JP5111297B2 - 情報生成装置および基板検査システム - Google Patents
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Description
2 基板検査装置
13 情報処理部
21 測定部
24 記憶部
25 制御部
50 検査対象基板
51a〜51e 導体パターン
52a〜52c 電子部品
D1 接続点情報
D2 部品接続情報
D3 検査用情報
D3a 第1の検査用情報
D3b 第2の検査用情報
Pa1〜Pa6 接続点
Pb1〜Pb12 プローブ接触点
S1 基板検査システム
Claims (2)
- 電子部品が導体パターン上の各接続点に接続された検査対象基板を電気的検査するときに検査用プローブを接触させるプローブ接触点を特定するための検査用情報を生成する情報処理部を備えた情報生成装置であって、
前記情報処理部は、前記導体パターン毎の前記各接続点の前記検査対象基板上における位置を特定可能な接続点情報と、前記電子部品が接続された前記接続点を当該電子部品毎に特定可能な部品接続情報とに基づいて、前記電子部品を介して相互に接続された一対の前記導体パターン間についての所定の電気的検査を実行するための第1の検査用情報と、1つの前記電子部品を介して相互に接続された一対の前記導体パターンを除き、かつ互いの前記接続点が予め規定された距離範囲内に位置する一対の前記導体パターン間についての絶縁検査を実行するための第2の検査用情報とを前記検査用情報として生成する情報生成装置。 - 請求項1記載の情報生成装置および基板検査装置を備えて前記検査対象基板の電気的検査を実行可能に構成された基板検査システムであって、
前記基板検査装置は、前記第1の検査用情報に基づいて前記検査用プローブを接触させる前記プローブ接触点を特定して前記所定の電気的検査を実行すると共に、前記第2の検査用情報に基づいて前記検査用プローブを接触させる前記プローブ接触点を特定して前記絶縁検査を実行する基板検査システム。
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JP2008215307A JP5111297B2 (ja) | 2008-08-25 | 2008-08-25 | 情報生成装置および基板検査システム |
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