JP5108420B2 - 多段階方式の偏光フィルム検査装置 - Google Patents
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Description
200 第1スキャン部
210 第1移送ステージ
220 第1吸着プレート
224 第1光学手段
230 第1水平移送手段
300 第2スキャン部
310 第2移送ステージ
320 第2吸着プレート
324 第2光学手段
330 第2水平移送手段
400 リフト部
410 垂直移送プレート
420 垂直移送手段
Claims (6)
- 偏光フィルムを吸着支持するように複数の第1吸着プレートが一定間隔で設けられた第1移送ステージと、前記第1移送ステージを移送する第1水平移送手段と、前記第1移送ステージに吸着されない部分を撮影するように前記第1移送ステージの往復区間に配置された第1光学手段とを有する第1スキャン部と、
前記第1スキャン部を通過した前記偏光フィルムを渡される垂直移送プレートと、前記垂直移送プレートを移送させる垂直移送手段とを有するリフト部と、
前記リフト部から渡された前記偏光フィルムの、前記第1スキャン部で撮影された部分を吸着して支持するように複数の第2吸着プレートが設けられた第2移送ステージと、前記第2移送ステージを移送する第2水平移送手段と、前記第2移送ステージに吸着されない部分を撮影するように前記第2移送ステージの往復区間に配置された第2光学手段とを有する第2スキャン部と、
を具え、
前記垂直移送プレートの下面には前記偏光フィルムを吸着する複数の真空パッドが設けられており、
前記第1移送ステージ及び前記第2移送ステージはそれぞれ、互いに離隔して配置されて前記第1移送ステージ及び前記第2移送ステージの移送方向に沿って延在する第1フレーム及び第2フレームと、前記第1フレーム及び前記第2フレームの両端を連結する第3フレーム及び第4フレームとを有し、
複数の前記第1吸着プレート及び複数の前記第2吸着プレートの一端及び他端が、対向する前記第3フレーム及び前記第4フレームに連結されていることを特徴とする、多段階方式の偏光フィルム検査装置。 - 前記第1移送ステージの前記第1フレームには、前記第1水平移送手段と連結される第1連結ブラケットが一体的に設けられ、
前記第2移送ステージの前記第2フレームには、前記第2水平移送手段と連結される第2連結ブラケットが一体的に設けられたことを特徴とする、請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記第1移送ステージの前記第2フレームの下側には、前記第1水平移送手段に沿って延在する第1補助直線運動ガイドが前記第2水平移送手段に干渉しないように配置され、
前記第1移送ステージの前記第2フレームの下部には、前記第1補助直線運動ガイドに沿って案内される第1補助直線運動ブロックが前記第1移送ステージの前記第2フレームと一体的に設けられ、
前記第2移送ステージの前記第1フレームの下側には、前記第2水平移送手段に沿って延在する第2補助直線運動ガイドが前記第1水平移送手段に干渉しないように配置され、
前記第2移送ステージの前記第1フレームの下部には、前記第2補助直線運動ガイドに沿って案内される第2補助直線運動ブロックが前記第2移送ステージの前記第1フレームと一体的に設けられたことを特徴とする、請求項2に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記第1吸着プレート及び前記第2吸着プレートには複数の真空吸着ホールが形成され、
前記第1吸着プレート及び前記第2吸着プレートの下部にはそれぞれの前記真空吸着ホールと連結される真空フィッティングが連結されたことを特徴とする、請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。 - 前記垂直移送プレートには前記垂直移送手段と連結される第3連結ブラケットが一体的に設けられたことを特徴とする、請求項1に記載の偏光フィルム検査装置。
- 前記垂直移送プレートには前記垂直移送手段と連結される第3連結ブラケットが一体的に設けられており、
前記第1水平移送手段、前記第2水平移送手段、及び前記垂直移送手段は互いに等しい形状及び等しい構成を有し、
前記第1水平移送手段は、ベースと、前記ベースを覆うカバーと、前記ベースの両端に回転可能に配置された第1プーリー及び第2プーリーと、前記第1プーリー及び前記第2プーリーに回転可能にかけられたベルトと、前記ベルトに沿って移送可能に前記ベルトに固着され、両端が前記カバーの外部に露出し、前記第1連結ブラケットを連結されるスライダーとを具え、
前記第2水平移送手段は、ベースと、前記ベースを覆うカバーと、前記ベースの両端に回転可能に配置された第1プーリー及び第2プーリーと、前記第1プーリー及び前記第2プーリーに回転可能にかけられたベルトと、前記ベルトに沿って移送可能に前記ベルトに固着され、両端が前記カバーの外部に露出し、前記第2連結ブラケットを連結されるスライダーとを具え、
前記垂直移送手段は、ベースと、前記ベースを覆うカバーと、前記ベースの両端に回転可能に配置された第1プーリー及び第2プーリーと、前記第1プーリー及び前記第2プーリーに回転可能にかけられたベルトと、前記ベルトに沿って移送可能に前記ベルトに固着され、両端が前記カバーの外部に露出し、前記第3連結ブラケットを連結されるスライダーとを具え、
前記第1プーリーまたは前記第2プーリーのうちいずれか一方に駆動モーターが設けられたことを特徴とする、請求項2に記載の偏光フィルム検査装置。
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