JP5160935B2 - ミラー装置およびミラーアレイ - Google Patents
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Description
また、本発明のミラー装置の1構成例において、前記第1の電位および第2の電位の絶対値は、前記第3の電位および第4の電位の絶対値と異なることを特徴とするものである。
また、本発明のミラー装置の1構成例において、前記ミラー電圧印加手段は、平均直流成分が略零となる前記ミラー印加電圧を生成し、前記駆動電圧印加手段は、平均直流成分が電極毎に略零となる前記駆動電圧を生成することを特徴とするものである。
また、本発明のミラー装置の1構成例において、前記ミラー印加電圧および駆動電圧の周波数は、前記ミラーの回動の共振周波数よりも高いことを特徴とするものである。
また、本発明は、ミラー装置を、ミラーが2次元的に並ぶように複数配置したミラーアレイにおいて、1つの前記ミラー電圧印加手段を各ミラー装置で共有し、各ミラーに共通のミラー印加電圧を供給することを特徴とするものである。
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係るミラー装置の構成を示す分解斜視図、図2は図1のミラー装置の断面図である。ミラー装置100は、ミラーが形成されたミラー基板(上部基板)200と、電極が形成された電極基板(下部基板)300とが平行に配設された構造を有する。
次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態とは、電極に供給する駆動電圧が異なるのみであるため、その相違点のみを詳細に説明する。ミラー装置の構成は第1の実施の形態と同様であるので、図1〜図3の符号を用いる。
一方、駆動電圧印加部401は、図6(A)に示したミラー印加電圧と周波数および位相が等しく、(0.5V1+V2)の振幅を持つ駆動電圧を電極340a〜340dに供給する(図6(B))。すなわち、駆動電圧は、振幅が(0.5V1+V2)の正の矩形波パルスと振幅が(0.5V1+V2)の負の矩形波パルスとが交互に現れる波形となる。
Claims (5)
- 回動可能に支持されたミラーと、
このミラーから離間して配置された複数の電極と、
前記ミラーにミラー印加電圧を供給するミラー電圧印加手段と、
前記複数の電極のそれぞれに駆動電圧を供給する駆動電圧印加手段とを備え、
前記ミラー電圧印加手段は、第1の電位が継続する第1の区間と、前記第1の電位と絶対値が等しく極性の異なる第2の電位が継続する第2の区間とが交互に生じるように、前記ミラー印加電圧を前記ミラーに供給し、
前記駆動電圧印加手段は、第3の電位が前記第1の区間と等しい時間幅だけ継続する第3の区間と、前記第3の電位と絶対値が等しく極性の異なる第4の電位が前記第2の区間と等しい時間幅だけ継続する第4の区間とが交互に生じるように、前記駆動電圧を前記電極のそれぞれに供給し、
前記複数の電極のうち少なくとも1つの電極に供給する駆動電圧の前記第3の区間の開始する時間を、前記ミラーの所望の回動角に応じて前記第1の区間の始めから前記第2の区間の終わりまでの時間で変化させることを特徴とするミラー装置。 - 請求項1に記載のミラー装置において、
前記第1の電位および第2の電位の絶対値は、前記第3の電位および第4の電位の絶対値と異なることを特徴とするミラー装置。 - 請求項1または2記載のミラー装置において、
前記ミラー電圧印加手段は、平均直流成分が略零となる前記ミラー印加電圧を生成し、
前記駆動電圧印加手段は、平均直流成分が電極毎に略零となる前記駆動電圧を生成することを特徴とするミラー装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のミラー装置において、
前記ミラー印加電圧および駆動電圧の周波数は、前記ミラーの回動の共振周波数よりも高いことを特徴とするミラー制御装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のミラー装置を、ミラーが2次元的に並ぶように複数配置したミラーアレイにおいて、
1つの前記ミラー電圧印加手段を各ミラー装置で共有し、各ミラーに共通のミラー印加電圧を供給することを特徴とするミラーアレイ。
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