JP5108543B2

JP5108543B2 - Heat treatment furnace for flat members

Info

Publication number: JP5108543B2
Application number: JP2008023880A
Authority: JP
Inventors: 実山口; 晃和岩田; 雄樹藤田
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2008-02-04
Filing date: 2008-02-04
Publication date: 2012-12-26
Anticipated expiration: 2028-02-04
Also published as: JP2009186050A

Description

本発明は、例えばプラズマディスプレイパネルや液晶ディスプレイパネルのような大型のフラットパネルに代表される平板状部材の製造に用いられる平板状部材の熱処理炉に関するものである。 The present invention relates to a heat treatment furnace for a flat member used for manufacturing a flat member represented by a large flat panel such as a plasma display panel or a liquid crystal display panel.

プラズマディスプレイパネル等のフラットパネルは、ガラスやセラミックスからなる基板上に機能性材料を多層に印刷し、乾燥や焼成などの熱処理を施すことによって製造された平板状部材である。このような平板状部材の熱処理を効率よく行うために、特許文献１に示されるように、従来からローラーハースキルン等の熱処理炉が広く使用されている。 A flat panel such as a plasma display panel is a flat plate member manufactured by printing a functional material in multiple layers on a substrate made of glass or ceramics, and performing a heat treatment such as drying or baking. In order to efficiently perform the heat treatment of such a flat plate member, as shown in Patent Document 1, a heat treatment furnace such as a roller hearth kiln has been widely used.

このようなローラーハースキルンは、図１５に示されるように、炉体１２２に、多数のセラミックス製のローラ１２０を、貫通させて一定ピッチで配置した形式のトンネル炉である。各ローラ１２０は、炉体１２２外に設けた駆動装置１２１によって同一方向に回転されるようになっている。平板状部材１３１をセッター１３２上に載置した状態で、セッター１３２を前記ローラ１２０上に載せて、平板状部材１３１を搬送するようにしている。炉体１２２内は予熱帯、乾燥帯や焼成帯、冷却帯などに区分され、バーナやヒータ１２３等の加熱手段によって炉室内に所定の温度勾配が形成されている。平板状部材１３１は多数のローラ１２０によって炉長方向に移送されながら、予熱帯、乾燥帯や焼成帯、冷却帯などを通過する間に所定の温度履歴が与えられ、熱処理される。 Such a roller hearth kiln is a tunnel furnace in which a large number of ceramic rollers 120 are penetrated through a furnace body 122 and arranged at a constant pitch, as shown in FIG. Each roller 120 is rotated in the same direction by a driving device 121 provided outside the furnace body 122. In a state where the flat plate member 131 is placed on the setter 132, the setter 132 is placed on the roller 120 to convey the flat plate member 131. The furnace body 122 is divided into a pre-tropical zone, a dry zone, a firing zone, a cooling zone, and the like, and a predetermined temperature gradient is formed in the furnace chamber by heating means such as a burner and a heater 123. The flat plate member 131 is heat-treated by being given a predetermined temperature history while passing through the pre-tropical zone, the drying zone, the firing zone, the cooling zone, and the like while being transferred in the furnace length direction by a number of rollers 120.

最近では、製造されるフラットパネルが大型になりつつあることから、炉幅が大きくなり、ローラ１２０の長さも長くなりつつある。しかしながら、ローラ１２０はセラミックス製であることから、長尺のローラ１２０を製作することは困難であるという問題があった。また、ローラ１２０が長くなるにつれて、ローラ１２０の中央部分の曲げモーメントも増大することから、ローラ１２０が撓むことや、破損する可能性があるという問題があった。また、炉体１２２をメンテナンスする場合に、ローラ１２０を炉体１２２から抜き取る必要があるが、ローラ１２０が長尺である場合には、ローラ１２０を抜き取るスペースの確保が困難であるという問題があった。 Recently, since the flat panel to be manufactured is becoming larger, the furnace width is increased, and the length of the roller 120 is also being increased. However, since the roller 120 is made of ceramics, there is a problem that it is difficult to manufacture the long roller 120. Further, as the roller 120 becomes longer, the bending moment of the central portion of the roller 120 also increases, so there is a problem that the roller 120 may be bent or damaged. Further, when maintaining the furnace body 122, it is necessary to remove the roller 120 from the furnace body 122. However, when the roller 120 is long, it is difficult to secure a space for removing the roller 120. It was.

そこで、ローラ１２０の代わりに、炉体１２２内の床面に、浮上用気体の噴出手段を設けて、平板状部材１３１やセッター１３２を、前記浮上用気体で浮上させて炉体１２２内を搬送する熱処理炉が提案されている。しかしながら、このような熱処理炉は、炉体１２２内の温度が低下することを防止するために、前記浮上用気体を炉体１２２内の温度と殆ど同じ温度に加熱する必要があり、多大なエネルギーを消費してしまうという問題があった。 Therefore, instead of the roller 120, a floating gas jetting means is provided on the floor surface in the furnace body 122, and the flat plate member 131 and the setter 132 are floated by the floating gas and conveyed in the furnace body 122 . heat treatment furnace that has been proposed. However, such a heat treatment furnace needs to heat the levitation gas to almost the same temperature as the temperature in the furnace body 122 in order to prevent the temperature in the furnace body 122 from being lowered. There was a problem of consuming.

そこで、大型の平板状部材１３１であっても、熱処理することができる熱処理炉の開発が要望されていた。
特開２００７−２９２４０４号公報 Therefore, there has been a demand for the development of a heat treatment furnace capable of performing heat treatment even for the large flat plate member 131.
JP 2007-292404 A

本発明は、大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板上部材の熱処理炉を提供するためになされたものである。 The present invention has been made to provide a heat treatment furnace for a flat plate member that can be heat-treated even for a large flat plate member.

上記課題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は、平板状部材を、トンネル状の炉体の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材の熱処理炉であって、
前記炉体の両側壁から炉内に延出するローラを、互いに対向させて、炉内側が側壁側よりも低くなるように傾けて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、
前記ローラ上に平板状部材を載せ、前記ローラを一定方向に回転させて、前記平板状部材を、炉体の炉長方向に移送するように構成したことを特徴とする。 Invention of Claim 1 made | formed in order to solve the said subject is the heat processing furnace of the flat member which performs heat processing, transferring a flat member in the furnace length direction of a tunnel-shaped furnace body,
Rollers extending into the furnace from both side walls of the furnace body are opposed to each other, tilted so that the inside of the furnace is lower than the side wall, and a plurality of rollers are disposed in the furnace length direction, and are rotatably arranged.
A flat plate member is placed on the roller, the roller is rotated in a certain direction, and the flat plate member is transferred in the furnace length direction of the furnace body.

請求項２に記載の発明は、対向するローラの少なくとも一方の下方に、前記ローラを転支する受けコロを設けたことを特徴とする。 The invention according to claim 2 is characterized in that a receiving roller for rolling the roller is provided below at least one of the opposed rollers.

請求項３に記載の発明は、対向するローラの先端間に、平板状部材を転支する受けコロを配設したことを特徴とする。 The invention described in claim 3 is characterized in that a receiving roller for rolling and supporting the flat plate member is disposed between the tips of the opposing rollers.

請求項４に記載の発明は、対向するローラの先端間に、平板状部材を転支し、回転軸が炉外に配設されたディスクを設けたことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a disk in which a flat member is transferred between the tips of opposing rollers and a rotating shaft is disposed outside the furnace.

請求項５に記載の発明は、対向するローラの先端間に、上方に開口した気体吹出口を配設し、前記ローラ上に平板状部材を載置した状態で、前記気体吹出口から気体を、前記平板状部材に吹き出すように構成したことを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, a gas blower opening opened upward is disposed between the tips of the opposed rollers, and gas is supplied from the gas blower outlet in a state where a flat plate member is placed on the roller. Further, it is configured to blow out to the flat plate-like member.

請求項１に記載の発明は、炉体の両側壁から炉内に延出するローラを、互いに対向させて、炉長方向に複数、回転自在に配設したことを特徴とする。このため、ローラを２分割にすることにより長尺なローラを製作する必要がなく、炉幅を広くすることが可能となった。また、炉体をメンテナンスする際の、ローラを抜き取るための広大なスペースを確保する必要が無くなった。 The invention according to claim 1 is characterized in that a plurality of rollers extending from both side walls of the furnace body into the furnace face each other and are rotatably arranged in the furnace length direction. For this reason, it is not necessary to produce a long roller by dividing the roller into two parts, and the furnace width can be increased. In addition, it is no longer necessary to secure a large space for removing the roller when maintaining the furnace body.

また、請求項１に記載の発明は、対向するローラの炉内側を、側壁側よりも低くなるように傾けて配設したので、平板状部材をローラの広い範囲で保持することにより、ローラの先端と平板状部材が点接触して、平板状部材に傷が付くことを防止することが可能となった。 In the first aspect of the invention, since the furnace inner side of the opposing roller is inclined so as to be lower than the side wall side, by holding the flat plate member in a wide range of the roller, It was possible to prevent the flat plate member from being scratched by the point contact between the tip and the flat plate member.

請求項２に記載の発明は、対向するローラの少なくとも一方の下方に、前記ローラを転支する受けコロを設けたことを特徴とする。このため、多大な曲げモーメントが、ローラに作用することを防止し、ローラの破損を防止することが可能となった。また、ローラが撓むことを防止して、ローラ上に載せられた、平板状部材が変形することを防止することが可能となった。 The invention according to claim 2 is characterized in that a receiving roller for rolling the roller is provided below at least one of the opposed rollers. For this reason, it is possible to prevent a large bending moment from acting on the roller and to prevent the roller from being damaged. Further, it is possible to prevent the roller from being bent and to prevent the flat plate member placed on the roller from being deformed.

