力端
79 第二スラブ光導波路の入力端
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の光スイッチの一実施の形態の構成概略を示す模式図である。図1を参照すると、本発明の一実施の形態に係る光スイッチにおいては、石英基板18上に、入力導波路11とサブスラブ光導波路12が接続されている。サブスラブ光導波路12とメインスラブ光導波路15との間は、アレイ光導波路14にて光学的に接続されている(なお、「サブスラブ光導波路」、「メインスラブ光導波路」は、それぞれ、「サブスラブ導波路」、「メインスラブ導波路」とも略記される)。そして、アレイ光導波路14の上部には、楔型のヒーター制御電極13が形成されている。また、複数ある全てのサブスラブ光導波路は、共通のメインスラブ光導波路の一端19に光学的に接続されている。そして、メインスラブ光導波路15の他端20には、出力光導波路16が光学的に接続されている。本実施例において、メインスラブ光導波路15の平面形状としては、複数の出力光導波路16に接続する側で幅狭とされ(出力光導波路16の間隔を狭めている)、複数のアレイ型光導波路14に接続する側は幅広とされる。図1に示す例の場合、メインスラブ光導波路15の複数のアレイ型光導波路14に接続する側は弧状に拡げられ、略扇型の平面形状を有する。メインスラブ光導波路15の幅狭とされた端面側(中心側)での相隣る出力光導波路16間の間隔は、幅狭とされたメインスラブ光導波路15に対応して相対的に小とされており、複数の出力光導波路16の1部又は全ては、メインスラブ光導波路15に接続される側から一旦直線状に延在された後、該直線の延長方向に対して、所定角度で開くように曲げられ、つづいて、該直線方向と並行に延在されて出力ポート17に導かれており、相隣る出力ポート間の間隔は、メインスラブ光導波路15の幅狭とされた端面での相隣る出力光導波路16間の間隔よりも大とされる。このように、メインスラブ光導波路15を略扇型の平面形状とすることで、NXNの光スイッチの素子サイズの縮減に貢献する。以下に、この実施の形態の動作・機能について詳細に説明する。
入力ポート10に入力された光波信号光は、サブスラブ光導波路12を介して、複数本の光導波路がアレイ状に配設されたアレイ光導波路14に分波され、メインスラブ光導波路の一端(入力端)19に到達し、メインスラブ光導波路15を伝播して、メインスラブ光導波路15の他端(出力端)20に設けられたある特定の出力ポートに集光し、出力光導波路16を伝播して、出力ポート17から出力されることになる。
また、アレイ光導波路14の上部に設けられた楔形のヒーター制御電極13への投入電力を変化させることにより、熱光学効果により、アレイ光導波路14の各光導波路成分に一定の屈折率差を生じせしめることができる。これにより、メインスラブ光導波路15の一端(入力端)19における光波信号の等位相面の法線方向を変化させることができるので、メインスラブ光導波路15の出力端20での集光位置を変えることができる。即ち、メインスラブ光導波路15の出力端20に複数設けられた出力光導波路16に、集光位置を合わせることにより、出力ポート17を任意に切り替えることが可能となる。
複数ある入力ポート10に接続されたサブスラブ光導波路12及びアレイ光導波路14は、互いに独立であり、その動作においても互いに影響しないので、複数同時の経路切り替えが可能となる。
本発明の他の実施形態として、アレイ光導波路部に半導体光導波路を用いることにより、特に、高速の経路切り替えを可能にする光スイッチを以下に示す。図2は、特に高速化を図った本発明の光スイッチの構成概略を示す模式図である。
図2を参照すると、この実施の形態の光スイッチにおいては、石英基板38上に、入力導波路31とサブスラブ光導波路32が接続されており、サブスラブ光導波路32とメインスラブ光導波路35との間が半導体アレイ光導波路34で光学的に接続されている。半導体アレイ光導波路34の上部には、電圧印加の為の楔形制御電極33が形成されている。また、複数ある全てのサブスラブ光導波路は、共通のメインスラブ光導波路の一端(入力端)39に光学的に接続されている。そして、メインスラブ光導波路35の一端(出力端)40には、出力光導波路36が光学的に接続されており、半導体アレイ光導波路34の下部には、グランド電極41が形成されている。
図3は、図2の半導体アレイ光導波路部42の部分を拡大して示した斜視図である。図3を参照すると、部分的に取り除かれた石英導波路の第一クラッド層53の上部に、グランド電極55が形成されており、グランド電極55の上部に、半導体アレイ光導波路が設置されている。
半導体アレイ光導波路は、n型InP基板56の上に、n型InPクラッド層59、InGaAsP/InPで構成された多重量子井戸型コア層60、p−InPクラッド層58が順次積層されており、さらに、最上部に楔型電極50が設けられている。また、多重量子井戸コア層60の積層方向の中心高さと石英導波路のコア層54の中心高さは、等しくなるように設定されている。
