JP5122089B2 - イメージセンサのピクセル縮小のためのコンタクト構造及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 title description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 108
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 108
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 48
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 14
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/02129—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being boron or phosphorus doped silicon oxides, e.g. BPSG, BSG or PSG
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
- H01L21/31604—Deposition from a gas or vapour
- H01L21/31625—Deposition of boron or phosphorus doped silicon oxide, e.g. BSG, PSG, BPSG
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
図4は、本発明に係る埋没コンタクトの構造を示した平面図であって、ドライブトランジスタのゲートポリシリコンとフローティング拡散領域との間のコンタクト構造を示す。
図8は、本発明に係るバッティングコンタクト構造を示す平面図であって、ドライブトランジスタのゲートポリシリコンとフローティング拡散領域との間のコンタクト構造を示す。
Claims (8)
- イメージセンサのピクセルの製造方法であって、該ピクセルは、該ピクセルの光検出器から光電荷を受け取るように構成されたフローティング拡散領域と、ゲートを有しソースフォロアとして構成されたMOSドライブトランジスタと、ドレインを有するMOSリセットトランジスタと、を備え、
基板内に活性領域を画定するために、該基板の領域の周辺部分に分離フィールド酸化膜を形成するステップと、
前記基板の活性領域に、低濃度の拡散領域を形成するステップと、
前記活性領域の上にゲート酸化膜を形成するステップであって、該ゲート酸化膜は、前記MOSドライブトランジスタのゲート領域の上にさらに拡張する、ステップと、
前記活性領域内のゲート酸化膜の上に第1のポリシリコン膜を形成するステップであって、該第1のポリシリコン膜は、前記MOSドライブトランジスタのゲート領域のゲート酸化膜の上にさらに拡張する、ステップと、
前記活性領域内の第1のポリシリコン膜の上にコンタクトマスクを形成するステップであって、該コンタクトマスクは、前記第1のポリシリコン膜の少なくとも一部分を、マスクされない領域として、露出させたままにする、ステップと、
前記第1のポリシリコン膜を通して前記ゲート酸化膜中にイオンを向かわせるイオン注入を行って、前記マスクされていない領域内のゲート酸化膜を絶縁破壊して該マスクされていない領域内のゲート酸化膜を導電性にし、それにより、前記第1のポリシリコン膜と前記低濃度の拡散領域との間に導電性の経路を提供するステップと、
前記コンタクトマスクを除去するステップと、
前記第1のポリシリコン膜の上に第2のポリシリコン膜を形成するステップと、
前記第1、第2のポリシリコン膜をパターン化するために、ゲートマスクおよびエッチング工程を行うステップであって、前記第1、第2のポリシリコン膜は、前記MOSドライブトランジスタのゲートを形成するようにパターン化され、かつ、前記活性領域内の前記絶縁破壊されたゲート酸化膜と、前記MOSドライブトランジスタのゲートまたは前記MOSリセットトランジスタのドレインのうちのいずれかと、の間に導電性の経路を提供するようにパターン化される、ステップと、
前記第1、第2のポリシリコン膜のパターン化後、前記フローティング拡散領域を形成するように前記基板の活性領域内の前記絶縁破壊されたゲート酸化膜と直接接触しない箇所に高濃度の拡散領域を形成するステップであって、該フローティング拡散領域は、前記低濃度の拡散領域と接触する、ステップと、
を含む方法。 - 前記第1、第2のポリシリコン膜は、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と、前記MOSドライブトランジスタのゲートとの間に、導電性の経路を提供するように、マスクされ、エッチングされる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1、第2のポリシリコン膜は、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と、前記MOSリセットトランジスタのドレインとの間に、導電性の経路を提供するように、マスクされ、エッチングされる、請求項1に記載の方法。
- 前記第1、第2のポリシリコン膜は、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と、前記MOSドライブトランジスタのゲートおよび前記MOSリセットトランジスタのドレインの両方と、の間に、導電性の経路を提供するように、マスクされ、エッチングされる、請求項1に記載の方法。
- イメージセンサのピクセルの製造方法であって、該ピクセルは、該ピクセルの光検出器から光電荷を受け取るように構成されたフローティング拡散領域と、ゲートを有しソースフォロアとして構成されたMOSドライブトランジスタと、ドレインを有するMOSリセットトランジスタと、を備え、
基板内に活性領域を画定するために、該基板の領域の周辺部分に分離フィールド酸化膜を形成するステップと、
前記基板の活性領域内に、低濃度の拡散領域を形成するステップと、
前記活性領域の低濃度の拡散領域の上にゲート酸化膜を形成するステップであって、該ゲート酸化膜は、前記MOSドライブトランジスタのゲート領域の上に拡張する、ステップと、
前記活性領域内のゲート酸化膜の上、および前記MOSドライブトランジスタのゲート領域内のゲート酸化膜の上にポリシリコン膜を形成するステップと、
前記活性領域内のポリシリコン膜の上にコンタクトマスクを形成するステップであって、該コンタクトマスクは、前記ポリシリコン膜の少なくとも一部分を露出したままにする、マスクされない領域を形成する、ステップと、
前記マスクされていないポリシリコン膜の厚さを低減するように該ポリシリコン膜をエッチングするステップと、
前記ポリシリコン膜を通して前記マスクされていない領域内の前記ゲート酸化膜中にイオンを向かわせるイオン注入を行って前記ゲート酸化膜を絶縁破壊し、それにより、前記マスクされていない領域内のゲート酸化膜を導電性にし、前記ポリシリコン膜と前記低濃度の拡散領域との間に導電性の経路を提供する、ステップと、
前記コンタクトマスクを除去するステップと、
前記ポリシリコン膜をパターン化するために、ゲートマスクおよびエッチング工程を行うステップであって、前記ポリシリコン膜は、前記MOSドライブトランジスタのゲートを形成するようにパターン化され、かつ、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と、前記MOSドライブトランジスタのゲートまたは前記MOSリセットトランジスタのドレインのうちのいずれかと、の間に導電性の経路を提供するようにさらにパターン化される、ステップと、
