JP5138443B2 - Xyステージ装置 - Google Patents
Xyステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5138443B2 JP5138443B2 JP2008090080A JP2008090080A JP5138443B2 JP 5138443 B2 JP5138443 B2 JP 5138443B2 JP 2008090080 A JP2008090080 A JP 2008090080A JP 2008090080 A JP2008090080 A JP 2008090080A JP 5138443 B2 JP5138443 B2 JP 5138443B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- slider
- stage
- plate
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Description
Claims (4)
- 上面が滑走面とされた定盤と、
前記滑走面に沿って第1の軸線の延在方向に移動する第1のスライダと、
前記第1のスライダに連結されて、水平面内で前記第1の軸線と直交する第2の軸線の方向へ延びるガイド部材と、
前記ガイド部材に沿って前記第2の軸線の延在方向に移動する第2のスライダと、
前記第2のスライダ上に配置され、上面に載置された対象物を吸着する吸着盤と、を備え、
前記第1のスライダは前記滑走面に対し気体を噴出する第1の気体軸受によって支持され、前記吸着盤は前記滑走面に対し気体を噴出する第2の気体軸受によって支持され、前記第1のスライダは前記定盤によってガイドされることを特徴とするXYステージ装置。 - 前記第1のスライダには、前記定盤の両側面の側から前記定盤を挟み込むように配置された第3の気体軸受が設けられ、前記第1のスライダは前記定盤によってガイドされることを特徴とする請求項1記載のXYステージ装置。
- 前記第1のスライダは前記滑走面に対向する上壁部を有し、前記上壁部は三つの前記第1の気体軸受によって支持されることを特徴とする請求項1又は2記載のXYステージ装置。
- 前記定盤及び前記第1のスライダをそれぞれ一対備え、前記ガイド部材の両端側には前記第1のスライダがそれぞれ連結されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載のXYステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008090080A JP5138443B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Xyステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008090080A JP5138443B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Xyステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009241193A JP2009241193A (ja) | 2009-10-22 |
JP5138443B2 true JP5138443B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=41303715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008090080A Expired - Fee Related JP5138443B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | Xyステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5138443B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2607272B2 (ja) * | 1988-06-15 | 1997-05-07 | 東京エレクトロン株式会社 | X―yテーブル及びそれを用いたプローブ装置 |
JPH065310B2 (ja) * | 1988-12-09 | 1994-01-19 | 東京航空計器株式会社 | 空気浮上式テーブル |
JP3438131B2 (ja) * | 1998-11-24 | 2003-08-18 | 住友重機械工業株式会社 | X−yステージ装置 |
JP4545697B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2010-09-15 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008090080A patent/JP5138443B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009241193A (ja) | 2009-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7959141B2 (en) | Stage apparatus | |
JP5387570B2 (ja) | 多自由度アクチュエータおよびステージ装置 | |
JP5242218B2 (ja) | Xyステージ装置 | |
JP4717466B2 (ja) | 移送装置{transferapparatus} | |
KR20110107801A (ko) | 모놀리식 스테이지 위치지정 시스템 및 방법 | |
JP4150411B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP2014037108A (ja) | 記録装置 | |
KR100473924B1 (ko) | 반도체 제조장치에 있어서의 xy테이블 | |
JP5138443B2 (ja) | Xyステージ装置 | |
JP2016036228A (ja) | テーブル装置、位置決め装置、及び精密機械 | |
JP6723642B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP5365775B2 (ja) | リニアモータシステムの製造方法及びリニアモータシステム | |
JP4987662B2 (ja) | ステージ装置 | |
JP5106981B2 (ja) | ステージ装置 | |
KR20120089592A (ko) | 스테이지장치 | |
JP2001148398A (ja) | Xyステージ | |
KR101011951B1 (ko) | 스테이지장치 | |
US20100158645A1 (en) | Stage apparatus | |
JPWO2017025998A1 (ja) | リニアモータ及びリニアモータを備える機器 | |
TWI839602B (zh) | 載台裝置 | |
JP5122416B2 (ja) | エアテーブル装置および軸受間隔修正方法 | |
JP6760720B2 (ja) | Xyテーブル装置 | |
JP7127114B2 (ja) | 作業機 | |
JP4071227B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JP2009017693A (ja) | リニアアクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110316 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5138443 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |