JP5159355B2 - レーザ電源装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態1におけるレーザ電源装置を示す構成図である。負荷として誘電体電極を有し、誘電体電極間で放電を発生するガスレーザ発振器に接続されている。
実施の形態1では、対角に配置されたスイッチング素子311と321、331と341に同一のゲート信号を入力していたが、下段のスイッチング素子321と341のみ同期パルス信号もしくは制御同期パルス信号により制限されたゲート信号を入力し、上段のスイッチング素子311と331には基本信号を入力する回路としても良い。実施の形態2は、ゲート信号生成回路64以外については、実施の形態1と同様であるため、以下ではゲート制御回路6の動作及びゲート信号生成回路64の構成について説明する。
3 インバータ部
311、321、331、341 スイッチング素子
4 高周波トランス部
51、52 誘電体電極
6 ゲート制御回路
g1、g2、g3、g4 ゲート信号
Claims (5)
- 交流電圧を整流して直流電圧に変換するコンバータ部と、
オン/オフ駆動を交互に行うスイッチング素子により、前記コンバータ部が出力する直流電圧を交流電圧に変換するインバータ部と、
前記インバータ部で得られた交流電圧を昇圧する高周波トランス部と、
前記スイッチング素子をオン/オフ駆動するためのゲート信号を生成するゲート制御回路とを備え、
前記インバータ部の前記スイッチング素子がオン/オフ駆動する駆動期間と前記インバータ部が停止する停止期間との時間比によりレーザ出力電力を調整するレーザ電源装置において、
前記ゲート制御回路は、前記インバータ部の前記駆動期間毎に先にオンする側の少なくとも一つのスイッチング素子に対して、前記駆動期間毎の最初のパルス幅が前記インバータ部の駆動周期の半周期よりも小さいゲート信号を供給するとともに、インバータ出力電流の正負の偏差に応じて、ゲート信号における前記駆動期間毎の最初のパルス幅を調整する
ことを特徴とするレーザ電源装置。 - 交流電圧を整流して直流電圧に変換するコンバータ部と、
オン/オフ駆動を交互に行うスイッチング素子により、前記コンバータ部が出力する直流電圧を交流電圧に変換するインバータ部と、
前記インバータ部で得られた交流電圧を昇圧する高周波トランス部と、
前記スイッチング素子をオン/オフ駆動するためのゲート信号を生成するゲート制御回路とを備え、
前記インバータ部の前記スイッチング素子がオン/オフ駆動する駆動期間と前記インバータ部が停止する停止期間との時間比によりレーザ出力電力を調整するレーザ電源装置において、
前記ゲート制御回路は、レーザ出力電流と外部からの指令信号とから定まるパルス幅を有する同期パルス信号よりもパルス幅が小さい制御同期パルス信号を生成し、前記インバータ部の駆動周波数と同一の周波数である基本信号および前記制御同期パルス信号により、前記駆動期間毎に先にオンする側の少なくとも一つのスイッチング素子に対するゲート信号を生成するとともに、前記駆動期間毎の最初のパルス幅が前記インバータ部の駆動周期の半周期よりも小さいゲート信号を前記スイッチング素子に対して生成する
ことを特徴とするレーザ電源装置。 - ゲート制御回路は、インバータ出力電流の正負の偏差に応じて、制御同期パルス信号のパルス幅を調整することを特徴とする請求項2に記載のレーザ電源装置。
- ゲート制御回路は、制御同期パルス信号のパルス幅の時間内に1回以上インバータ部が駆動するように制御同期パルス信号を生成することを特徴とする請求項3に記載のレーザ電源装置。
- スイッチング素子にSiCのMOSFETを使用したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のレーザ電源装置。
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