JP5150085B2 - 物体を検査する方法およびシステム - Google Patents
物体を検査する方法およびシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5150085B2 JP5150085B2 JP2006287381A JP2006287381A JP5150085B2 JP 5150085 B2 JP5150085 B2 JP 5150085B2 JP 2006287381 A JP2006287381 A JP 2006287381A JP 2006287381 A JP2006287381 A JP 2006287381A JP 5150085 B2 JP5150085 B2 JP 5150085B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging sensor
- light
- computer
- light received
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2513—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
12 物体
14 エーロフォイル
16 プラットフォーム
22 光源
24 撮像センサ
26 コンピュータ
28 モニタ
30 デバイス
32 コンピュータ可読媒体
34 角度
36 角度
38 方法
40 発する
42 位相シフトする
44 投影される
46 受け取られる
48 作成される
50 分析される
52 識別する
Claims (8)
- 物体(12)を検査する方法(38)であって、
コンピュータをLCDデバイスおよびLCOSデバイスのうちの少なくとも1つに接続することと、
前記LCDデバイスおよび前記LCOSデバイスのうちの少なくとも1つから正弦波縞パターンの光を発すること(40)と、
前記LCDデバイスおよび前記LCOSデバイスのうちの少なくとも1つから発した前記光を位相シフトすること(42)と、
前記位相シフトされた正弦波縞パターンの光を、光を反射する物体の表面に投影すること(44)と、
前記表面から反射された光を撮像センサ(24)を用いて受け取ること(46)と、
前記物体の位相マップを判定することと、
前記撮像センサ(24)により受け取られた光に基づいて複数バウンス反射を識別することにより、前記物体の少なくとも一部の検査を容易にし、前記物体の前記表面から受け取った光に含まれるイメージノイズを減少させるために前記撮像センサによって受け取られた前記光を分析すること(50)と
を含む方法(38)。 - 前記物体表面から反射された光を受け取ること(46)が、
第1撮像センサ(24)を使用して前記物体表面から反射された光を受け取ることと、
前記物体に関して前記第1撮像センサと異なる向きにされた第2撮像センサを使用して前記物体表面から反射された光を受け取ることと
を含む、請求項1記載の方法(38)。 - 前記撮像センサ(24)によって受け取られた前記光を分析すること(50)が、前記第1撮像センサおよび前記第2撮像センサによって受け取られた光を使用して前記物体(12)のエッジを判定することを含む、請求項2記載の方法(38)。
- 前記位相マップを使用して、前記物体の少なくとも一部の3次元形状を計算することを含む、請求項1記載の方法(38)。
- 物体(12)を検査する構造光測定システム(10)であって、
前記物体の表面に構造光を投影するように構成された、LCDデバイスおよびLCOSデバイスのうちの少なくとも1つと、
LCDデバイスおよびLCOSデバイスのうちの前記少なくとも1つに機能的に接続され、前記LCDデバイスおよび前記LCOSデバイスのうちの前記少なくとも1つから発する正弦波縞パターンの光を位相シフトするように構成された、コンピュータ(26)と、
前記物体表面から反射された構造光を受け取るように構成された撮像センサ(24)と
を含み、
前記コンピュータ(26)が、前記物体から反射され前記撮像センサによって受け取られた光を分析するために前記撮像センサ(24)に機能的に接続され、
前記コンピュータ(26)が、
前記物体の位相マップを判定し、
前記撮像センサ(24)により受け取られた光に基づいて複数バウンス反射を識別することにより、前記物体の少なくとも一部の検査を容易にし、前記物体の前記表面から受け取った光に含まれるイメージノイズを減少させるために前記撮像センサによって受け取られた前記光を分析する(50)、
システム(10)。 - 前記撮像センサ(24)が、第1撮像センサであり、前記システムが、さらに、前記物体に関して前記第1撮像センサと異なる向きにされた第2撮像センサを含む、請求項5記載のシステム(10)。
- 前記コンピュータ(26)が、前記第1撮像センサおよび前記第2撮像センサによって受け取られた光を使用して前記物体(12)のエッジを判定する、請求項6記載のシステム(10)。
- 前記コンピュータ(26)が、前記位相マップを使用して、前記物体の少なくとも一部の3次元形状を計算する、請求項5記載のシステム(10)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/256,866 US7898651B2 (en) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | Methods and apparatus for inspecting an object |
US11/256,866 | 2005-10-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007121294A JP2007121294A (ja) | 2007-05-17 |
JP5150085B2 true JP5150085B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=37577738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006287381A Expired - Fee Related JP5150085B2 (ja) | 2005-10-24 | 2006-10-23 | 物体を検査する方法およびシステム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7898651B2 (ja) |
EP (1) | EP1777491B1 (ja) |
JP (1) | JP5150085B2 (ja) |
CN (1) | CN1955719B (ja) |
DE (1) | DE602006004418D1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007029440A1 (de) | 2007-06-26 | 2009-01-08 | Mtu Aero Engines Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Erfassen einer Oberfläche eines Objekts |
EP2977719A1 (en) | 2007-08-17 | 2016-01-27 | Renishaw plc | Non-contact measurement apparatus and method |
US7578178B2 (en) * | 2007-09-28 | 2009-08-25 | United Technologies Corporation | Method of inspecting turbine internal cooling features using non-contact scanners |
US8422030B2 (en) * | 2008-03-05 | 2013-04-16 | General Electric Company | Fringe projection system with intensity modulating by columns of a plurality of grating elements |
US7969583B2 (en) * | 2008-03-05 | 2011-06-28 | General Electric Company | System and method to determine an object distance from a reference point to a point on the object surface |
DE102010064593A1 (de) * | 2009-05-21 | 2015-07-30 | Koh Young Technology Inc. | Formmessgerät und -verfahren |
GB0915904D0 (en) | 2009-09-11 | 2009-10-14 | Renishaw Plc | Non-contact object inspection |
US8565536B2 (en) * | 2010-04-01 | 2013-10-22 | Microsoft Corporation | Material recognition from an image |
JP5822463B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2015-11-24 | キヤノン株式会社 | 三次元計測装置、三次元計測方法、およびプログラム |
CN103857981B (zh) * | 2011-10-11 | 2017-05-10 | 株式会社尼康 | 形状测定装置、构造物制造***、形状测定方法、构造物制造方法 |
WO2013187202A1 (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-19 | 株式会社島精機製作所 | 3次元計測装置及び3次元計測方法 |
US20140028799A1 (en) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | James Kuffner | Use of Color and Intensity Modulation of a Display for Three-Dimensional Object Information |
US9002719B2 (en) | 2012-10-08 | 2015-04-07 | State Farm Mutual Automobile Insurance Company | Device and method for building claim assessment |
US8872818B2 (en) * | 2013-03-15 | 2014-10-28 | State Farm Mutual Automobile Insurance Company | Methods and systems for capturing the condition of a physical structure |
US9532023B2 (en) * | 2013-03-29 | 2016-12-27 | Konica Minolta Laboratory U.S.A., Inc. | Color reproduction of display camera system |
US10041838B2 (en) | 2014-02-23 | 2018-08-07 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Optical critical dimension metrology |
JP6507653B2 (ja) * | 2015-01-13 | 2019-05-08 | オムロン株式会社 | 検査装置及び検査装置の制御方法 |
US9984508B2 (en) * | 2015-05-20 | 2018-05-29 | Micron Technology, Inc. | Light-based radar system for augmented reality |
US10176527B1 (en) | 2016-04-27 | 2019-01-08 | State Farm Mutual Automobile Insurance Company | Providing shade for optical detection of structural features |
CA3106823A1 (en) | 2018-07-19 | 2020-01-23 | Activ Surgical, Inc. | Systems and methods for multi-modal sensing of depth in vision systems for automated surgical robots |
KR20220021920A (ko) | 2019-04-08 | 2022-02-22 | 액티브 서지컬, 인크. | 의료 이미징을 위한 시스템 및 방법 |
CN114599263A (zh) | 2019-08-21 | 2022-06-07 | 艾科缇弗外科公司 | 用于医疗成像的***和方法 |
CN110940294B (zh) * | 2019-11-22 | 2020-12-29 | 华中科技大学 | 一种面结构光测量***中图像的编码与解码方法 |
CN112648953B (zh) * | 2020-12-23 | 2022-06-21 | 国机铸锻机械有限公司 | 一种车架u型纵梁在线检测装置 |
CN113189005B (zh) * | 2021-05-10 | 2022-06-28 | 郑州大学 | 便携式表面缺陷一体化检测装置及表面缺陷自动检测方法 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4686374A (en) | 1980-06-26 | 1987-08-11 | Diffracto Ltd. | Surface reflectivity detector with oil mist reflectivity enhancement |
US4585947A (en) | 1980-06-26 | 1986-04-29 | Diffracto, Ltd. | Photodetector array based optical measurement systems |
JPH04212005A (ja) * | 1990-09-11 | 1992-08-03 | Sharp Corp | 半田ペーストの印刷状態検査装置 |
DE4130237A1 (de) | 1991-09-11 | 1993-03-18 | Zeiss Carl Fa | Verfahren und vorrichtung zur dreidimensionalen optischen vermessung von objektoberflaechen |
US5175601A (en) * | 1991-10-15 | 1992-12-29 | Electro-Optical Information Systems | High-speed 3-D surface measurement surface inspection and reverse-CAD system |
US5636025A (en) | 1992-04-23 | 1997-06-03 | Medar, Inc. | System for optically measuring the surface contour of a part using more fringe techniques |
US6028672A (en) * | 1996-09-30 | 2000-02-22 | Zheng J. Geng | High speed three dimensional imaging method |
US5581352A (en) * | 1994-09-22 | 1996-12-03 | Zeien; Robert | Phase shifting device with selectively activated grating generator |
US5471308A (en) | 1994-09-22 | 1995-11-28 | Zeien; Robert | Phase shifting device |
US6028671A (en) * | 1996-01-31 | 2000-02-22 | General Scanning, Inc. | Method and system for suppressing unwanted reflections in an optical system |
US5986781A (en) * | 1996-10-28 | 1999-11-16 | Pacific Holographics, Inc. | Apparatus and method for generating diffractive element using liquid crystal display |
US6064759A (en) | 1996-11-08 | 2000-05-16 | Buckley; B. Shawn | Computer aided inspection machine |
JP3264634B2 (ja) * | 1997-02-18 | 2002-03-11 | 松下電器産業株式会社 | 表面検査装置及び方法 |
DE69836360T2 (de) * | 1997-05-22 | 2007-08-23 | Nippon Telegraph And Telephone Corp. | System zur Anzeige von computergesteuerten holographischen Bildern |
JP3831089B2 (ja) * | 1997-09-10 | 2006-10-11 | シチズン時計株式会社 | 格子パターン投影法を用いた3次元形状測定装置 |
US6438272B1 (en) | 1997-12-31 | 2002-08-20 | The Research Foundation Of State University Of Ny | Method and apparatus for three dimensional surface contouring using a digital video projection system |
CA2316838A1 (en) | 1997-12-31 | 1999-07-08 | The Research Foundation Of State University Of New York | Method and apparatus for three-dimensional surface contouring using a digital video projection system |
WO2000003357A1 (en) | 1998-07-08 | 2000-01-20 | Ppt Vision, Inc. | Identifying and handling device tilt in a three-dimensional machine-vision image |
US6956963B2 (en) | 1998-07-08 | 2005-10-18 | Ismeca Europe Semiconductor Sa | Imaging for a machine-vision system |
DE19852149C2 (de) | 1998-11-04 | 2000-12-07 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zur Bestimmung der räumlichen Koordinaten von Gegenständen |
US6788210B1 (en) | 1999-09-16 | 2004-09-07 | The Research Foundation Of State University Of New York | Method and apparatus for three dimensional surface contouring and ranging using a digital video projection system |
US6639685B1 (en) | 2000-02-25 | 2003-10-28 | General Motors Corporation | Image processing method using phase-shifted fringe patterns and curve fitting |
JP2001349712A (ja) * | 2000-04-06 | 2001-12-21 | Nikon Corp | 面形状測定装置、波面収差測定装置およびこれらを用いて製造された投影レンズ |
