JP5144299B2 - 減圧乾燥装置 - Google Patents
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Description
12−チャンバ上部
14−チャンバ下部
16−仕切りシート材
20−熱風発生器
34−熱風導入管
40−基板
Claims (6)
- 塗布膜の成分と溶剤とを含む塗布液が塗布された基板を減圧状態で乾燥することによって前記塗布液から前記溶剤を除去するように構成された減圧乾燥装置であって、
前記基板を載置する載置部と、前記基板を設定温度で加熱するヒータとを内部に備えた開閉可能なチャンバと、
前記チャンバ内部に連通するように構成された排気管と、
前記排気管を介して前記チャンバ内部を減圧するように構成された減圧手段と、
少なくとも前記チャンバにおける前記排気管との接続箇所と前記排気管とを囲んで閉空間を形成する閉空間形成手段と、
前記閉空間形成手段によって閉じられた空間内に所定温度の熱風を供給するように構成された熱風供給手段と、
を備えた減圧乾燥装置。 - 塗布膜の成分と溶剤とを含む塗布液が塗布された基板を減圧状態で乾燥することによって前記塗布液から前記溶剤を除去するように構成された減圧乾燥装置であって、
前記基板を載置する載置部と、前記基板を設定温度で加熱するヒータとを内部に備えた開閉可能なチャンバと、
前記チャンバ内部に連通するように構成された排気管と、
前記排気管を介して前記チャンバ内部を減圧するように構成された減圧手段と、
少なくとも前記チャンバにおける基板リフトアップピンを囲んで閉空間を形成する閉空間形成手段と、
前記閉空間形成手段によって閉じられた空間内に所定温度の熱風を供給させるように構成された熱風供給手段と、
を備えた減圧乾燥装置。 - 塗布膜の成分と溶剤とを含む塗布液が塗布された基板を減圧状態で乾燥することによって前記塗布液から前記溶剤を除去するように構成された減圧乾燥装置であって、
前記基板を載置する載置部と、前記基板を設定温度で加熱するヒータとを内部に備えた開閉可能なチャンバと、
前記チャンバ内部に連通するように構成された排気管と、
前記排気管を介して前記チャンバ内部を減圧するように構成された減圧手段と、
少なくとも前記チャンバにおける補強リブを囲んで閉空間を形成する閉空間形成手段と、
前記閉空間形成手段によって閉じられた空間内に所定温度の熱風を供給させるように構成された熱風供給手段と、
を備えた減圧乾燥装置。 - 前記閉空間形成手段は、可撓性を有する仕切り部材を備えた請求項1〜3のいずれか1項に記載の減圧乾燥装置。
- 前記熱風供給手段は、
所定温度の熱風を発生させる熱風発生器と、
前記熱風発生器にて発生した熱風を前記チャンバにおける前記排気管が接続された面の縁部に吹き付けるように構成された熱風導入管と、
を備えた請求項1〜4のいずれか1項に記載の減圧乾燥装置。 - 前記仕切り部材が透明部材である請求項4または5に記載の減圧乾燥装置。
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