前記ポリシリコン膜のパターン化後、前記基板の活性領域内の前記絶縁破壊されたゲート酸化膜と直接接触しない箇所に、高濃度の拡散領域を形成するステップであって、該高濃度の拡散領域は、前記低濃度の拡散領域と接触し、かつ、前記ピクセルのフローティング拡散領域を形成する、ステップと、
を含む方法。 - 前記ポリシリコン膜は、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と前記MOSドライブトランジスタのゲートとの間に導電性の経路を提供するように、マスクされ、エッチングされる、請求項5に記載の方法。
- 前記ポリシリコン膜は、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と前記MOSリセットトランジスタのドレインとの間に導電性の経路を提供するように、マスクされ、エッチングされる、請求項5に記載の方法。
- 前記ポリシリコン膜は、前記活性領域内の絶縁破壊されたゲート酸化膜と、前記MOSドライブトランジスタのゲートおよび前記MOSリセットトランジスタのドレインの両方と、の間に導電性の経路を提供するように、マスクされ、エッチングされる、請求項5に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050047992A KR100657142B1 (ko) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | 이미지센서의 픽셀 쉬링크를 위한 콘택 구조 및 그 제조방법 |
KR10-2005-0047992 | 2005-06-03 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012202933A Division JP2013051420A (ja) | 2005-06-03 | 2012-09-14 | イメージセンサのピクセル縮小のためのコンタクト構造及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006339655A JP2006339655A (ja) | 2006-12-14 |
JP5122089B2 true JP5122089B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=37484355
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006154961A Active JP5122089B2 (ja) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | イメージセンサのピクセル縮小のためのコンタクト構造及びその製造方法 |
JP2012202933A Pending JP2013051420A (ja) | 2005-06-03 | 2012-09-14 | イメージセンサのピクセル縮小のためのコンタクト構造及びその製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012202933A Pending JP2013051420A (ja) | 2005-06-03 | 2012-09-14 | イメージセンサのピクセル縮小のためのコンタクト構造及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7851275B2 (ja) |
JP (2) | JP5122089B2 (ja) |
KR (1) | KR100657142B1 (ja) |
CN (1) | CN100468759C (ja) |
TW (1) | TWI321358B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100744807B1 (ko) * | 2005-07-25 | 2007-08-01 | 매그나칩 반도체 유한회사 | Cmos 이미지센서 및 그 제조방법 |
KR101503682B1 (ko) | 2008-04-18 | 2015-03-20 | 삼성전자 주식회사 | 공유 픽셀형 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR100529670B1 (ko) * | 2003-10-01 | 2005-11-17 | 동부아남반도체 주식회사 | Cmos 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
JP4794821B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
JP2006073846A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Yamaha Corp | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製法 |
-
2005
- 2005-06-03 KR KR1020050047992A patent/KR100657142B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-06-01 US US11/444,394 patent/US7851275B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-06-02 TW TW095119737A patent/TWI321358B/zh active
- 2006-06-02 JP JP2006154961A patent/JP5122089B2/ja active Active
- 2006-06-02 CN CNB2006100836856A patent/CN100468759C/zh active Active
-
2010
- 2010-07-16 US US12/838,065 patent/US8309993B2/en active Active
-
2012
- 2012-09-14 JP JP2012202933A patent/JP2013051420A/ja active Pending
- 2012-11-01 US US13/666,516 patent/US9263484B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100657142B1 (ko) | 2006-12-13 |
TWI321358B (en) | 2010-03-01 |
JP2006339655A (ja) | 2006-12-14 |
US7851275B2 (en) | 2010-12-14 |
US8309993B2 (en) | 2012-11-13 |
US20130059413A1 (en) | 2013-03-07 |
JP2013051420A (ja) | 2013-03-14 |
KR20060126245A (ko) | 2006-12-07 |
TW200735335A (en) | 2007-09-16 |
CN1873994A (zh) | 2006-12-06 |
US20060273354A1 (en) | 2006-12-07 |
CN100468759C (zh) | 2009-03-11 |
US20100276737A1 (en) | 2010-11-04 |
US9263484B2 (en) | 2016-02-16 |
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