JP5042891B2 - センサヘッド、及び誘導型変位検出装置 - Google Patents
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Description
先ず、図1〜図3を参照して、実施形態に係る誘導型変位検出装置1の構成について説明する。図1は、実施形態に係る誘導型変位検出装置1の概略斜視図である。誘導型変位検出装置1は、主に、図1に示すようにスケール3、及びこのスケール3に対向するように配置されたセンサヘッド5から構成される。図1において、スケール3は、長手方向の一部のみが記載されている。スケール3の長手方向が測定軸Xとなる。センサヘッド5は、スケール3に対して所定ギャップを介して対向し、測定軸Xに沿って移動可能に配置される。なお、センサヘッド5が固定され、スケール3が移動する構成でもよい。すなわち、センサヘッド5とスケール3とは、測定軸X方向に相対移動可能にされていればよい。また、以下の説明において、測定軸Xに直交する方向を直交方向Yとする。
次に、図2及び図3を参照して、誘導型変位検出装置1の動作を説明する。
次に、図6及び図7を参照して、上記実施形態に係る誘導型変位検出装置1の効果について説明する。図6は、本実施形態に係る直交方向のずれ量(μm)に伴う信号強度の変化を示している。ここで、直交方向のずれ量は、第1磁束結合巻線9Aの中心線CL1と第1受信巻線15Aの中心線CL7との間の直交方向Yの長さを示す。また、直交方向のずれ量は、第2磁束結合巻線9Bの中心線CL2と第2受信巻線15Bの中心線CL8との間の直交方向Yの長さを示す。また、直交方向のずれ量は、第3磁束結合巻線9Cの中心線CL3と第3受信巻線15Cの中心線CL9との間の直交方向Yの長さを示す。なお、図6においては、第3磁束結合巻線9C及び第3受信巻線15Cに係る信号強度の最大値を100%となるように規格化している。
以上、発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
Claims (5)
- スケールと対向すると共に前記スケールに対して測定軸方向に相対移動可能に構成されたセンサヘッドであって、
前記スケールの測定軸に沿って配設された複数の第1磁束結合部材に磁束を供給する第1送信巻線と、
前記第1磁束結合部材から前記スケールの前記測定軸に直交する直交方向に所定間隔を設けて配置され、且つ前記測定軸に沿って配設された複数の第2磁束結合部材に磁束を供給する第2送信巻線と、
前記第1送信巻線の磁束に基づき前記複数の第1磁束結合部材と磁束結合可能な第1受信巻線と、
前記第2送信巻線の磁束に基づき前記複数の第2磁束結合部材と磁束結合可能な第2受信巻線と
を備え、
前記第1送信巻線及び前記第2送信巻線は、
前記測定軸に沿って矩形状に構成され、且つ互いに前記直交方向に所定間隔を設けて配置され、
前記第1受信巻線は、
前記第1送信巻線に取り囲まれる位置に設けられ、
前記第2受信巻線は、
前記第2送信巻線に取り囲まれる位置に設けられ、
前記第1送信巻線の前記直交方向の中心は、前記第1受信巻線の前記直交方向の中心から前記直交方向に前記第2受信巻線から離れるように第1の長さをもって位置し、
前記第2送信巻線の前記直交方向の中心は、前記第2受信巻線の前記直交方向の中心から前記直交方向に前記第1受信巻線から離れるように前記第1の長さをもって位置する
ことを特徴とするセンサヘッド。 - 前記第1の長さは、0μmより大きく、150μm以下である
ことを特徴とする請求項1記載のセンサヘッド。 - 前記第1の長さは、150μmである
ことを特徴とする請求項1記載のセンサヘッド。 - 前記第2磁束結合部材から前記スケールの前記測定軸に直交する直交方向に所定間隔を設けて配置され、且つ測定軸に沿って配設された複数の第3磁束結合部材に磁束を供給する第3送信巻線と、
前記第3送信巻線の磁束に基づき前記複数の第3磁束結合部材と磁束結合可能な第3受信巻線と
を備える
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のセンサヘッド。 - スケールと、当該スケールと対向すると共に前記スケールに対して測定軸方向に相対移動可能に構成されたセンサヘッドとを備える誘導型変位検出装置であって、
前記スケールは、
前記測定軸に沿って配設された複数の第1磁束結合部材と、
当該第1磁束結合部材から前記測定軸に直交する直交方向に所定間隔を設けて配置され、且つ前記測定軸に沿って配設された複数の第2磁束結合部材と
を備え、
前記センサヘッドは、
前記複数の第1磁束結合部材に磁束を供給する第1送信巻線と、
前記複数の第2磁束結合部材に磁束を供給する第2送信巻線と、
前記第1送信巻線の磁束に基づき前記複数の第1磁束結合部材と磁束結合可能な第1受信巻線と、
前記第2送信巻線の磁束に基づき前記複数の第2磁束結合部材と磁束結合可能な第2受信巻線と
を備え、
前記第1送信巻線及び前記第2送信巻線は、
前記測定軸に沿って矩形状に構成され、且つ互いに前記直交方向に所定間隔を設けて配置され、
前記第1受信巻線は、
前記第1送信巻線に取り囲まれる位置に設けられ、
前記第2受信巻線は、
前記第2送信巻線に取り囲まれる位置に設けられ、
前記第1送信巻線の前記直交方向の中心は、前記第1受信巻線の前記直交方向の中心から前記直交方向に前記第2受信巻線から離れるように第1の長さをもって位置し、
前記第2送信巻線の前記直交方向の中心は、前記第2受信巻線の前記直交方向の中心から前記直交方向に前記第1受信巻線から離れるように前記第1の長さをもって位置する
ことを特徴とする誘導型変位検出装置。
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