請求項３に記載の発明は、対向するローラの先端間に、平板状部材を転支する受けコロを配設したことを特徴とする。このため、多大な曲げモーメントが、ローラに作用することを防止し、ローラの破損を防止することが可能となった。また、ローラが撓むことを防止して、ローラ上に載せられた、平板状部材が変形することを防止することが可能となった。また、受けコロでも、平板状部材を転支することにしたので、ローラの長さを短くすることができ、炉体をメンテナンスする際の、ローラを抜き取るためのスペースを、更に減少させることが可能となった。 The invention described in claim 3 is characterized in that a receiving roller for rolling and supporting the flat plate member is disposed between the tips of the opposing rollers. For this reason, it is possible to prevent a large bending moment from acting on the roller and to prevent the roller from being damaged. Further, it is possible to prevent the roller from being bent and to prevent the flat plate member placed on the roller from being deformed. Moreover, since the plate-shaped member is also transferred in the receiving roller, the length of the roller can be shortened, and the space for extracting the roller when maintaining the furnace body can be further reduced. It has become possible.

請求項４に記載の発明は、対向するローラの先端間に、平板状部材を転支し、回転軸が炉外に配設されたディスクを設けたことを特徴とする。このため、多大な曲げモーメントが、ローラに作用することを防止し、ローラの破損を防止することが可能となった。また、ローラが撓むことを防止して、ローラ上に載せられた、平板状部材が変形することを防止することが可能となった。また、ディスクでも、平板状部材を転支することにしたので、ローラの長さを短くすることができ、炉体をメンテナンスする際の、ローラを抜き取るためのスペースを、更に減少させることが可能となった。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a disk in which a flat member is transferred between the tips of opposing rollers and a rotating shaft is disposed outside the furnace. For this reason, it is possible to prevent a large bending moment from acting on the roller and to prevent the roller from being damaged. Further, it is possible to prevent the roller from being bent and to prevent the flat plate member placed on the roller from being deformed. In addition, since the plate-shaped member is also transferred in the disk, the length of the roller can be shortened, and the space for extracting the roller when maintaining the furnace body can be further reduced. It became.

請求項５に記載の発明は、対向するローラの先端間に、上方に開口した気体吹出口を配設し、前記ローラ上に平板状部材を載置した状態で、前記気体吹出口から気体を、前記平板状部材に吹き出すように構成したことを特徴とする。このため、気体吹出口から吹き出される気体により、平板状部材を保持し、多大な曲げモーメントが、ローラに作用することを防止し、ローラの破損を防止することが可能となった。また、気体吹出口から吹き出される気体でも、平板状部材を保持することにしたので、ローラの長さを短くすることができ、炉体をメンテナンスする際の、ローラを抜き取るためのスペースを、更に減少させることが可能となった。 According to a fifth aspect of the present invention, a gas blower opening opened upward is disposed between the tips of the opposed rollers, and gas is supplied from the gas blower outlet in a state where a flat plate member is placed on the roller. Further, it is configured to blow out to the flat plate-like member. For this reason, it is possible to hold the flat plate member by the gas blown out from the gas outlet and prevent a large bending moment from acting on the roller, thereby preventing the roller from being damaged. In addition, even with the gas blown out from the gas outlet, since it was decided to hold the flat plate member, the length of the roller can be shortened, the space for extracting the roller when maintaining the furnace body, Further reduction is possible.

（第１の実施形態）
以下に、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施の形態（第１の実施形態）を示す。図１は第１の実施形態の説明図であり、炉体１の断面を示した図である。炉体１は、床壁１ａ、側壁１ｂ、天井壁１ｃとから構成され、トンネル状をしている。炉体１は、耐火材や断熱材で構成されている。炉体１には、加熱手段が設けられ、この加熱手段により、炉体１内を昇温するようにしている。加熱手段の一例として、天井ヒータ、床ヒータが含まれる。 (First embodiment)
Hereinafter, a preferred embodiment (first embodiment) of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram of the first embodiment, and shows a cross section of the furnace body 1. The furnace body 1 is composed of a floor wall 1a, a side wall 1b, and a ceiling wall 1c, and has a tunnel shape. The furnace body 1 is composed of a refractory material or a heat insulating material. The furnace body 1 is provided with heating means, and the temperature inside the furnace body 1 is raised by this heating means. Examples of the heating means include a ceiling heater and a floor heater.

２は円柱形状のローラである。ローラ２は、耐熱材料であるセラミックスで構成されている。なお、前記セラミックスには、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）や炭化珪素（ＳｉＣ）、Ｓｉ含浸ＳｉＣが含まれ、ローラ２をこれらのセラミックスで構成することが好ましい。ローラ２は、炉体１の両側壁１ｂから、炉内に延出している。両側壁１ｂから炉内に延出したローラ２の先端２ａは、互いに対向している。ローラ２は、炉体１に、炉長方向に対して一定間隔をおいて、複数配設されている。なお、本発明において、「両側壁１ｂから炉内に延出したローラ２の先端２ａは、互いに対向している」とは、両側壁１ｂから炉内に延出したローラ２の炉長方向の位置が同じ位置だけでなく、炉長方向の位置が同じ位置でない状態も含まれる。 Reference numeral 2 denotes a cylindrical roller. The roller 2 is made of ceramic which is a heat resistant material. The ceramics include alumina (Al ₂ O ₃ ), silicon carbide (SiC), and Si-impregnated SiC, and the roller 2 is preferably composed of these ceramics. The roller 2 extends from both side walls 1b of the furnace body 1 into the furnace. The tips 2a of the rollers 2 extending from the side walls 1b into the furnace face each other. A plurality of rollers 2 are arranged in the furnace body 1 at regular intervals in the furnace length direction. In the present invention, "the tips 2a of the rollers 2 extending from the side walls 1b into the furnace are facing each other" means that the rollers 2 extending from the side walls 1b into the furnace are in the furnace length direction. This includes not only the same position but also a state in which the position in the furnace length direction is not the same position.

ローラ２は、炉外から、側壁１ｂを貫通して配設されている。ローラ２の基端２ｂは、炉外に配設されたローラ支持部材３により回転自在に支持されている。ローラ２は、図示しない駆動手段により、同一速度で一定方向に回転するようになっている。前記駆動手段には、サーボモータやインバータモータ等が含まれる。 The roller 2 is disposed from the outside of the furnace through the side wall 1b. The base end 2b of the roller 2 is rotatably supported by a roller support member 3 disposed outside the furnace. The roller 2 is rotated in a fixed direction at the same speed by a driving means (not shown). The drive means includes a servo motor and an inverter motor.

ローラ２の上には、平板状部材５０が載置され、一定方向に回転するローラ２により、炉体１の炉長方向に移送されるようになっている。この際に、平板状部材５０が、熱処理されるようになっている。なお、前記熱処理には、乾燥や焼成が含まれる。なお、平板状部材５０を結晶化ガラスで構成されたセッターに載せて、このセッターをローラ２上に載せて、平板状部材５０を炉体１の炉長方向に移送することにしても差し支えない。前記セッターに、結晶化ガラスを使用すると、セッターが熱膨張し難く、前記セッターに載せられた平板状部材５０に与える影響を少なくすることが可能となる。 A flat plate member 50 is placed on the roller 2 and is transferred in the furnace length direction of the furnace body 1 by the roller 2 rotating in a certain direction. At this time, the flat plate member 50 is heat-treated. The heat treatment includes drying and baking. The flat plate member 50 may be placed on a setter made of crystallized glass, and the setter may be placed on the roller 2 to transfer the flat plate member 50 in the furnace length direction of the furnace body 1. . When crystallized glass is used for the setter, the setter is unlikely to thermally expand, and the influence on the flat plate member 50 placed on the setter can be reduced.

図１に示されるように、対向するローラ２は、炉体１内側が側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設されている。なお図１は、ローラ２の傾きが誇張されて表されている。本実施形態では、ローラ２は、水平面に対して０．１°〜1°傾斜している。このように、対向するローラ２の炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設したのは、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するようにして）、ローラ２の先端１ａと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止するためである。 As shown in FIG. 1, the opposing rollers 2 are disposed so as to be inclined such that the inside of the furnace body 1 is lower than the side wall 1 b side. In FIG. 1, the inclination of the roller 2 is exaggerated. In this embodiment, the roller 2 is inclined by 0.1 ° to 1 ° with respect to the horizontal plane. As described above, the inner side of the furnace body 1 of the opposing roller 2 is disposed so as to be lower than the side wall 1b side by holding the flat plate member 50 in a wide range of the roller 2 (surface contact). This is because the tip end 1a of the roller 2 and the flat plate member 50 are in point contact to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

なお、ローラ２の水平面に対する傾斜角を０．１°以下にすると、前述した効果が低く、一方で、ローラ２の水平面に対する傾斜角を、１°以上にすると、ローラ２上に載置された平板状部材５０の中央が下側に垂れ下がり、平板状部材５０が変形する恐れある。そこで、ローラ２の水平面に対する傾斜角を、０．１°〜１°に設定することにした。 When the inclination angle of the roller 2 with respect to the horizontal plane is 0.1 ° or less, the above-described effect is low. On the other hand, when the inclination angle of the roller 2 with respect to the horizontal plane is 1 ° or more, the roller 2 is placed on the roller 2. The center of the flat plate member 50 may hang down and the flat plate member 50 may be deformed. Therefore, the inclination angle of the roller 2 with respect to the horizontal plane is set to 0.1 ° to 1 °.

なお、平板状部材５０の変形を防止するために、炉体１内の温度を、平板状部材５０の融点や変態点以下の温度に設定することが好ましい。 In order to prevent deformation of the flat plate member 50, it is preferable to set the temperature in the furnace body 1 to a temperature below the melting point or transformation point of the flat plate member 50.

対向するローラ２の両先端２ａの下方には、受けコロ４が配設されている。第１の実施形態では、受けコロ４は、対向するローラ２の両先端２ａを転支している。本実施形態では、受けコロ４は、円盤形状をしている。本実施形態では、受けコロ４は、耐熱材料であるセラミックスで構成されている。なお、前記セラミックスには、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）や炭化珪素（ＳｉＣ）、Ｓｉ含浸ＳｉＣ、窒化珪素（Ｓｉ_３N₄）が含まれ、受けコロ４をこれらのセラミックスで構成することが好ましい。 A receiving roller 4 is disposed below the both ends 2a of the opposing rollers 2. In the first embodiment, the receiving roller 4 is configured to support both ends 2 a of the opposing roller 2. In this embodiment, the receiving roller 4 has a disk shape. In this embodiment, the receiving roller 4 is made of ceramics that is a heat-resistant material. The ceramic includes alumina (Al ₂ O ₃ ), silicon carbide (SiC), Si-impregnated SiC, and silicon nitride (Si ₃ N ₄ ), and the receiving roller 4 is preferably composed of these ceramics. .