楔型電極50とグランド電極55の間に電圧を印加すると、多重量子井戸型コア層60に電界が印加されて、QCSE(量子閉じ込めシュタルク効果)により、多重量子井戸型コア層60の屈折率が変化することになるが、楔形電極50により、各アレイ光導波路上の電極長には、一定の差があるので、各アレイ光導波路の実効屈折率には、一定の差異が生じることになる。
また、多重量子井戸型コア層60で生じるQCSE(量子閉じ込めシュタルク効果)は、高速性を有する物理現象であり、ナノ秒程度の経路切り替えが可能である。
以上本発明を上記実施例に即して説明したが、本発明は上記実施例の構成にのみ限定されるものでなく、本発明の範囲内で当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。

Claims (17)

  1. 複数の入力ポートと複数の出力ポートを有する平面導波路型の経路切り替え機能を有する光スイッチであって、
    前記複数の入力ポートに一端がそれぞれ接続された複数のサブスラブ導波路と、
    前記複数のサブスラブ導波路の他端に、複数のアレイ光導波路を介して、対応する一端がそれぞれ接続されている、共通のメインスラブ導波路と、
    を有し、
    前記メインスラブ導波路の他端には前記複数の出力ポートが接続されており、
    前記各アレイ光導波路に対応して、前記各アレイ光導波路の屈折率を可変制御するための電極が配置され、
    前記メインスラブ導波路は、その平面形状として、前記複数のアレイ光導波路に接続する一側が弧状に拡開されて幅広とされ、前記複数の出力ポートに接続する他側が絞り込まれて幅狭とされた略扇型形状を有する、ことを特徴とする光スイッチ。
  2. 前記電極は、前記アレイ光導波路の上部に配設されている、ことを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
  3. 互いに離間している複数の入力光導波路に一側がそれぞれ接続された複数のサブスラブ導波路と、
    前記複数のサブスラブ導波路の他側に一側がそれぞれ接続された複数のアレイ光導波路と、
    前記複数のアレイ光導波路に対して共通に1つ設けられ、前記複数のアレイ光導波路に接続する一側が弧状に拡開され幅広とされた1つのメインスラブ導波路と、
    前記メインスラブ導波路の幅狭とされた他側にそれぞれ接続され、互いに離間している複数の出力光導波路と、
    前記複数のアレイ光導波路のそれぞれに対応して設けられ、前記アレイ光導波路の屈折率を可変制御するための電極と、
    を備えている、ことを特徴とする光スイッチ。
  4. 前記入力光導波路の前記サブスラブ導波路に接続される側と反対側の端部が光を入射する入力ポートをなし、
    前記出力光導波路の前記メインスラブ導波路に接続される側と反対側の端部が光を出射する出力ポートをなし、
    前記メインスラブ導波路の幅狭とされた前記他側において相隣る前記出力光導波路間の間隔は、前記メインスラブ導波路の幅狭とされた前記他側に対応して設定され、前記複数の出力光導波路の少なくとも1つは、前記メインスラブ導波路に接続される側から一旦直線状に延在されたのち、前記出力ポートに到る前にその経路が曲げられて拡開され、相隣る出力ポート間の間隔は、前記メインスラブ導波路の幅狭とされた前記他側での相隣る前記出力光導波路間の間隔よりも大とされる、ことを特徴とする請求項3記載の光スイッチ。
  5. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    前記アレイ光導波路の上部に、ヒータ電極が配置されており、
    前記ヒータ電極の発熱による熱光学効果により、前記アレイ光導波路の隣接する導波路間の屈折率に差異を生じせしめる、ことを特徴とする光スイッチ。
  6. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    前記アレイ光導波路が電気光学効果を有する材料で形成されており、
    前記アレイ光導波路の上部に、電圧を印加するための電極が配置されており、
    前記電極への電圧印加による電気光学効果により、前記アレイ光導波路の隣接する導波路間の屈折率に差異を生じせしめる、ことを特徴とする光スイッチ。
  7. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    前記アレイ光導波路の隣接する各光導波路の長さが一定の割合で変化している、ことを特徴とする光スイッチ。
  8. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    前記アレイ光導波路の隣接する各光導波路の長さが等しく設定されている、ことを特徴とする光スイッチ。
  9. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    前記サブスラブ導波路及び前記メインスラブ導波路と前記アレイ光導波路が、同一平面上にモノリシック集積されている、ことを特徴とする光スイッチ。
