JP5131889B2 - 窒化物系化合物半導体素子の製造方法 - Google Patents
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サファイア基材のC面からオフした主面、サファイア基板のR面からc軸を含む面内にオフした主面またはサファイア基板のR面からc軸に対して反対側にオフした主面を有するサファイア基板を準備する工程と、
前記サファイア基板上に対して少なくともAlを含んだ有機金属をプリフローし、アルミニウム金属単体またはアルミニウムとガリウムとの合金からなる金属層を形成する工程と、
前記金属層上にAlGaNなる組成を有する窒化物系化合物半導体からなるバッファ層を形成する工程と、
前記バッファ層上に、窒化物系化合物半導体からなる成長基板層を形成する工程と、
前記成長基板層上に、窒化物系化合物半導体からなる機能層を形成する工程と、
前記サファイア基板と前記バッファ層とを前記金属層を介して剥離させ、少なくとも前記成長基板層及び前記機能層を含む窒化物系化合物半導体素子を得る工程と、
を具えることを特徴とする、窒化物系化合物半導体素子の製造方法に関する。
本発明においては、最初にサファイア基材のC面からオフした主面又はサファイア基板のR面からc軸に対して反対側にオフした主面を有するサファイア基板を準備する。前記オフ角度は、以下に詳述するように、前記サファイア基板上に、金属層、バッファ層、成長基板層及び機能層を順次に形成した後、前記金属層を介して前記サファイア基板と前記バッファ層とがクラックなどを生じることなく剥離できるものであれば、特に限定されない。
本発明では、上述したようにオフした主面を有するサファイア基板を準備した後、このサファイア基板上にアルミニウム金属単体あるいはアルミニウムとガリウムとの合金からなる金属層を形成する。この金属層は、前記サファイア基板に対して少なくともAlを含む有機金属をプリフローすることにより、例えばMOCVD法などを利用することによって形成する。
本発明では、上述のようにしてサファイア基板上にAl含有金属層を形成した後、AlGaNなる組成を有する窒化物系化合物半導体からなるバッファ層を、例えばMOCVD法などによって形成する。このバッファ層の形成条件などは、上述のように、上記金属層を介してサファイア基板との剥離を十分に行なうことができれば特に限定されるものではない。しかしながら、好ましくは、1100℃以上の温度で形成することによって、前記剥離をより良好に安定的に行なうことができる。
本発明では、上述のようにして(高温)バッファ層を形成した後に、成長基板層を例えばMOCVD法によって形成する。この場合、前記成長基板層の厚さは、目的とする窒化物系化合物半導体素子における基板として機能させるべく、十分な機械的強度を付与する目的で、10μm以上の厚さに形成する。
本発明では、上述のようにして成長基板層を形成した後、この層上に目的とする窒化物系化合物半導体素子の実質的な機能を奏することになる機能層を形成する。この機能層は、例えば発光層、受光層、あるいは高移動度の電子的回路部層などとすることができる。発光層の場合、前記機能層は、例えばn型コンタクト層/n型クラッド層/活性層/p型クラッド層/p型コンタクト層の構造を呈する。
上述したような工程を行ない、サファイア基板上に順次Al含有金属層、(高温)バッファ層、成長基板層及び機能層を形成すると、形成後において前記サファイア基板と前記バッファ層とは前記Al含有金属層を介して自然に剥離する。これは、例えば、前述したような各層を形成した後、所定の成膜装置から取り出すことによる自然冷却によって生ぜしめることができる。また、例えば約20℃/分程度の十分に小さい冷却速度によっても生ぜしめることができる。
サファイアC面からのオフ角度が0.2度と0.4度のサファイア基板を横型の有機金属気相装置内部の基板ホルダに設置し、水素ガスを流しながら、基板表面温度を1200℃に2分間保持し基板表面のクリーニングを行なった。
本実施例では、実施例1における光取りだし面をp側にすることに代えてn側にした以外は、実施例1と同様にして窒化物系化合物半導体素子を作製した。最初に、上述のようにして、サファイア基板上に、Al金属層、AlNバッファ層、Si−GaN成長基板層及びMQW発光層などを含む機能層を順次に形成し、次いで、前記サファイア基板と前記AlNバッファ層との剥離を実施し、AlNバッファ層を溶解した後、前記成長基板層表面のnバッド部になる部分を除いた面をRIE,干渉露光,EB法で、高さ0.5μm、周期0.17μmのる円錐状カラムを作製した。次いで、前記p側コンタクト層および前記成長基板層のそれぞれの上に、p電極(Ni/Au)とn電極(Ti/Al/Ti/Au)を対向するようにして形成し、スクライビング法により250μm角のチップを作製した。
実施例1においてAl層形成のためのプリフロー時間を20秒及び60秒とした以外は実施例1と同様にして窒化物系化合物半導体素子を作製した。機能層である発光層の形成の後、サファイア基板とバッファ層とは剥離、分離していた。
実施例1においてAl層を形成しない以外は、実施例1と同様にして窒化物系化合物半導体素子を作製した。なお、この場合においては、サファイア基板とバッファ層との間においての剥離は見られなかった。
実施例1において、オフした主面を有するサファイア基板を使用する代わりに、C面サファイア基板を用いた以外は、実施例1と同様にして窒化物系化合物半導体素子を作製した。なお、この場合においては、サファイア基板とバッファ層との間においての剥離は見られなかった。
実施例1において、オフした主面を有するサファイア基板を使用する代わりに、R面サファイア基板を用いた以外は、実施例1と同様にして窒化物系化合物半導体素子を作製した。なお、この場合においては、サファイア基板とバッファ層との間においての剥離は見られなかった。
11 サファイア基板
12 低温バッファ層
13 n型コンタクト層
14 n型クラッド層
15 発光層15
16 p型クラッド層
17 p型コンタクト層
18 p型電極
19 n型電極
20 発光素子
22 成長基板層
24 n型クラッド層
25 発光層
26 p型クラッド層
27 p型コンタクト層
28 p型電極
29 n型電極
30 層構成
31 サファイア基板
32 Al含有金属層
33 (高温)バッファ層
34 成長基板層
35 機能層
Claims (21)
- サファイア基板のC面からオフした主面、サファイア基板のR面からc軸を含む面上にオフした主面またはサファイア基板のR面からc軸に対して反対側にオフした主面を有するサファイア基板を準備する工程と、
前記サファイア基板表面に対して少なくともアルミニウムを含んだ有機金属化合物をプリフローし、アルミニウム金属単体またはアルミニウムとガリウムとの合金からなる金属層を形成する工程と、
前記金属層上にAlGaNなる組成を有する窒化物系化合物半導体からなるバッファ層を形成する工程と、
前記バッファ層上に、窒化物系化合物半導体からなる成長基板層を形成する工程と、
前記成長基板層上に、窒化物系化合物半導体からなる機能層を形成する工程と、
前記サファイア基板と前記バッファ層とを前記金属層を介して剥離させ、少なくとも前記成長基板層及び前記機能層を含む窒化物系化合物半導体素子を得る工程と、
を具えることを特徴とする、窒化物系化合物半導体素子の製造方法。 - 前記サファイア基板は、前記C面から0.05度〜1度の範囲でオフしていることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記サファイア基板は、前記R面から前記c軸を含む面内に0.25度〜0.75度の範囲でオフしていることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記金属層の厚さを1原子層〜20原子層の範囲とすることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記金属層の厚さを1原子層〜5原子層の範囲とすることを特徴とする、請求項4に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記金属層の厚さを1原子層〜3原子層の範囲とすることを特徴とする、請求項5に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層は1100℃以上の温度で形成することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層は1100℃〜1550℃の温度範囲で形成することを特徴とする、請求項7に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層中における、全III族元素に対するアルミニウム含有割合が90原子%以上であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層はAlNからなることを特徴とする、請求項9に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層の厚さを0.3μm以上とすることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層の厚さを1μm〜10μmとすることを特徴とする、請求項11に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記成長基板層の厚さを10μm以上とすることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記成長基板層を形成する際の成膜速度が3μm/時間以上であることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記成長基板層を形成する際の成膜速度が100μm/時間以下であることを特徴とする、請求項14に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層、前記成長基板層及び前記機能層の総厚を10μm以上とすることを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層、前記成長基板層及び前記機能層の総厚を20μm以上とすることを特徴とする、請求項16に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記バッファ層、前記成長基板層及び前記機能層の総厚を40μm以上とすることを特徴とする、請求項17に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記サファイア基板と前記バッファ層との、前記金属層を介した剥離は、自然冷却によって剥離させることを特徴とする、請求項1〜18のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記サファイア基板と前記バッファ層とを前記金属層を介して剥離させた後、前記バッファ層を除去する工程と具えることを特徴とする、請求項1〜19のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
- 前記成長基板層の主面上及び前記機能層の主面上において、互いに対向するようにして電極を形成する工程を具えることを特徴とする、請求項1〜20のいずれか一に記載の窒化物系化合物半導体素子の製造方法。
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