図２に受けコロユニット７の斜視図を示し、図３に図２のＡ−Ａ断面の断面図を示す。図４に図１のＢ−Ｂ断面の断面図を示す。図２に示されるように、複数の受けコロ４が、縦長の支持部材５に回転自在に列設されていて、受けコロユニット７を構成している。本実施形態では、支持部材５は、角パイプ形状をしている。あるいは、支持部材５は、箱形状であっても差し支えない。支持部材５は、耐熱材料であるセラミックスで構成されている。なお、支持部材５を耐熱金属で構成することにしても差し支えない。 2 is a perspective view of the receiving roller unit 7, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB in FIG. As shown in FIG. 2, a plurality of receiving rollers 4 are arranged in a row on a vertically long support member 5 so as to freely rotate, thereby forming a receiving roller unit 7. In the present embodiment, the support member 5 has a square pipe shape. Alternatively, the support member 5 may be box-shaped. The support member 5 is made of ceramics which is a heat resistant material. Note that the support member 5 may be made of a heat-resistant metal.

図２に示されるように、支持部材５には、支持部材５の幅方向を貫通する軸支穴５ａが貫通形成されている。図２や図３に示されるように、支持部材５の上部には、支持部材５の内外を連通する、断面形状が長方形状の連通穴５ｂが形成されている。受けコロ４を支持部材５内に入れた状態で、受けコロ４の上部を、連通穴５ｂから支持部材５の外部に露出させている。 As shown in FIG. 2, the support member 5 is formed with a shaft support hole 5 a penetrating through the width direction of the support member 5. As shown in FIGS. 2 and 3, a communication hole 5 b having a rectangular cross-sectional shape that communicates the inside and outside of the support member 5 is formed in the upper portion of the support member 5. With the receiving roller 4 in the support member 5, the upper portion of the receiving roller 4 is exposed to the outside of the support member 5 from the communication hole 5 b.

また、図３に示されるように、受けコロ４の中心には、断面形状が円形状の貫通穴４ａが形成されている。受けコロ４の貫通穴４ａには、円柱形状のピン６が挿通されている。ピン６は、耐熱材料であるセラミックスで構成されている。ピン６は、支持部材５の軸支穴５ａに挿通されている。このように構成することにより、受けコロ４の上部が、支持部材５の連通穴５ｂから突出するとともに、受けコロ４の上部以外の部分が、支持部材５の内部に収納されている構造となっている。 Further, as shown in FIG. 3, a through hole 4 a having a circular cross section is formed at the center of the receiving roller 4. A cylindrical pin 6 is inserted into the through hole 4 a of the receiving roller 4. The pin 6 is made of a ceramic that is a heat-resistant material. The pin 6 is inserted through the shaft support hole 5 a of the support member 5. With this configuration, the upper portion of the receiving roller 4 protrudes from the communication hole 5 b of the support member 5, and a portion other than the upper portion of the receiving roller 4 is housed inside the support member 5. ing.

ピン６の外径は、貫通穴４ａの内径よりも僅かに小さくなっていて、受けコロ４は、ピン６に対して回転自在になっている。受けコロ４のピン６に対する回転による、受けコロ４の貫通穴４ａとピン６の摩耗を減少させるために、受けコロ４とピン６は同材質で構成することが好ましい。受けコロとピンを前記実施例のように別構造とする形式の他に、受けコロ４とピン６を一体で成型する、または接合する構造としても良い。本構造の場合は支持部材５の軸支穴５aの内径をピン６の外形より僅かに大きくする構造となっている。 The outer diameter of the pin 6 is slightly smaller than the inner diameter of the through hole 4 a, and the receiving roller 4 is rotatable with respect to the pin 6. In order to reduce the wear of the through hole 4a and the pin 6 of the receiving roller 4 due to the rotation of the receiving roller 4 with respect to the pin 6, it is preferable that the receiving roller 4 and the pin 6 are made of the same material. In addition to the type in which the receiving roller and the pin are separately structured as in the above embodiment, the receiving roller 4 and the pin 6 may be integrally molded or joined. In the case of this structure, the inner diameter of the shaft support hole 5 a of the support member 5 is slightly larger than the outer shape of the pin 6.

受けコロユニット７は、受けコロユニット７の長手方向を、炉体１の炉長方向に向けて、炉体１内に配設されている。このように、複数の受けコロ４を、支持部材５に列設して、受けコロユニット７を構成することにしたので、炉体１の炉長方向の位置決め作業を容易にすることが可能となる。また、受けコロ４とピン６の摺動部分が、パイプ形状又は箱形状の支持部材５の内部に位置しているので、受けコロ４とピン６の摺動にともなう粉塵が、支持部材５内に留まり、前記粉塵が炉体１内に飛散することを防止し、炉体１内を清浄な状態に保つことが可能となる。また支持部材５内を吸引する配管を設けることにより、粉塵の飛散をさらに抑制することも可能である。 The receiving roller unit 7 is disposed in the furnace body 1 with the longitudinal direction of the receiving roller unit 7 facing the furnace length direction of the furnace body 1. Thus, since the receiving roller unit 7 is configured by arranging the plurality of receiving rollers 4 on the support member 5, it is possible to facilitate the positioning operation of the furnace body 1 in the furnace length direction. Become. Further, since the sliding portion between the receiving roller 4 and the pin 6 is located inside the pipe-shaped or box-shaped supporting member 5, dust accompanying the sliding between the receiving roller 4 and the pin 6 is generated in the supporting member 5. It is possible to prevent the dust from scattering into the furnace body 1 and keep the furnace body 1 in a clean state. Further, by providing a pipe for sucking the inside of the support member 5, it is possible to further suppress dust scattering.

図４に示されるように、ローラ２の先端は、隣接する２個の受けコロ４で転支されている。このように、ローラ２の先端を、受けコロ４で転支することにしたので、ローラ２のローラ支持部材３で支持されている部分に、多大な曲げモーメントが作用することを防止している。また、ローラ２が撓むことを防止して、ローラ２上に載せられた、平板状部材５０が変形することを防止している。 As shown in FIG. 4, the front end of the roller 2 is supported by two adjacent receiving rollers 4. As described above, since the tip of the roller 2 is transferred by the receiving roller 4, a large bending moment is prevented from acting on the portion of the roller 2 supported by the roller support member 3. . Further, the roller 2 is prevented from being bent, and the flat plate member 50 placed on the roller 2 is prevented from being deformed.

図５に受けコロユニットの高さ調整機構の説明図を示す。図５は炉体１の床壁１ｂ部分の断面を詳細に示した図である。１０は外壁材である。外壁材１０は、金属製の板材で構成されている。外壁材１０の内側には、断熱材１１が配設されている。断熱材１１は、ファイバー状、又はボード状であり、セラミックファイバー、珪酸カルシウム等で構成されている。外壁材１０及び断熱材１１により、炉体１の床壁１ｂが構成されている。 FIG. 5 is an explanatory diagram of the height adjustment mechanism of the receiving roller unit. FIG. 5 is a view showing in detail the cross section of the floor wall 1 b portion of the furnace body 1. Reference numeral 10 denotes an outer wall material. The outer wall material 10 is made of a metal plate material. Inside the outer wall material 10, a heat insulating material 11 is disposed. The heat insulating material 11 has a fiber shape or a board shape, and is made of ceramic fiber, calcium silicate, or the like. A floor wall 1 b of the furnace body 1 is constituted by the outer wall material 10 and the heat insulating material 11.

外壁材１０には、調整ネジ穴１０ａが螺刻されている。外壁材１０の調整ネジ穴１０ａには、アジャスタボルト１２が螺設されている。アジャスタボルト１２の先端は、外壁材１０を貫通して、断熱材１１が配設されている側に突出している。一方で、アジャスタボルト１２のネジ頭は、炉体１の外側に露出している。 An adjustment screw hole 10 a is screwed into the outer wall material 10. An adjuster bolt 12 is screwed into the adjustment screw hole 10 a of the outer wall member 10. The tip of the adjuster bolt 12 protrudes through the outer wall material 10 to the side where the heat insulating material 11 is disposed. On the other hand, the screw head of the adjuster bolt 12 is exposed to the outside of the furnace body 1.

アジャスタボルト１２の先端には、板部材１３が載置されている。板部材１３は、金属やセラミックスで構成されている。板部材１３上には、ブロック状の断熱煉瓦１４が載置されている。断熱煉瓦１４上に、受けコロユニット７が載置されている。アジャスタボルト１２を回転させると、板部材１３及び断熱煉瓦１４が上下に移動し、更に、受けコロユニット７もまた、上下に移動するようになっている。このように構成したので、アジャスタボルト１２を回転させるだけで、炉体１外から、受けコロユニット７の高さを微調整することが可能となり、受けコロユニット７の高さ方向の位置決め作業が容易となっている。より好ましい構造として、受けコロユニット直下部の外壁材１０を部分的に取り外し可能な構造とし、板部材１３及びアジャスタボルトごと炉の外部に取り外し可能とすることにより、受けコロの交換を容易にする構造としてもよい。 A plate member 13 is placed on the tip of the adjuster bolt 12. The plate member 13 is made of metal or ceramics. On the plate member 13, a block-shaped heat insulating brick 14 is placed. The receiving roller unit 7 is placed on the heat insulating brick 14. When the adjuster bolt 12 is rotated, the plate member 13 and the heat insulating brick 14 move up and down, and the receiving roller unit 7 also moves up and down. Since it comprised in this way, it becomes possible to finely adjust the height of the receiving roller unit 7 from the outside of the furnace body 1 only by rotating the adjuster bolt 12, and the positioning operation of the receiving roller unit 7 in the height direction can be performed. It has become easy. As a more preferable structure, the outer wall material 10 immediately below the receiving roller unit is configured to be partially removable so that the plate member 13 and the adjuster bolt can be removed to the outside of the furnace to facilitate replacement of the receiving roller. It is good also as a structure.

断熱材１１の上で、受けコロユニット７の支持部材５の両側方には、耐火材２５が配設されている。耐火材２５と支持部材５の両側面とは当接している。このように、耐火材２５を支持部材５の両側面に当接させて、ピン６が支持部材５から抜けることを防止している。受けコロユニットの支持部材を固定する方法としては、前述の耐火材の他、耐熱金属製の溝状のものとしてもよい。またピン６が支持部材５から抜けることを防止するため、ピンをその中央部を太くした段付構造としてもよい。 On the heat insulating material 11, refractory materials 25 are disposed on both sides of the support member 5 of the receiving roller unit 7. The refractory material 25 and both side surfaces of the support member 5 are in contact with each other. In this way, the refractory material 25 is brought into contact with both side surfaces of the support member 5 to prevent the pins 6 from coming off the support member 5. As a method of fixing the support member of the receiving roller unit, in addition to the above-described refractory material, a groove-shaped member made of a heat-resistant metal may be used. Further, in order to prevent the pin 6 from coming off from the support member 5, the pin may have a stepped structure with a thick central portion.

（第２の実施形態）
図６に第２の実施形態の説明図を示して、第２の実施形態について本発明を説明する。第２の実施形態では、対向するローラ２の先端２ａが近接するように、ローラ２の長さを第１の実施形態に比べて長くしている。１つの受けコロユニット７を、対向するローラ２の両先端２ａの下方に配設している。第２の実施形態の受けコロ４は、第１の実施形態の受けコロ４に対して幅広になっている。第２の実施形態は、１セットの受けコロ４で、対向するローラ２の両先端２ａを転支する実施形態である。 (Second Embodiment)
FIG. 6 is an explanatory diagram of the second embodiment, and the present invention will be described with respect to the second embodiment. In the second embodiment, the length of the roller 2 is made longer than that of the first embodiment so that the tip 2a of the opposing roller 2 approaches. One receiving roller unit 7 is disposed below both ends 2 a of the opposing roller 2. The receiving roller 4 of the second embodiment is wider than the receiving roller 4 of the first embodiment. The second embodiment is an embodiment in which both ends 2a of the opposing roller 2 are transferred by one set of receiving rollers 4.

このように構成することにより、第１の実施形態に比べて受けコロユニット７の数が半分になり、受けコロユニット７の位置決め作業が容易になる。また、平板状部材５０の幅方向の広い範囲（殆どの範囲）を、ローラ２で受けるので、ローラ２上に載置された平板状部材５０の変形を抑制することが可能となる。また、対向するローラ２の先端２ａ間の空間が殆ど無いので、ローラ２上に載置された平板状部材５０の温度分布を均一にすることが可能となる。 With this configuration, the number of the receiving roller units 7 is halved compared to the first embodiment, and the positioning operation of the receiving roller units 7 is facilitated. Further, since the roller 2 receives a wide range (most range) in the width direction of the flat plate member 50, it is possible to suppress deformation of the flat plate member 50 placed on the roller 2. Further, since there is almost no space between the front ends 2a of the opposing rollers 2, the temperature distribution of the flat plate member 50 placed on the rollers 2 can be made uniform.

図６に示されるように、第２の実施形態もまた、対向するローラ２の炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設して、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するように）、ローラ２の先端１ａと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止している。 As shown in FIG. 6, in the second embodiment as well, the inner side of the furnace body 1 of the opposing roller 2 is inclined so as to be lower than the side wall 1 b side, and the flat plate member 50 is placed on the roller 2. Is held in a wide range (so as to be in surface contact), the tip 1a of the roller 2 and the flat plate member 50 are point-contacted to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

第２の実施形態もまた、第１の実施形態と同様に、受けコロユニット７の高さ調整機構を設けることが好ましい。 Also in the second embodiment, it is preferable to provide a height adjusting mechanism for the receiving roller unit 7 as in the first embodiment.

（第３の実施形態）
図７に第３の実施形態の説明図を示し、図８に第３の実施形態の上面図を示して、第３の実施形態について本発明を説明する。第３の実施形態では、対向するローラ２は、長尺ローラ２ｄと短尺ローラ２ｅとから構成されている。第３の実施形態では、図８に示されるように、長尺ローラ２ｄと短尺ローラ２ｅを、炉体１の炉長方向に交互に配設している。 (Third embodiment)
FIG. 7 shows an explanatory diagram of the third embodiment, FIG. 8 shows a top view of the third embodiment, and the present invention will be described with respect to the third embodiment. In the third embodiment, the opposing roller 2 is composed of a long roller 2d and a short roller 2e. In the third embodiment, as illustrated in FIG. 8, the long rollers 2 d and the short rollers 2 e are alternately arranged in the furnace length direction of the furnace body 1.

受けコロユニット７は、炉体１の幅方向の中央に配設されている。このように構成することにより、１セットの受けコロ４は、長尺ローラ２ｄを転支するようになっている。対向する長尺ローラ２ｄと短尺ローラ２ｅの間には、空間が存在するが、第３の実施形態では、長尺ローラ２ｄと短尺ローラ２ｅを、炉体１の炉長方向に交互に配設したので、前記空間の炉体１の幅方向の位置も、炉長方向に対して交互に存在することになり、ローラ２上に載置された平板状部材５０の温度分布を均一にすることが可能となる。また、平板状部材５０の中央部は、常に、長尺ローラ２ｄで転支されるので、平板状部材５０が垂れ下がるように変形することを防止することが可能となる。 The receiving roller unit 7 is disposed at the center in the width direction of the furnace body 1. By configuring in this way, one set of the receiving rollers 4 is adapted to transfer the long roller 2d. Although there is a space between the long roller 2d and the short roller 2e facing each other, in the third embodiment, the long roller 2d and the short roller 2e are alternately arranged in the furnace length direction of the furnace body 1. Therefore, the position of the space in the width direction of the furnace body 1 is also alternately present in the furnace length direction, and the temperature distribution of the flat plate member 50 placed on the roller 2 is made uniform. Is possible. Further, since the central portion of the flat plate member 50 is always transferred by the long roller 2d, it is possible to prevent the flat plate member 50 from being deformed so as to hang down.

図７に示されるように、第３の実施形態もまた、対向するローラ２ｄ、２ｅの炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設して、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するように）、ローラ２の先端２aと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止している。 As shown in FIG. 7, in the third embodiment as well, the inner side of the furnace body 1 of the opposing rollers 2d and 2e is inclined so as to be lower than the side wall 1b side, and the flat plate member 50 is provided. By holding the roller 2 over a wide range (so as to be in surface contact), the tip 2a of the roller 2 and the flat plate member 50 are point-contacted to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

なお、長尺ローラ２ｄと短尺ローラ２ｅ下側に、受けコロユニット７を配設し、長尺ローラ２ｄと短尺ローラ２ｅを、１セットの受けコロ４で転支することにしても差し支えない。 Note that the receiving roller unit 7 is disposed below the long roller 2d and the short roller 2e, and the long roller 2d and the short roller 2e may be transferred by one set of the receiving rollers 4.

第３の実施形態もまた、第１の実施形態と同様に、受けコロユニット７の高さ調整機構を設けることが好ましい。
（第４の実施形態）
図９に第４の実施形態の説明図に示して、以下第４の実施形態について本発明を説明する。第４の実施形態では、対向するローラ２の両先端２ａ間には、受けコロ４が配設されている。受けコロ４の上端位置は、ローラ２の両端２ａの上端位置と殆ど同じ位置もしくは僅かに高い位置になっている。受けコロ４は、平板状部材５０を転支している。本実施形態では、受けコロ４は、円盤形状をしている。本実施形態では、受けコロ４は、耐熱材料であるセラミックスで構成されている。なお、前記セラミックスには、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）や炭化珪素（ＳｉＣ）、Ｓｉ含浸ＳｉＣ、窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）が含まれ、受けコロ４をこれらのセラミックスで構成することが好ましい。 In the third embodiment as well, it is preferable to provide a height adjusting mechanism for the receiving roller unit 7 as in the first embodiment.
(Fourth embodiment)
FIG. 9 is an explanatory diagram of the fourth embodiment, and the present invention will be described below with respect to the fourth embodiment. In the fourth embodiment, a receiving roller 4 is disposed between both ends 2 a of the opposing roller 2. The upper end position of the receiving roller 4 is almost the same as or slightly higher than the upper end positions of both ends 2 a of the roller 2 . The receiving roller 4 supports the flat plate member 50. In this embodiment, the receiving roller 4 has a disk shape. In this embodiment, the receiving roller 4 is made of ceramics that is a heat-resistant material. The ceramic includes alumina (Al ₂ O ₃ ), silicon carbide (SiC), Si-impregnated SiC, and silicon nitride (Si ₃ N ₄ ), and the receiving roller 4 is preferably made of these ceramics. .

図９に示されるように、平板状部材５０は、受けコロ４で転支されるようになっている。このように、平板状部材５０を、受けコロ４で転支することにしたので、ローラ２のローラ支持部材３で支持されている部分に、多大な曲げモーメントが作用することを防止している。 As shown in FIG. 9, the flat plate member 50 is transferred by the receiving roller 4. As described above, since the flat plate member 50 is transferred by the receiving roller 4, a large bending moment is prevented from acting on the portion of the roller 2 supported by the roller support member 3. .

図９に示されるように、第４の実施形態もまた、対向するローラ２の炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設して、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するように）、ローラ２の先端１ａと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止している。 As shown in FIG. 9, in the fourth embodiment, the inner surface of the furnace body 1 of the opposing roller 2 is also inclined so as to be lower than the side wall 1b side, and the flat plate member 50 is disposed on the roller 2. Is held in a wide range (so as to be in surface contact), the tip 1a of the roller 2 and the flat plate member 50 are point-contacted to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

この第４の実施形態もまた、第１〜第３の実施形態と同様に、複数の受けコロ４を、縦長の支持部材５に回転自在に列設して、受けコロユニット７を構成し、炉体１内に配設することが好ましい。 In the fourth embodiment, similarly to the first to third embodiments, a plurality of receiving rollers 4 are rotatably arranged in a vertically long support member 5 to form a receiving roller unit 7. It is preferable to arrange in the furnace body 1.

第４の実施形態もまた、第１の実施形態と同様に、受けコロユニット７の高さ調整機構を設けることが好ましい。 In the fourth embodiment, it is preferable to provide a height adjusting mechanism for the receiving roller unit 7 as in the first embodiment.

