JP5112099B2 - 誘導型変位検出装置 - Google Patents
誘導型変位検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5112099B2 JP5112099B2 JP2008027432A JP2008027432A JP5112099B2 JP 5112099 B2 JP5112099 B2 JP 5112099B2 JP 2008027432 A JP2008027432 A JP 2008027432A JP 2008027432 A JP2008027432 A JP 2008027432A JP 5112099 B2 JP5112099 B2 JP 5112099B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- winding
- magnetic flux
- measurement axis
- flux coupling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
先ず、図1〜図3を参照して、実施形態に係る誘導型変位検出装置1の構成について説明する。図1は、実施形態に係る誘導型変位検出装置1の概略斜視図である。誘導型変位検出装置1は、主に、図1に示すようにスケール3、及びこのスケール3に対向するように配置されたセンサヘッド5から構成される。図1において、スケール3は、長手方向の一部のみが記載されている。スケール3の長手方向が測定軸Xとなる。センサヘッド5は、スケール3に対して所定ギャップを介して対向し、測定軸Xに沿って移動可能に配置される。なお、センサヘッド5が固定され、スケール3が移動する構成でもよい。すなわち、センサヘッド5とスケール3とは、測定軸X方向に相対移動可能にされていればよい。
次に、同様に図5〜図7を参照して、受信巻線15を流れる電流経路について説明する。図5〜図7は、受信巻線15を流れる電流経路を示す図である。図5〜図7は、1番目〜4番目の第1配線部151(1)〜151(4)にて構成された受信巻線15の一例を示している。詳しくは、図5〜図7においては、第1配線部151(1)〜151(4)、第2配線部152(1),152(2)、第3配線部153、及び端部配線部154が示されている。なお、図5〜図7においては、コンタクト部16fからコンタクト部16dを介してコンタクト部16gへと流れる電流経路を説明する。また、図5〜図7において、電流経路は、太線にて図示されている。
次に、図8を参照して、誘導型変位検出装置1の動作を説明する。図8は、送信巻線13の電流経路、磁束結合巻線9の電流経路、受信巻線15の電流経路、及び出力信号Sを示す図である。
次に、上記実施形態に係る誘導型変位検出装置1の効果について説明する。誘導型変位検出装置1は、直交方向Yに並ぶ第1配線部151及び囲繞部155を有する。これら第1配線部151及び囲繞部155は、囲繞形状に形成されている。換言すると、直交方向Yに所定の間隔を設けることなく、直交方向Yに第1配線部151及び囲繞部155が設けられている。つまり、受信巻線15の直交方向Yに占める占有面積の増大を抑制することができる。
以上、発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
Claims (5)
- 測定軸に沿って複数の磁束結合部材が配設されたスケールと、
当該スケールと対向すると共に前記スケールに対して測定軸方向に相対移動可能であり、前記複数の磁束結合部材に磁束を供給する送信巻線、及び前記複数の磁束結合部材と磁束結合可能な受信巻線が形成されたセンサヘッドとを備える誘導型変位検出装置であって、
前記受信巻線は、
前記測定軸と直交する直交方向に開口部をもつ囲繞形状を有し、且つ所定の間隔を設けて前記測定軸方向に配列された2n個(nは1以上の整数)の第1配線部と、
i番目(iは1以上の整数)の第1配線部の一端とi+2a番目(aは1以上の整数)の第1配線部の他端とを結び、且つその中心位置を頂点として前記第1配線部の配列側の逆側に折れ曲がった、くの字状の第2配線部と、
2k番目(n−a+1≦k≦n)の第1配線部の一端と2k−1番目の第1配線部の一端とを結ぶa個の第3配線部と
を備え、
前記第2配線部及び前記第3配線部は、各々の前記第1配線部から前記第1配線層の配列側の逆側に、当該第2配線部及び当該第3配線部により取り囲まれた2na個の囲繞部を構成する
ことを特徴とする誘導型変位検出装置。 - 前記送信巻線は、
前記測定軸方向に配列された複数の第1配線部を取り囲む形状を有する第1送信巻線と、
前記測定軸方向に並ぶ前記囲繞部を取り囲む形状を有する第2送信巻線と
を備えることを特徴とする請求項1記載の誘導型変位検出装置。 - 前記磁束結合部材は、
前記第1配線部に対向し、且つ前記測定軸方向に前記第1配線部が設けられた2倍のピッチで形成された第1磁束結合部材と、
前記囲繞部に対向し、且つ前記測定軸方向に前記囲繞部が設けられた2倍のピッチで形成された第2磁束結合部材と
を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の誘導型変位検出装置。 - a=1である
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の誘導型変位検出装置。 - 前記受信巻線は、
第1の層に形成された第1配線と第2の層に形成された第2配線とにより形成され、
前記第1配線は、
前記第1配線部の一端を含み、且つ前記第1配線部の一部を構成する第4配線部と、
前記第4配線部に連なり、且つ前記第2配線部の一部を構成する第5配線部と、
前記第4配線部に連なり、且つ前記第3配線部の一部を構成する第6配線部と、
前記第2配線は、
前記第1配線部の他端を含み、且つ前記第1配線部の残りの一部を構成する第7配線部と、
前記第7配線部に連なり、且つ前記第2配線部の残りの一部を構成する第8配線部と、
前記第7配線部に連なり、且つ前記第3配線部の残りの一部を構成する第9配線部と
を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の誘導型変位検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008027432A JP5112099B2 (ja) | 2008-02-07 | 2008-02-07 | 誘導型変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008027432A JP5112099B2 (ja) | 2008-02-07 | 2008-02-07 | 誘導型変位検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009186348A JP2009186348A (ja) | 2009-08-20 |
JP5112099B2 true JP5112099B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41069735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008027432A Active JP5112099B2 (ja) | 2008-02-07 | 2008-02-07 | 誘導型変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5112099B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5407994B2 (ja) | 2009-08-11 | 2014-02-05 | 栗田工業株式会社 | 水処理方法及び水処理凝集剤 |
US9835473B2 (en) * | 2016-03-15 | 2017-12-05 | Mitutoyo Corporation | Absolute electromagnetic position encoder |
US9778072B1 (en) * | 2016-03-15 | 2017-10-03 | Mitutoyo Corporation | Absolute electromagnetic position encoder |
JP6877829B2 (ja) | 2017-03-23 | 2021-05-26 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導型変位検出装置およびこれを用いた測定器 |
JP7154990B2 (ja) * | 2017-12-21 | 2022-10-18 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導式エンコーダの巻線及びスケール構成 |
JP2019113542A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 株式会社ミツトヨ | 電磁誘導式エンコーダの巻線及びスケール構成 |
US10591316B2 (en) * | 2018-03-30 | 2020-03-17 | Mitutoyo Corporation | Transmitter and receiver configuration for inductive position encoder |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0743508A2 (en) * | 1995-05-16 | 1996-11-20 | Mitutoyo Corporation | Induced current position transducer |
US6005387A (en) * | 1997-04-16 | 1999-12-21 | Mitutoyo Corporation | Reduced offset high accuracy induced current position transducer |
JP3842099B2 (ja) * | 2001-10-12 | 2006-11-08 | 株式会社ミツトヨ | 磁気式エンコーダ |
-
2008
- 2008-02-07 JP JP2008027432A patent/JP5112099B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009186348A (ja) | 2009-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5112099B2 (ja) | 誘導型変位検出装置 | |
JP4615955B2 (ja) | 誘導型変位検出装置 | |
JP5224838B2 (ja) | 電磁誘導式エンコーダ | |
CN108627078B (zh) | 电磁感应式位移检测设备及使用该设备的测量仪器 | |
JP5885382B2 (ja) | 電磁誘導式直線型エンコーダ | |
JP5224830B2 (ja) | 電磁誘導式エンコーダ | |
JP5630633B2 (ja) | 多相電流の検出装置 | |
JP2010256316A (ja) | 電流センサ | |
JP2005134247A (ja) | 誘導型変位検出装置及びマイクロメータ | |
JP4913495B2 (ja) | 誘導型変位検出装置 | |
JP5042891B2 (ja) | センサヘッド、及び誘導型変位検出装置 | |
CN111006698B (zh) | 电磁感应型编码器 | |
JP6134964B2 (ja) | 誘導型変位検出装置 | |
US11486735B2 (en) | Electromagnetic inductive encoder | |
JP7328121B2 (ja) | スケール | |
JP5622027B2 (ja) | 多相電流の検出装置 | |
JP2022063610A (ja) | 電磁誘導式エンコーダ | |
JP2005077150A (ja) | 誘導型位置検出装置 | |
JP2004245738A (ja) | 誘導型位置検出装置 | |
JP4112382B2 (ja) | 磁気式エンコーダの検出ヘッド及び磁気式エンコーダ | |
JP2021096160A (ja) | スケールおよびエンコーダ | |
JP2005201855A (ja) | 誘導型変位検出装置及びマイクロメータ | |
WO2018008180A1 (ja) | 電流センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121009 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5112099 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |