JP5124452B2 - 照射ユニット光学面の二段階クリーニング方法 - Google Patents
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Description
2 デブリー軽減用フォイルトラップ
3 集光鏡
4 真空チャンバ壁
5 機械式クロージング要素
6 機械式クロージング要素
7 光路
10 吸気路
11 排気路
12 気体流の向き
13 ガラス管
14 気体分配ユニット
15 吸排気開口部
16 膜
17 フェースプレート
18 分離壁
19 可動式アパーチャ
20 ラジカル生成ユニット
21 高温フィラメント
22 UVランプ
23 放射線
24 蛍光体層
25 二次放射線
26 循環ユニット
27 可動式供給管
31 放射線源
32 真空容器
33 集光器
34 ポンプ管
35 中間焦点
36 光路
37 デブリー軽減手段
Claims (19)
- 照射ユニット、特にEUV放射線及び/又は軟X線用の照射ユニット、の光学面に接触させた第一の気体又は混合気と前記光学面上に堆積した汚れの第一の部分とが揮発性合成物を形成するようにしたクリーニング工程を含む、前記光学面をクリーニングして前記汚れを除去する方法であって、
前記クリーニング工程前に、前記照射ユニットが作動を一時停止している状態で、前処理工程を実行し、
前記前処理工程においては、第二の気体又は混合気を前記光学面に接触させ、
前記第二の気体又は混合気は、前記汚れのうちの前記第一の部分とは異なる第二の部分と反応して、前記第一の気体又は混合気とともに揮発性合成物を形成することができる反応生成物が形成されるように選択され、
前記前処理工程において、前記第二の気体又は混合気として、還元効果を持つ気体又は蒸気が用いられる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記第二の気体又は混合気として、原子状及び/又は分子状の水素、及び/又は、気体を含んだ水素化合物、が用いられる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記クリーニング工程においては、前記第一の気体又は混合気として、気体を含んだ水素、ハロゲン、気体を含んだハロゲン化合物、及び/又は、対応するラジカル、が用いられる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記クリーニング工程の後、依然として前記光学面上に残っている残留物を、第三の気体又は混合気を用いた処理によって、前記光学面から取り除く、又は、前記照射ユニットの放射線をより吸収しない化合物へ変化させる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記クリーニング工程の後、前記光学面を加熱しながら、及び/又は、前記照射ユニットを不活性気体で流しながら、反応生成物と、前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気の残留物、又は、揮発性合成物とを排出する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記クリーニング工程の後、分子状の水素を前記光学面に適用することによって、前処理工程を実行する、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記前処理工程の始めに、1以上の機械式クロージング要素によって、前記光学面を含む容積が前記照射ユニットの少なくとも1つの他の部分から分離される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1又は7記載の方法であって、
少なくとも前記第二の気体又は混合気は、前記照射ユニット内及び/又は前記第二の気体又は混合気の供給流路内における高温面又は放電を用いて生成されたラジカルを含む、
ことを特徴とする方法。 - 請求項8記載の方法であって、
前記ラジカルは、前記照射ユニットの光路外に配置された高温面を用いて生成される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項8記載の方法であって、
前記ラジカルは、前記機械式クロージング要素に配置された又は前記機械式クロージング要素と一体化された高温面を用いて生成される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
少なくとも前記第二の気体又は混合気は、UV放射線の照射によって生成されたラジカルを含む、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気は、前記光学面近傍に延在する1以上の供給管を通じて供給される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気は、前記照射ユニット内を移動可能な1以上の供給管を通じて供給され、
前記1以上の供給管は、前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気が供給されている間、前記光学面又は前記光学面を含む光学部品に沿って動かされる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項12又は13記載の方法であって、
前記1以上の供給管は、ラジカルの損失を低減する材料から作られるか、又は、内部がそのような材料でコーティングされる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項7記載の方法であって、
前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気は、前記機械式クロージング要素の供給流路を通じて供給される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気は、気体分配ユニットを通じて供給され、
前記気体分配ユニットは、前記光学面の近くに複数の吸気及び/又は排気開口部を有し、
前記気体分配ユニットは、ラジカルの損失を低減する材料から作られるか、又は、内部がそのような材料でコーティングされる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項16記載の方法であって、
前記照射ユニットにおける前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気の流れの分配は、前記気体分配ユニットの前記複数の吸気及び/又は排気開口部の直径を適切に選択することによって制御される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項16記載の方法であって、
前記光学面は、前記複数の吸気及び/又は排気開口部を開閉する1以上の機械式シャッターを用いることによって、時間に依存した順序で、前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気と接触させられる、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法であって、
前記第一の気体又は混合気及び/又は前記第二の気体又は混合気は、前記光学面及び/又は前記光学面を含む光学部品に設けられた流路を通じて供給される、
ことを特徴とする方法。
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