（第５の実施形態）
図１０に第５の実施形態の説明図を示して、第５の実施形態について本発明を説明する。第５の実施形態では、対向するローラ２の先端２ａ間に、気体吹出口１８ａを配設し、気体吹出口１８ａから吹き出される気体により、平板状部材５０に上向きの力を作用させる実施形態である。 (Fifth embodiment)
FIG. 10 is an explanatory diagram of the fifth embodiment, and the present invention will be described with respect to the fifth embodiment . In 5th Embodiment, gas blower outlet 18a is arrange | positioned between the front-end | tips 2a of the roller 2 which opposes, and the upward force is made to act on the flat member 50 with the gas blown off from the gas blower outlet 18a. It is.

第５の実施形態では、炉体１の炉幅方向に隣接する受けコロ４間に、気体供給管１８を配設している。気体供給管１８は、セラミックスや耐熱金属で構成されている。気体供給管１８の上部には、上方に開口した気体吹出口１８ａが形成されている。気体吹出口１８ａは、炉体１の炉長方向に一定間隔もしくは不均等間隔をおいて複数形成されている。 In the fifth embodiment, the gas supply pipe 18 is disposed between the receiving rollers 4 adjacent in the furnace width direction of the furnace body 1. The gas supply pipe 18 is made of ceramics or heat-resistant metal. A gas outlet 18 a that opens upward is formed in the upper part of the gas supply pipe 18. A plurality of gas outlets 18a are formed in the furnace length direction of the furnace body 1 at regular intervals or non-uniform intervals.

気体供給管１８は、図示しない気体供給手段に接続されている。気体供給手段により、気体供給管１８に、空気や窒素等の気体が加圧された状態で供給されるようになっている。前記気体供給手段には、ブロワが含まれる。 The gas supply pipe 18 is connected to a gas supply means (not shown). A gas supply means supplies gas such as air or nitrogen to the gas supply pipe 18 in a pressurized state. The gas supply means includes a blower.

気体供給手段と気体供給管１８との間には、加熱手段が設けられている。この加熱手段により、前記気体供給手段により供給された加圧気体が加熱され、気体吹出口１８ａから加熱気体が吹き出されるようになっている。 A heating means is provided between the gas supply means and the gas supply pipe 18. By this heating means, the pressurized gas supplied by the gas supply means is heated, and the heated gas is blown out from the gas outlet 18a.

気体吹出口１８ａから吹き出される加熱気体の温度は、炉内１の温度に対して０℃〜−４０℃以内に制御されるようになっている。この気体吹出口１８ａから吹き出される、加熱気体の温度を前記した温度に制御することにより、平板状部材５０の面内温度差が小さくなるようにしている。気体吹出口１８ａから吹き出される加熱気体の温度が、炉内１温度に対して４０℃以上低い場合には、気体吹出口１８ａとその周辺の温度差が、大きくなり平板状部材５０の温度分布が不均一となり、平板状部材５０が反る危険性が生じる。 The temperature of the heated gas blown from the gas outlet 18a is controlled within 0 ° C. to −40 ° C. with respect to the temperature in the furnace 1. By controlling the temperature of the heated gas blown out from the gas outlet 18a to the above-described temperature, the in-plane temperature difference of the flat plate member 50 is reduced. When the temperature of the heated gas blown from the gas blower outlet 18a is lower by 40 ° C. or more than the temperature in the furnace, the temperature difference between the gas blower outlet 18a and the surrounding area becomes large, and the temperature distribution of the flat plate member 50 is increased. Becomes non-uniform and the flat plate member 50 is warped.

前記加熱手段には、電熱ヒータやバーナが含まれる。気体吹出口１８ａから、吹き出される気体は平板状部材５０と直接接触するので、バーナフレームと加圧気体とを直接接触させる構造は、平板状部材５０に異物を付着させるおそれがあるため好ましくない。このため、前記加熱手段が、バーナである場合には、加圧空気の流路を外側からバーナ加熱する構造となっている。なお、前記加熱手段は、炉体１からの排気熱を、熱交換器で回収して、加圧気体の加熱に使用する構造のものであってもよい。 The heating means includes an electric heater and a burner. Since the gas blown out from the gas outlet 18a is in direct contact with the flat plate member 50, the structure in which the burner frame and the pressurized gas are in direct contact with each other may cause foreign matter to adhere to the flat plate member 50. . For this reason, when the said heating means is a burner, it has the structure which heats the flow path of pressurized air from the outside. The heating means may have a structure in which exhaust heat from the furnace body 1 is recovered by a heat exchanger and used for heating the pressurized gas.

気体吹出口１８ａから加熱気体が吹き出されると、加熱気体が平板状部材５０と当接し、平板状部材５０に上向きの力が作用する。平板状部材５０に上向きの力が作用すると、受けコロ４を下側に押し下げる力が減少するので、受けコロ４の貫通穴４ａとピン６との摺動面の摩擦抵抗が減少する。受けコロ４とピン６が一体構造の場合にあっては、ピン６と支持部材５との摺動面の摩擦抵抗が減少する。このため、僅かな力で、平板状部材５０を移送することが可能となり、ローラ２を回転させる駆動手段の出力を低下させることが可能となり、ローラ２を回転させるために消費されるエネルギーを低減することが可能となる。 When heated gas is blown out from the gas outlet 18 a, the heated gas comes into contact with the flat plate member 50, and an upward force acts on the flat plate member 50. When an upward force is applied to the flat plate member 50, the force that pushes the receiving roller 4 downward decreases, so the frictional resistance of the sliding surface between the through hole 4a of the receiving roller 4 and the pin 6 decreases. When the receiving roller 4 and the pin 6 have an integral structure, the frictional resistance of the sliding surface between the pin 6 and the support member 5 is reduced. For this reason, the flat plate member 50 can be transported with a slight force, the output of the driving means for rotating the roller 2 can be reduced, and the energy consumed for rotating the roller 2 can be reduced. It becomes possible to do.

また、受けコロ４の貫通穴４ａとピン６との摺動面の摩擦抵抗が、受けコロ４とピン６が一体構造の場合にあっては、ピン６と支持部材５との摺動面の摩擦抵抗が減少するので、受けコロ４が平板状部材５０に追従することなく滑ってしまうことを防止することができ、平板状部材５０の受けコロ４との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。同様に、平板状部材５０がローラ２に追従することなく滑ってしまうことを防止することができ、平板状部材５０が移送されないことや、平板状部材５０の受けコロ４との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。 Further, if the frictional resistance of the sliding surface between the through hole 4a of the receiving roller 4 and the pin 6 is an integral structure, the sliding surface between the pin 6 and the support member 5 is Since the frictional resistance is reduced, it is possible to prevent the receiving roller 4 from sliding without following the flat plate member 50, and to prevent the contact surface of the flat plate member 50 with the receiving roller 4 from being damaged. It becomes possible to do. Similarly, the flat plate member 50 can be prevented from sliding without following the roller 2, the flat plate member 50 is not transferred, and the contact surface of the flat plate member 50 with the receiving roller 4 is scratched. Can be prevented.

ローラーハースキルンでは、平板状部材５０の上面に比較して下面にはローラが存在するため、加熱を行いにくかったのであるが、本実施形態では、気体吹出口１８ａから平板状部材５０の下面に、加熱気体を吹き付けることにしたので、平板状部材５０の上面及び下面を均等に加熱することが可能となる。 In the roller hearth kiln, since the roller is present on the lower surface as compared with the upper surface of the flat plate member 50, it is difficult to heat, but in this embodiment, the gas blower outlet 18a is connected to the lower surface of the flat plate member 50. Since the heated gas is blown, the upper and lower surfaces of the flat plate member 50 can be heated uniformly.

平板状部材５０は、中央部よりも端部の方が加熱冷却され易いため、例えば、昇温工程では中央部の加熱空気の温度をやや高温とし、冷却工程ではやや低温にするなどの操作が可能となる。 Since the flat member 50 is more easily heated and cooled at the end portion than at the center portion, for example, an operation such as setting the temperature of the heated air at the center portion to be slightly higher in the temperature raising step and lowering to a slightly lower temperature in the cooling step. It becomes possible.

図１０に示されるように、第５の実施形態もまた、対向するローラ２の炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設して、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するように）、ローラ２の先端１ａと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止している。 As shown in FIG. 10, in the fifth embodiment as well, the inner side of the furnace body 1 of the opposing roller 2 is inclined so as to be lower than the side wall 1b side, and the flat plate member 50 is placed on the roller 2. Is held in a wide range (so as to be in surface contact), the tip 1a of the roller 2 and the flat plate member 50 are point-contacted to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

（第６の実施形態）
図１１に第６の実施形態を示して、以下第６の実施形態について本発明を説明する。第６の実施形態の床壁１ａは、耐火材２５、断熱材２４、外殻板２１とから構成され、上から下側に順に、耐火材２５、断熱材２４、外殻板２１となっている。断熱材２４は、ファイバー状、またはボード状であり、セラミックファイバー、珪酸カルシウム等で構成されている。外殻板２１は、金属やセラミックスで構成されている。断熱材２４により、炉体１内の雰囲気温度が断熱され、外殻板２１が昇温することを防止している。 (Sixth embodiment)
FIG. 11 shows a sixth embodiment, and the present invention will be described below with respect to the sixth embodiment. The floor wall 1a of the sixth embodiment is composed of a refractory material 25, a heat insulating material 24, and an outer shell plate 21, and becomes a refractory material 25, a heat insulating material 24, and an outer shell plate 21 in order from the top to the bottom. Yes. The heat insulating material 24 has a fiber shape or a board shape, and is made of ceramic fiber, calcium silicate, or the like. The outer shell plate 21 is made of metal or ceramics. The heat insulating material 24 insulates the atmospheric temperature in the furnace body 1 and prevents the outer shell plate 21 from being heated.

図１１に示されるように、耐火材２５、断熱材２４、外殻板２１には、炉幅方向に一定間隔もしくは不等間隔をおいて、炉体１の内外を連通する連通穴１９が形成されている。連通穴１９の断面形状は、長方形状となっていて、長手方向を炉長方向に向けている。 As shown in FIG. 11, the refractory material 25, the heat insulating material 24, and the outer shell plate 21 are formed with communication holes 19 that communicate with the inside and outside of the furnace body 1 at regular intervals or unequal intervals in the furnace width direction. Has been. The cross-sectional shape of the communication hole 19 is a rectangular shape, and the longitudinal direction is directed to the furnace length direction.