US6678057B2 (en) * | 2001-12-19 | 2004-01-13 | General Electric Company | Method and device for reduction in noise in images from shiny parts |
US6876459B2 (en) | 2002-04-01 | 2005-04-05 | General Electric Company | Method and apparatus for optical measurement of the leading edge position of an airfoil |
CN1508514A (zh) * | 2002-12-17 | 2004-06-30 | 财团法人工业技术研究院 | 物体表面三维形貌量测方法和*** |
US7525669B1 (en) * | 2004-07-09 | 2009-04-28 | Mohsen Abdollahi | High-speed, scanning phase-shifting profilometry using 2D CMOS sensor |
US20070115484A1 (en) | 2005-10-24 | 2007-05-24 | Peisen Huang | 3d shape measurement system and method including fast three-step phase shifting, error compensation and calibration |
-
2005
- 2005-10-24 US US11/256,866 patent/US7898651B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-10-23 JP JP2006287381A patent/JP5150085B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-23 DE DE602006004418T patent/DE602006004418D1/de active Active
- 2006-10-23 EP EP06255441A patent/EP1777491B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-24 CN CN2006101639075A patent/CN1955719B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007121294A (ja) | 2007-05-17 |
CN1955719B (zh) | 2011-06-08 |
US20070091320A1 (en) | 2007-04-26 |
CN1955719A (zh) | 2007-05-02 |
EP1777491B1 (en) | 2008-12-24 |
EP1777491A1 (en) | 2007-04-25 |
US7898651B2 (en) | 2011-03-01 |
DE602006004418D1 (de) | 2009-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5150085B2 (ja) | 物体を検査する方法およびシステム | |
JP2007121291A (ja) | 物体を検査する方法および装置 | |
US7301165B2 (en) | Methods and apparatus for inspecting an object | |
US20070091321A1 (en) | Methods and apparatus for inspecting an object | |
JP4922730B2 (ja) | 物体を検査する方法およびシステム | |
JP5155566B2 (ja) | 位相分析による多周波渦電流を使用した非平面状部品の検査 | |
US6678057B2 (en) | Method and device for reduction in noise in images from shiny parts | |
JP2008501109A (ja) | タービン翼の探傷方法と装置 | |
JP2005292136A (ja) | 多重解像度検査システム及びその動作方法 | |
WO2019216362A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP7124958B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
US11410298B2 (en) | System and method for determining part damage | |
CN115516275A (zh) | 具有多方向动态相移的剪切成像和干涉测量传感器以及检测和测量振动模式的方法 | |
JP2011196741A (ja) | タイヤの外観検査方法および外観検査装置 | |
US7336374B2 (en) | Methods and apparatus for generating a mask | |
US20070090310A1 (en) | Methods and apparatus for inspecting an object | |
JP4515036B2 (ja) | 側方照明により三次元の縁部の位置を求める方法 | |
JP4784396B2 (ja) | 3次元形状計測方法及びこれを用いた3次元形状計測装置 | |
Hubben et al. | Advances in three dimensional measurement in remote visual inspection | |
JP7099545B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP2004191325A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2009281922A (ja) | 基板検査装置および検査条件設定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091019 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110531 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110808 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110808 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120410 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120612 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |