JP5152067B2 - 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
次に上述した露光装置をリソグラフィ工程で使用するデバイスの製造方法の実施形態について説明する。
Claims (12)
- 一方のホルダに接続された第1の移動子、及び他方のホルダに接続された第2の移動子に対して一部が非接触で対向可能、且つ前記第1の移動子と対向するときには前記一方のホルダを駆動し、前記第2の移動子と対向するときには前記他方のホルダを駆動する固定子を用いて前記一方及び他方のホルダを駆動しつつ、該一方及び他方のホルダにそれぞれ保持された基板に対して露光処理を交互に行う露光方法であって、
前記第1の移動子と前記固定子とを含む第1のモータで前記一方のホルダを所定の方向に移動させる工程と:
所定の露光光学系を介して前記一方のホルダ上の基板に露光動作を行う工程と;
前記第2の移動子と前記固定子とを含む第2のモータで前記他方のホルダを前記所定の方向に移動させる工程と;
前記露光光学系を介して前記他方のホルダ上の基板に露光動作を行う工程と:
前記一方のホルダ上の基板に露光動作を行った後に前記他方のホルダ上の基板に露光動作を行う際に、露光動作を終了した基板が保持されたホルダを、次に露光動作が行われる基板が保持されたホルダの下方に一時的に位置させる工程と;を含む露光方法。 - 請求項1に記載の露光方法において、
前記一方のホルダに保持された基板に露光動作を行った後に前記他方のホルダに保持された基板に露光動作を行う際に、前記他方のホルダに固定された基板に形成されたマークを検出してから前記露光処理が行われる位置に前記他方のホルダを配置する露光方法。 - 請求項2に記載の露光方法において、
前記露光動作時及び前記マークの検出時には、前記ホルダが設けられているステージを所定面上でそれぞれ駆動する露光方法。 - 請求項3に記載の露光方法において、
固定子と移動子とを有し、前記2つのホルダが各々設けられている各ステージを前記所定面上で駆動する駆動装置を設け、前記固定子を両ステージの駆動装置の間で共通に用いる露光方法。 - 請求項4に記載の露光方法において、
前記位置させる工程では、前記一方のホルダは、該一方のホルダが設けられたステージとともに、前記他方のホルダ及び該他方のホルダが設けられたステージの下方に一時的に位置させる露光方法。 - 一方のホルダに接続された第1の移動子、及び他方のホルダに接続された第2の移動子に対して一部が非接触で対向可能、且つ前記第1の移動子と対向するときには前記一方のホルダを駆動し、前記第2の移動子と対向するときには前記他方のホルダを駆動する固定子を用いて前記一方及び他方のホルダを駆動しつつ、該一方及び他方のホルダにそれぞれ保持された基板に対して露光処理を交互に行う露光方法であって、
前記一方のホルダ上の基板に形成されたマークをマーク検出系で検出する工程と:
前記第1の移動子と前記固定子とを含む第1のモータで前記一方のホルダを所定の方向に移動させる工程と:
所定の露光光学系を介して前記一方のホルダ上の基板に露光動作を行う工程と;
前記第2の移動子と前記固定子とを含む第2のモータで前記他方のホルダを前記所定の方向に移動させる工程と;
前記他方のホルダ上の基板に形成されたマークを前記マーク検出系で検出する工程と:
前記露光光学系を介して前記他方のホルダ上の基板に露光動作を行う工程と:
一方のホルダ上の基板に露光動作を行った後に前記他方のホルダ上の基板に露光動作を行う際に、露光動作を終了した基板が保持されたホルダを、前記マーク検出系による検出動作を終えた基板が保持されたホルダの下方に一時的に位置させる工程と;を含む露光方法。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程で、請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光方法を用いて露光を行うことを特徴とするデバイス製造方法。 - 2つのホルダに保持された基板に対して露光処理を交互に行う露光装置であって、
所定の第1位置の近傍に位置する前記各ホルダ上の基板を露光する露光光学系と;
一方のホルダに接続された第1の移動子と、該第1の移動子と非接触な固定子とを含む第1のモータで前記一方のホルダを所定の方向に移動させるとともに、他方のホルダに接続された第2の移動子と、該第2の移動子と非接触な前記固定子とを含む第2のモータで前記他方のホルダを前記所定の方向に移動させ、且つ前記固定子の一部は、前記第1の移動子と前記第2の移動子に対して対向可能であって、前記第1の移動子と対向するときには前記一方のホルダを駆動し、前記第2の移動子と対向するときには前記他方のホルダを駆動する駆動系と;
前記第1位置とは異なる第2位置の近傍に位置する前記各ホルダ上の基板に形成されたマークを検出するマーク検出系と;
前記露光光学系による露光動作を終えた基板が保持されたホルダが、前記マーク検出系による検出動作を終えた基板が保持されたホルダの下方に一時的に位置するような手順で、前記両ホルダを交換する交換装置と;を有する露光装置。 - 請求項8に記載の露光装置において、
前記交換装置は、前記ホルダを上下動させる上下動機構を含む露光装置。 - 請求項8または9に記載の露光装置において、
前記ホルダを有し所定面上で移動可能なステージをさらに有する露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
固定子と移動子とを有し、前記2つのホルダが各々設けられた各ステージを前記所定面上で駆動する駆動装置をさらに有し、
前記固定子は両ステージの駆動装置で共通である露光装置。 - 2つのホルダに保持された基板に対して露光処理を交互に行う露光装置であって、
搬送装置からロードされた基板を保持して所定面上を移動可能な2つのホルダと、
前記各ホルダ上の基板を露光する露光光学系と、
一方のホルダに接続された第1の移動子と、該第1の移動子と非接触な固定子とを含む第1のモータで前記一方のホルダを所定の方向に移動させるとともに、他方のホルダに接続された第2の移動子と、該第2の移動子と非接触な前記固定子とを含む第2のモータで前記他方のホルダを前記所定の方向に移動させ、且つ前記固定子の一部は、前記第1の移動子と前記第2の移動子に対して対向可能であって、前記第1の移動子と対向するときには前記一方のホルダを駆動し、前記第2の移動子と対向するときには前記他方のホルダを駆動する駆動系と;
前記ホルダに対して基板のロードが行われる位置から前記露光光学系により前記露光処理が行われる位置に該ホルダが移動する経路上に配置され、前記露光処理が終了した基板を保持した一方のホルダと次に前記露光処理を行う基板を保持した他方のホルダとを、前記所定面と直交する方向に関して互いに上下の関係となるような手順で入れ替える交換装置と、を有する露光装置。
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