対向するローラ２の両先端２ａ間には、ディスク８が配設されている。ディスク８の上端は、ローラ２の両端２ａの上端と殆ど同じ高さまたはローラ２より僅かに低い高さになっている。ディスク８は、平板状部材５０を転支している。ディスク８は、幅寸法に対して直径が遙かに大きい円盤形状をしている。本実施形態では、ディスク８は、耐熱材料であるセラミックスで構成されている。なお、前記セラミックスには、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）や炭化珪素（ＳｉＣ）、Ｓｉ含浸ＳｉＣ、窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）が含まれ、ディスク８をこれらのセラミックスで構成することが好ましい。 A disk 8 is disposed between both ends 2a of the opposing roller 2. The upper end of the disk 8 is almost the same height as the upper ends of both ends 2 a of the roller 2 or slightly lower than the roller 2. The disk 8 supports the flat plate member 50. The disk 8 has a disk shape whose diameter is much larger than the width dimension. In the present embodiment, the disk 8 is made of a ceramic that is a heat-resistant material. The ceramics include alumina (Al ₂ O ₃ ), silicon carbide (SiC), Si-impregnated SiC, and silicon nitride (Si ₃ N ₄ ), and the disk 8 is preferably composed of these ceramics.

ディスク８は、前記した連通穴１９内に配設されている。ディスク８の下側は、連通穴１９から炉体１外（炉体１の下側）に露出している。 The disk 8 is disposed in the communication hole 19 described above. The lower side of the disk 8 is exposed to the outside of the furnace body 1 (the lower side of the furnace body 1) from the communication hole 19.

ディスク８の中心には、軸穴８ａが形成されている。軸穴８ａには、回転軸９が挿通されている。本発明では、回転軸９は、床壁１ａの下側、つまり、炉体１外に配設されている。回転軸９は、金属やセラミックスで構成されている。なお、回転軸９をディスク８と一体に形成することにしても差し支えない。 A shaft hole 8 a is formed at the center of the disk 8. The rotation shaft 9 is inserted through the shaft hole 8a. In the present invention, the rotary shaft 9 is disposed below the floor wall 1 a, that is, outside the furnace body 1. The rotating shaft 9 is made of metal or ceramics. The rotating shaft 9 may be formed integrally with the disk 8.

回転軸９は、外殻板２１に取り付けられた軸受部２６に回転自在に軸支されている。本実施形態では、ディスク８の回転軸９を、炉体１外に配設したので、軸受部２６が炉体１の熱の影響を殆ど受けることがない。このため、軸受部２６にボールベアリングや、潤滑油を使用したメタルベアリングや、表面がフッ素樹脂でコーティングされたブッシュを使用することが可能となり、ディスク８の摺動抵抗を大幅に低減させることが可能となる。 The rotating shaft 9 is rotatably supported by a bearing portion 26 attached to the outer shell plate 21. In the present embodiment, since the rotary shaft 9 of the disk 8 is disposed outside the furnace body 1, the bearing portion 26 is hardly affected by the heat of the furnace body 1. For this reason, it becomes possible to use a ball bearing, a metal bearing using lubricating oil, or a bush coated with a fluororesin on the bearing portion 26, and the sliding resistance of the disk 8 can be greatly reduced. It becomes possible.

前記したように、平板状部材５０は、ディスク８で転支されるようになっている。このように、平板状部材５０を、ディスク８で転支することにしたので、ローラ２のローラ支持部材３で支持されている部分に、多大な曲げモーメントが作用することを防止している。 As described above, the flat plate member 50 is supported by the disk 8. As described above, since the flat plate member 50 is transferred by the disk 8, a large bending moment is prevented from acting on the portion of the roller 2 supported by the roller support member 3.

本発明では、前記したように、ディスク８の回転軸９を炉体１外に配設し、ディスク８の摺動抵抗を大幅に低減させたので、僅かな力で、平板状部材５０を移送することが可能となり、ローラ２を回転させる駆動手段の出力を低下させることが可能となり、ローラ２を回転させるために消費されるエネルギーを低減することが可能となる。 In the present invention, as described above, the rotating shaft 9 of the disk 8 is disposed outside the furnace body 1 and the sliding resistance of the disk 8 is greatly reduced, so that the flat plate member 50 is transferred with a slight force. It becomes possible to reduce the output of the driving means for rotating the roller 2, and to reduce the energy consumed for rotating the roller 2.

また、ディスク８が平板状部材５０に追従することなく滑ってしまうことを防止することができ、平板状部材５０のディスク８との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。同様に、ローラ２が平板状部材５０に追従することなく滑ってしまうことを防止することができ、平板状部材５０が移送されないことや、平板状部材５０のディスク８との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。 Further, it is possible to prevent the disk 8 from sliding without following the flat plate member 50, and it is possible to prevent the contact surface of the flat plate member 50 with the disk 8 from being damaged . Similarly, the roller 2 can be prevented from slipping without following the flat plate member 50, the flat plate member 50 is not transferred, and the contact surface of the flat plate member 50 with the disk 8 is scratched. It is possible to prevent sticking .

なお、ディスク８の外縁以外を肉抜きし、例えばスポーク形状にすることが好ましい。このように、ディスク８を肉抜きした場合には、ディスク８の熱容量が小さくなり、熱処理炉の起動時に、短い時間でディスクを炉体１内温度にまで昇温させることが可能となり、短い起動時間で本発明の熱処理炉を運転することが可能となる。また、ディスク８を肉抜きした場合には、ディスク８の回転に関する慣性モーメントを低減させることが可能となり、移送される平板状部材５０に対する追従性が良好となり、ディスク８が平板状部材５０に追従することなく滑ってしまうことを防止することができ、平板状部材５０のディスク８との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。また、後述するローラ２を回転させる駆動装置１２１の最大出力をより小さなものにすることが可能となり、平板状部材の熱処理炉の製造コストを低減することが可能となる。 In addition, it is preferable to make a portion other than the outer edge of the disk 8 to have a spoke shape, for example. As described above, when the disk 8 is thinned, the heat capacity of the disk 8 is reduced, and when the heat treatment furnace is started, the disk can be raised to the temperature inside the furnace body 1 in a short time. It becomes possible to operate the heat treatment furnace of the present invention in time. Further, when the disk 8 is thinned, the moment of inertia relating to the rotation of the disk 8 can be reduced, the followability to the flat plate member 50 to be transferred becomes good, and the disk 8 follows the flat plate member 50. Therefore, it is possible to prevent the flat surface member 50 from being scratched on the contact surface with the disk 8. In addition, the maximum output of the driving device 121 that rotates the roller 2 described later can be made smaller, and the manufacturing cost of the heat treatment furnace for the flat plate member can be reduced.

図１１に示されるように、外殻板２１の下面には、カバー部材２０が取り付けられている。カバー部材２０は、炉体１から（外殻板２１から）露出したディスク８を被覆している。カバー部材２０は、例えば箱形形状をしている。図１１に示した実施形態では、炉幅方向に並列して配設された複数のディスク８を被覆しているが、単一のディスク８を被覆する構造であっても差し支えない。 As shown in FIG. 11, a cover member 20 is attached to the lower surface of the outer shell plate 21. The cover member 20 covers the disk 8 exposed from the furnace body 1 (from the outer shell plate 21). The cover member 20 has, for example, a box shape. In the embodiment shown in FIG. 11, a plurality of disks 8 arranged in parallel in the furnace width direction are covered, but a structure that covers a single disk 8 may be used.

このように、カバー部材２０を設けたので、炉体１外からの気流の流れを遮断して、炉体１から露出するディスク８に、外気が連続して接触することを防止することが可能となる。このため、炉内からの熱漏洩の防止はもちろん、外気によりディスク８が冷却されることなく、ディスク８と接触する部分の平板状部材５０の温度が、他の部分に比べて低下することを防止することが可能となり、平板状部材５０の温度分布を均一に保つことが可能となり、熱処理される平板状部材５０の品質を保つことが可能となる。 As described above, since the cover member 20 is provided, it is possible to block the flow of airflow from the outside of the furnace body 1 and prevent the outside air from continuously contacting the disk 8 exposed from the furnace body 1. It becomes. For this reason, not only the heat leakage from the inside of the furnace is prevented, but also the temperature of the flat plate member 50 at the portion in contact with the disk 8 is lowered as compared with other portions without the disk 8 being cooled by the outside air. Therefore, the temperature distribution of the flat plate member 50 can be kept uniform, and the quality of the flat plate member 50 to be heat-treated can be maintained.

なお、ディスク８を回転させる回転手段を設け、この回転手段で、ディスク８を回転させて、平板上部材５０の移送を補助することとしても差し支えない。回転手段でディスク８を回転させると、ディスク８の摺動抵抗により、平板状部材５０が蛇行することを防止することが可能となる。また、ディスク８が平板状部材５０に追従することなく滑ってしまうことを完全に防止することができ、平板状部材５０のディスク８との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。同様に、ローラ２が平板状部材５０に追従することなく滑ってしまうことを完全に防止することができ、平板状部材５０が移送されないことや、平板状部材５０のディスク８との接触面に傷が付くことを防止することが可能となる。 A rotating means for rotating the disk 8 may be provided, and the disk 8 may be rotated by this rotating means to assist the transfer of the flat plate member 50. When the disk 8 is rotated by the rotating means, the flat plate member 50 can be prevented from meandering due to the sliding resistance of the disk 8. Further, it is possible to completely prevent the disk 8 from sliding without following the flat plate member 50, and to prevent the contact surface of the flat plate member 50 with the disk 8 from being damaged. Become. Similarly, it is possible to completely prevent the roller 2 from sliding without following the flat plate member 50, so that the flat plate member 50 is not transferred, or the contact surface of the flat plate member 50 with the disk 8 is not contacted. It is possible to prevent scratches .