  10. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    少なくとも前記アレイ光導波路が電気光学効果を有する半導体材料で形成されている、ことを特徴とする光スイッチ。
  11. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    少なくとも前記アレイ光導波路が電気光学効果を有する誘電体材料で形成されている、ことを特徴とする光スイッチ。
  12. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、前記アレイ光導波路の前記電極により前記アレイ光導波路の屈折率の変化を制御することで、前記メインスラブ導波路での集光ポイントを可変させ、前記出力ポートの切り替えが行われる、ことを特徴とする光スイッチ。
  13. 請求項1又は3記載の光スイッチにおいて、
    ある入力ポートから入力された光波は、前記入力ポートに接続されたサブスラブ導波路を伝播した後に、前記アレイ光導波路に分波され、前記アレイ光導波路では、前記電極により、アレイ状に隣接する光導波路間でその屈折率に所定の差異をもたせ、前記アレイ導波路を伝播した光波の等位相面には、前記アレイ導波路の終端である前記メインスラブ導波路端面で前記屈折率差に応じた傾きが生じ、前記傾きをもった光波は、前記メインスラブ導波路を伝播する過程で前記メインスラブ導波路端面に設けられた、ある出力ポート端に集光し、前記ある出力ポートを介して、前記光スイッチ外部へ出力される、ことを特徴とする光スイッチ。
  14. 複数の入力ポートに一端がそれぞれ接続された複数のサブスラブ導波路と、前記複数のサブスラブ導波路の他端に、複数のアレイ光導波路を介して、対応する一端がそれぞれ接続されている、共通のメインスラブ導波路と、を有し、前記メインスラブ導波路の他端には複数の出力ポートが接続されており、前記各アレイ光導波路に対応して、前記各光導波路の屈折率を可変制御させる制御電極が設けられ、前記共通のメインスラブ導波路は、前記複数のアレイ光導波路に接続する一側が弧状に拡開されて幅広とされ、前記複数の出力ポートに接続する他側が絞り込まれて幅狭とされた略扇型形状を有するスイッチの経路切り替え方法であって、
    前記アレイ光導波路の屈折率の変化を制御することで、前記メインスラブ導波路での集光ポイントを可変させ、前記出力ポートの切り替えを行うステップを含む、ことを特徴とする光スイッチの経路切り替え方法。
  15. ある入力ポートから入力された光波は、前記入力ポートに接続されたサブスラブ導波路を伝播した後に、前記アレイ光導波路に分波されるステップと、
    前記アレイ光導波路では、前記制御電極により、アレイ状に隣接する光導波路間でその屈折率に所定の差異をもたせ、前記アレイ導波路を伝播した光波の等位相面に、前記アレイ導波路の終端である前記メインスラブ導波路端面で前記屈折率差に応じた傾きを生じさせるステップと、
    前記傾きをもった光波は、前記メインスラブ導波路を伝播する過程で前記メインスラブ導波路端面に設けられた、ある出力ポート端に集光し、前記ある出力ポートを介して、前記光スイッチ外部へ出力されるステップと、
    を含む、ことを特徴とする請求項14記載の光スイッチの経路切り替え方法。
  16. 複数の入力ポートに一側がそれぞれ接続された複数の入力光導波路と、
    複数の出力ポートに一側がそれぞれ接続された複数の出力光導波路と、
    複数の前記入力光導波路の他側に、それぞれ、中心側で光学的に接続される、複数の相対的に小さな扇型形状のサブスラブ導波路と、
    複数の前記サブスラブ導波路の扇型の弧側に、一側が、それぞれ光学的に接続される複数のアレイ光導波路と、
    複数の前記アレイ光導波路の他側に、幅広の弧側で光学的に接続され、幅狭の中心側で、複数の前記出力光導波路に光学的に接続される、相対的に大きな扇型形状のメインスラブ導波路と、
    を備え、
    複数の前記アレイ光導波路の各々は、
    前記アレイ光導波路の一側と他側間に並設された複数の光導波路と、
    複数の前記光導波路の屈折率を制御するための電極と、
    を備え、前記電極により、複数の前記光導波路間での屈折率に差異をもたせる制御が行われ、前記メインスラブ導波路の前記中心側での集光ポイントを可変させることで前記出力光導波路の切替が行われ、複数の前記入力ポートと複数の前記出力ポート間でのNXNスイッチを実現してなる、ことを特徴とする光スイッチ。
  17. 複数の入力ポートと複数の出力ポートを有する平面導波路型の経路切り替え機能を有する光スイッチであって、
    各々が、複数の入力ポートの一つに接続された入力端と、複数のアレイ光導波路の一つに接続された出力端を有する複数のサブスラブ導波路と、
    前記複数のサブスラブ導波路の出力端に前記複数のアレイ光導波路を介して接続された入力端と、複数の出力ポートに接続されている出力端を有し、前記複数のアレイ光導波路に接続する一側が弧状に拡開されて幅広とされ、前記複数の出力ポートに接続する他側が絞り込まれて幅狭とされた共通のメインスラブ導波路と、
    前記複数のアレイ光導波路に対応する1つのグランド電極であって、前記アレイ光導波路の下部に形成されたグランド電極と、
    前記複数のアレイ光導波路の上部それぞれ設けられた複数の制御電極と、
    を備え、前記各アレイ光導波路の屈折率を、前記グランド電極と、前記制御電極間に印加する電圧で可変制御する、ことを特徴とする光スイッチ。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007100988A2 (en) * 2006-02-22 2007-09-07 Aidi Corporation Low loss funnel-type plc optical splitter with input cladding mode absorption structure and/or output segmented taper structure
US11422431B2 (en) * 2019-06-17 2022-08-23 Analog Photonics LLC Optical switching using spatially distributed phase shifters

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000250077A (ja) * 1999-03-01 2000-09-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> アレイ光導波路光スイッチ
JP2002072157A (ja) * 2000-08-24 2002-03-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 波長可変フィルター及び空間光スイッチ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3224585B2 (ja) 1992-03-24 2001-10-29 沖電気工業株式会社 光スイッチ
DE69421579T2 (de) * 1993-08-02 2000-06-21 Nippon Telegraph And Telephone Corp., Tokio/Tokyo Integrierter optischer Wellenleiter-Schaltkreis und Test-System für verzweigte optische Leitungen, die ihn benutzen
JPH11212123A (ja) 1998-01-29 1999-08-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光空間スイッチ
US6259833B1 (en) * 1999-01-15 2001-07-10 Lucent Technologies Inc. Optical cross connect using a planar arrangement of beam steerers
JP2000241836A (ja) 1999-02-19 2000-09-08 Fuji Xerox Co Ltd 光スイッチおよび光スイッチの製造方法
EP1146386A1 (en) 2000-04-14 2001-10-17 International Business Machines Corporation Free-space non-blocking switch
JP3936865B2 (ja) 2001-12-28 2007-06-27 日本電信電話株式会社 光スイッチ
US6859574B2 (en) * 2002-04-03 2005-02-22 Lucent Technologies Inc. N×N switching arrangement of two planar arrays without waveguide crossings
JP4090286B2 (ja) 2002-06-19 2008-05-28 富士通株式会社 光スイッチ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000250077A (ja) * 1999-03-01 2000-09-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> アレイ光導波路光スイッチ
JP2002072157A (ja) * 2000-08-24 2002-03-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 波長可変フィルター及び空間光スイッチ

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