図１１に示されるように、第６の実施形態もまた、対向するローラ２の炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設して、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するように）、ローラ２の先端１ａと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止している。 As shown in FIG. 11, in the sixth embodiment as well, the inner side of the furnace body 1 of the opposing roller 2 is inclined so as to be lower than the side wall 1 b side, and the flat plate member 50 is disposed on the roller 2. Is held in a wide range (so as to be in surface contact), the tip 1a of the roller 2 and the flat plate member 50 are point-contacted to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

（第７の実施形態）
図１２に第７の実施形態を示して、以下第７の実施形態について本発明を説明する。第７の実施形態では、対向するローラ２の先端２ａ間に、気体供給管２８が配設されている。本実施形態では、気体供給管２８は、炉体１の炉長方向に沿って、複数並列して配設されている。図１３に気体吹出口の周辺図を示す。図１３の（１）に示されるように、気体供給管２８は、角パイプ形状をしている。気体供給管２８は、セラミックスや耐熱金属で構成されている。気体供給管２８の上面には、気体供給管２８の内外を連通し、上方に開口した、気体吹出口２８ａが形成されている。気体吹出口２８ａは、炉体１の炉長方向に一定間隔もしくは不均等間隔をおいて複数形成されている。 (Seventh embodiment)
FIG. 12 shows a seventh embodiment, and the present invention will be described below with respect to the seventh embodiment. In the seventh embodiment, a gas supply pipe 28 is disposed between the front ends 2 a of the rollers 2 facing each other. In the present embodiment, a plurality of gas supply pipes 28 are arranged in parallel along the furnace length direction of the furnace body 1. FIG. 13 shows a peripheral view of the gas outlet. As shown in (1) of FIG. 13, the gas supply pipe 28 has a rectangular pipe shape. The gas supply pipe 28 is made of ceramics or a refractory metal. On the upper surface of the gas supply pipe 28, a gas outlet 28 a that communicates the inside and outside of the gas supply pipe 28 and opens upward is formed. A plurality of gas outlets 28a are formed in the furnace length direction of the furnace body 1 at regular intervals or non-uniform intervals.

図１２に示されるように、隣接する気体供給管２８間には、床板材２９が載置されている。図１３の（１）に示されるように、気体供給管２８の上面の両側端部は、切り欠かれていて、凹欠部２８ｂが凹欠形成されている。図１３の（２）に示されるように、気体供給管２８の凹欠部２８ｂには、結晶化ガラス等の床板材２９が載置され、床板材２９の両側端部２９ａが、気体供給管２８の凹欠部２８ｂと嵌合するようになっている。このように構成することにより、床板材２９の、高さ方向の位置決めが確実になり、床板材２９の設置作業が容易になる。気体供給管２８の上面と、床板材２９の上面とは、同じ高さになっていて、同一平面となっている。 As shown in FIG. 12, a floor plate material 29 is placed between adjacent gas supply pipes 28. As shown in (1) of FIG. 13, both end portions of the upper surface of the gas supply pipe 28 are cut out, and a recessed portion 28 b is formed as a recessed portion. As shown in (2) of FIG. 13, a floor plate material 29 such as crystallized glass is placed in the recessed portion 28 b of the gas supply pipe 28, and both end portions 29 a of the floor plate material 29 are connected to the gas supply pipe. It fits into the 28 recesses 28b. With this configuration, the floor board material 29 is reliably positioned in the height direction, and the installation work of the floor board material 29 is facilitated. The upper surface of the gas supply pipe 28 and the upper surface of the floor board material 29 have the same height and are in the same plane.

図１３の（３）に示されるように、炉長方向に隣接する床板材２９の端部は、切り欠かれていて、凹欠部２９ｂが凹欠形成されている。図１３の（３）に示されるように、床板材２９の凹欠部２９ｂには、接合床板材３０が載置され、接合床板材３０が凹欠部２９ｂに嵌合し、隣接する床板材２９の隙間を封止している。床板材２９と接合床板材３０の上面は、同じ高さとなっていて、同一平面となっている。 As shown in (3) of FIG. 13, the end of the floor plate material 29 adjacent in the furnace length direction is notched, and a notch 29b is formed as a notch. As shown in FIG. 13 (3), the joint floor board material 30 is placed in the recessed part 29 b of the floor board material 29, and the joint floor board material 30 is fitted into the recessed part 29 b, and the adjacent floor board material is placed. 29 gaps are sealed. The upper surfaces of the floor board material 29 and the bonded floor board material 30 have the same height and are in the same plane.

以上説明した構造により、気体吹出口２８ａの開口面よりも下側は、気密構造になっている。このように構成することにより、後で説明するように、気体吹出口２８ａから吹き出される加熱気体が、床板材２９上から漏洩することを防止している。 With the structure described above, an airtight structure is formed below the opening surface of the gas outlet 28a. By comprising in this way, the heating gas which blows off from the gas blower outlet 28a is prevented from leaking out on the floor board material 29 so that it may demonstrate later.

気体供給管２８は、図示しない気体供給手段に接続されている。気体供給手段により、気体供給管２８に、空気や窒素等の気体が加圧された状態で供給されるようになっている。前記気体供給手段には、ブロワが含まれる。 The gas supply pipe 28 is connected to a gas supply means (not shown). A gas supply means supplies gas such as air or nitrogen to the gas supply pipe 28 in a pressurized state. The gas supply means includes a blower.

気体供給手段と気体供給管２８との間には、加熱手段が設けられている。この加熱手段により、前記気体供給手段により供給された加圧気体が加熱され、気体吹出口２８ａから平板状部材５０の下面に加熱気体が吹き出されるようになっている。 A heating means is provided between the gas supply means and the gas supply pipe 28. By this heating means, the pressurized gas supplied by the gas supply means is heated, and the heated gas is blown out from the gas outlet 28a to the lower surface of the flat plate member 50.

前記加熱手段には、電熱ヒータやバーナが含まれる。気体吹出口２８ａから、吹き出される気体は平板状部材５０と直接接触するので、バーナフレームと加圧気体とを直接接触させる構造は、平板状部材５０に異物を付着させるおそれがあるため好ましくない。このため、前記加熱手段が、バーナである場合には、加圧空気の流路を外側からバーナ加熱する構造となっている。なお、前記加熱手段は、炉体１からの排気熱を、熱交換器で回収して、加圧気体の加熱に使用する構造のものであってもよい。 The heating means includes an electric heater and a burner. Since the gas blown out from the gas outlet 28a is in direct contact with the flat plate member 50, the structure in which the burner frame and the pressurized gas are in direct contact with each other may cause foreign matter to adhere to the flat plate member 50. . For this reason, when the said heating means is a burner, it has the structure which heats the flow path of pressurized air from the outside. The heating means may have a structure in which exhaust heat from the furnace body 1 is recovered by a heat exchanger and used for heating the pressurized gas.

気体供給管２８内には、温度センサーが配設されている。この温度センサーで、気体供給管２８内を流通する加熱気体の温度を測温して、気体吹出口２８ａから吹き出される加熱気体の温度が所望の温度になるように制御している。 A temperature sensor is disposed in the gas supply pipe 28. With this temperature sensor, the temperature of the heated gas flowing through the gas supply pipe 28 is measured, and the temperature of the heated gas blown from the gas outlet 28a is controlled to a desired temperature.

気体吹出口２８ａから加熱気体が吹き出されると、この加熱気体は、平板状部材５０の下面と、床板材２９との間を、炉体１の両側壁１ｂ方向に流通するようになっている。前述したように、気体吹出口２８ａの開口面よりも下側は、気密構造になっていて、連続的に、気体吹出口２８ａから加熱気体が吹き出されるので、平板状部材５０の下面と、床板材２９との間の空間の気圧は、平板状部材５０の上面の気圧よりも高くなるので、平板状部材５０に上向きの力が作用し、炉体１内を移送される平板状部材５０が、下側に垂れ下がるように変形することなく保持される。 When the heated gas is blown out from the gas outlet 28 a, the heated gas flows between the lower surface of the flat plate member 50 and the floor plate material 29 in the direction of the side walls 1 b of the furnace body 1. . As described above, the lower side of the opening surface of the gas outlet 28a has an airtight structure, and the heated gas is continuously blown from the gas outlet 28a. the pressure of the space between the floor member 29, so higher than pressure of the upper surface of the plate member 50, plate member 50 upward force on plate member 50 acts, is transferred to the furnace body 1 However, it is held without being deformed so as to hang down.

また、気体吹出口２８ａから吹き出される気体により、平板状部材５０を保持し、多大な曲げモーメントが、ローラ２に作用することを防止し、ローラの破損を防止している。 Further, the gas blown from the gas outlet 28a holds the flat plate member 50, prevents a great bending moment from acting on the roller 2, and prevents the roller from being damaged.

本実施形態では、ローラ２の載置面（ローラ２の上端）と気体吹出口２８ａの開口面との寸法Ａを、２〜５ｍｍに設定している。このような寸法に設定したのは、気体吹出口２８ａの開口面よりもローラ２の載置面を若干高くして、平板状部材５０の荷重を、ローラ２でより多く支え、気体吹出口２８ａから吹き出される加熱気体の吹き出し量を減少させる意図である。寸法Aが２ｍｍよりも小さい場合には、平板状部材５０の下面を保持するために、気体吹出口２８ａから吹き出される加熱気体の吹き出し量が増大し、エネルギーが無駄になってしまう。一方で、寸法Ａが５ｍｍよりも大きい場合には、炉体１内を搬送される平板状部材５０が垂れ下がるように変形する恐れがある。 In this embodiment, the dimension A between the mounting surface of the roller 2 (the upper end of the roller 2) and the opening surface of the gas outlet 28a is set to 2 to 5 mm. The reason why such a dimension is set is that the mounting surface of the roller 2 is slightly higher than the opening surface of the gas outlet 28a, and the load of the flat plate member 50 is supported by the roller 2 more. This is intended to reduce the amount of heated gas blown from the air. When the dimension A is smaller than 2 mm, in order to hold the lower surface of the flat plate member 50, the amount of heated gas blown out from the gas blowout port 28a increases, and energy is wasted. On the other hand, when the dimension A is larger than 5 mm, the flat plate member 50 conveyed in the furnace body 1 may be deformed so as to hang down.

気体吹出口２８ａから吹き出される加熱気体の温度は、炉内１の温度に対して０℃〜−４０℃以内に制御されるようになっている。この気体吹出口２８ａから吹き出される、加熱気体の温度の前記した温度に制御することにより、平板状部材５０の面内温度差が小さくなるようにしている。気体吹出口２８ａから吹き出される加熱気体の温度が、炉内１温度に対して４０℃以上低い場合には、気体吹出口２８ａとその周辺の温度差が、大きくなり平板状部材５０の温度分布が不均一となり、平板状部材５０が反る危険性が生じる。 The temperature of the heated gas blown out from the gas outlet 28a is controlled within 0 ° C. to −40 ° C. with respect to the temperature in the furnace 1. The in-plane temperature difference of the flat plate member 50 is reduced by controlling the temperature of the heated gas blown out from the gas outlet 28a. When the temperature of the heated gas blown out from the gas outlet 28a is lower than the temperature in the furnace by 40 ° C. or more, the temperature difference between the gas outlet 28a and the surrounding area becomes large, and the temperature distribution of the flat plate member 50 is increased. Becomes non-uniform and the flat plate member 50 is warped.

図１２に示されるように、第７の実施形態もまた、対向するローラ２の炉体１内側を、側壁１ｂ側よりも低くなるように傾けて配設して、平板状部材５０をローラ２の広い範囲で保持することにより（面接触するように）、ローラ２の先端２aと平板状部材５０が点接触して、平板状部材５０に傷が付くことを防止している。 As shown in FIG. 12, in the seventh embodiment as well, the inner side of the furnace body 1 of the opposing roller 2 is inclined so as to be lower than the side wall 1b side, and the flat plate member 50 is placed on the roller 2. Is held in a wide range (so as to be in surface contact), the tip 2a of the roller 2 and the flat plate member 50 are point-contacted to prevent the flat plate member 50 from being damaged.

（脱落防止機構）
図１４に脱落防止機構の説明図を示し、脱落防止機構の説明をする。ローラ２の先端には、凹部２ｆが凹陥形成されている。もちろんローラ２をパイプ形状のものとしてもよい。支持部材５には、脱落防止部材１６が取り付けられている。脱落防止部材１６の一端１６ａを、ローラ２の凹部２ｆに挿入している。このように構成することにより、ローラ２の先端２ａが、炉長方向に移動することを阻止し、受けコロ４で転支されたローラ２が、受けコロ４から脱落することを防止している。本実施形態では、脱落防止部材１６は断面形状が”コ”字形状をしていて、脱落防止部材１６の他辺は、支持部材５の下側に取り付けられているが、脱落防止部材１６の構造及び脱落防止１６の取付構造は、前記構造に限定されず、受けコロ４で転支されたローラ２が、受けコロ４から脱落することを防止する構造であればすべて含まれる。以上説明した脱落防止機構は、第１の実施形態、第３の実施形態、第４の実施形態、第５の実施形態、第６の実施形態、第７の実施形態に適用される。 (Falling prevention mechanism)
FIG. 14 is an explanatory view of the drop-off prevention mechanism, and the drop-off prevention mechanism will be described. A concave portion 2 f is formed at the tip of the roller 2. Of course, the roller 2 may have a pipe shape. A drop-off prevention member 16 is attached to the support member 5. One end 16 a of the drop-off prevention member 16 is inserted into the recess 2 f of the roller 2. By configuring in this way, the tip 2a of the roller 2 is prevented from moving in the furnace length direction, and the roller 2 that is transferred by the receiving roller 4 is prevented from dropping off from the receiving roller 4. . In this embodiment, the drop-off prevention member 16 has a “U” cross-sectional shape, and the other side of the drop-off prevention member 16 is attached to the lower side of the support member 5. The structure and attachment structure of the drop-off prevention 16 are not limited to the above-described structure, and any structure that prevents the roller 2 that is pivotally supported by the receiving roller 4 from falling off the receiving roller 4 is included. The drop prevention mechanism described above is applied to the first embodiment, the third embodiment, the fourth embodiment, the fifth embodiment, the sixth embodiment, and the seventh embodiment.

以上、現時点において、もっとも、実践的であり、かつ好ましいと思われる実施形態に関連して本発明を説明したが、本発明は、本願明細書中に開示された実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う平板状部材の熱処理炉もまた技術的範囲に包含されるものとして理解されなければならない。 Although the present invention has been described above in connection with the most practical and preferred embodiments at the present time, the present invention is not limited to the embodiments disclosed herein. However, it can be changed as appropriate without departing from the spirit or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification, and a flat-plate member heat treatment furnace with such a change is also included in the technical scope. Must be understood.

本発明の第１の実施形態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the 1st Embodiment of this invention. 受けコロユニットの斜視図である。It is a perspective view of a receiving roller unit. 図２のＡ−Ａ断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図１のＢ−Ｂ断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 受けコロユニットの高さ調整機構の説明図である。It is explanatory drawing of the height adjustment mechanism of a receiving roller unit. 第２の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of 2nd Embodiment. 第３の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of 3rd Embodiment. 第３の実施形態の上面図である。It is a top view of 3rd Embodiment. 第４の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of 4th Embodiment. 第５の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of 5th Embodiment. 第６の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of 6th Embodiment. 第７の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of 7th Embodiment. 気体吹出口の周辺図である。It is a peripheral view of a gas blower outlet. 脱落防止機構の説明図である。It is explanatory drawing of a drop-off prevention mechanism. 従来のローラーハースキルンの説明図である。It is explanatory drawing of the conventional roller hearth kiln.

符号の説明Explanation of symbols

１炉体
１ａ床壁
１ｂ側壁
１ｃ天井壁
２ローラ
２ａローラの先端
２ｂローラの基端
２ｄ長尺ローラ
２ｅ短尺ローラ
２ｆ凹部
３ローラ支持部材
４受けコロ
４ａ貫通穴
５支持部材
５ａ軸支穴
５ｂ連通穴
６ピン
７受けコロユニット
８ディスク
８ａ軸穴
９回転軸
１０外壁材
１０ａ調整ネジ穴
１１断熱材
１２アジャスタボルト
１３板部材
１４断熱煉瓦
１６脱落防止部材
１６ａ脱落防止部材の一端
１８気体供給管
１８ａ気体吹出口
１９連通穴
２０カバー部材
２１外殻板
２４断熱材
２５耐火材
２６軸受部
２８気体供給管
２８ａ気体吹出口
２８ｂ凹欠部
２９床板材
２９ａ側端部
２９ｂ凹欠部
３０接合床板材
３０ａ気体吹出口
３０ｂ凹欠部
５０平板状部材
１２０ローラ
１２１駆動装置
１２２炉体
１２３ヒータ
１３１平板状部材
１３２セッター
Ａローラの載置面と気体吹出口の開口面との寸法 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Furnace 1a Floor wall 1b Side wall 1c Ceiling wall 2 Roller 2a Roller tip 2b Roller base 2d Long roller 2e Short roller 2f Recess 3 Roller support member 4 Receiving roller 4a Through hole 5 Support member 5a Shaft support hole 5b Communication Hole 6 Pin 7 Receiving roller unit 8 Disc 8a Shaft hole 9 Rotating shaft 10 Outer wall material 10a Adjusting screw hole 11 Heat insulating material 12 Adjuster bolt 13 Plate member 14 Thermal insulation brick 16 Falling prevention member 16a One end of fall prevention member 18 Gas supply pipe 18a Gas Air outlet 19 Communication hole 20 Cover member 21 Shell plate 24 Heat insulating material 25 Refractory material 26 Bearing portion 28 Gas supply pipe 28a Gas outlet 28b Recessed portion 29 Floor plate material 29a Side end portion 29b Recessed portion 30 Joint floor plate material 30a Gas Air outlet 30b Recessed portion 50 Flat plate member 120 Roller 121 Drive device 122 Furnace Body 123 Heater 131 Flat member 132 Setter A Dimension of roller mounting surface and gas blower opening surface

Claims

平板状部材を、トンネル状の炉体の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材の熱処理炉であって、
前記炉体の両側壁から炉内に延出するローラを、互いに対向させて、炉内側が側壁側よりも低くなるように傾けて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、
前記ローラ上に平板状部材を載せ、前記ローラを一定方向に回転させて、前記平板状部材を、炉体の炉長方向に移送するように構成したことを特徴とする平板状部材の熱処理炉。 A plate-shaped member heat treatment furnace that performs heat treatment while transferring the plate-shaped member in the furnace length direction of the tunnel-shaped furnace body,
Rollers extending into the furnace from both side walls of the furnace body are opposed to each other, tilted so that the inside of the furnace is lower than the side wall, and a plurality of rollers are disposed in the furnace length direction, and are rotatably arranged.
A flat plate member heat treatment furnace, wherein a flat plate member is placed on the roller, the roller is rotated in a certain direction, and the flat plate member is transferred in the furnace length direction of the furnace body. .

対向するローラの少なくとも一方の下方に、前記ローラを転支する受けコロを設けたことを特徴とする請求項１に記載の平板状部材の熱処理炉。 2. A flat plate member heat treatment furnace according to claim 1, wherein a receiving roller for rolling the roller is provided below at least one of the opposing rollers.

対向するローラの先端間に、平板状部材を転支する受けコロを配設したことを特徴とする請求項１に記載の平板状部材の熱処理炉。 The heat treatment furnace for a flat plate member according to claim 1, wherein a receiving roller for transferring the flat plate member is disposed between the front ends of the opposing rollers.

対向するローラの先端間に、平板状部材を転支し、回転軸が炉外に配設されたディスクを設けたことを特徴とする請求項１に記載の平板状部材の熱処理炉。 2. The flat plate member heat treatment furnace according to claim 1, wherein a disk having a flat plate member and a rotary shaft disposed outside the furnace is provided between the front ends of the opposing rollers.

対向するローラの先端間に、上方に開口した気体吹出口を配設し、
前記ローラ上に平板状部材を載置した状態で、前記気体吹出口から気体を、前記平板状部材に吹き出すように構成したことを特徴とする請求項１に記載の平板状部材の熱処理炉。 Between the tips of the opposing rollers, a gas blower opening upward is disposed,
2. The flat plate member heat treatment furnace according to claim 1, wherein a gas is blown out from the gas outlet to the flat plate member in a state where the flat plate member is placed on the roller.