JP3677885B2 - シート状物の欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス、樹脂、紙等のシート状被検査物に存在する異物、傷、ピンホール等の欠陥をCCDリニアイメージセンサーやレーザー式検査機等のセンサーを用いて電子的に検出する光学的検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より偏光フィルムやTFTカラーフィルター等の光学フィルムに存在する異物、傷、ピンホール等の欠陥は図6に示す如く光源1より光を照射し、シート状被検査物2よりの反射散乱光をCCDリニアイメージセンサー3で受光し、そのセンサーからの出力信号を図示しない検出手段で検出し、シートに存在する欠陥を光の明暗として判断・検出する方法が行われている。
これらを工業的に検査する場合には一連の製造工程の中で、一定方向に移動するベルト上にフィルム等のシート状被検査物を載置し、特定場所にセンサーの焦点を合わせて上記した方法により検査が行われているが、これらの検査方法はフィルム面上で反射する散乱光にセンサーの焦点距離を合わせていることより、ベルト上に載置されたフィルムに何らかの要因で撓みや凹凸等が生じる場合には欠陥として検出されるため、検査位置に於けるフィルムはセンサーと等距離に位置し焦点がずれないようにする必要がある。
【0003】
例えばベルトに通気性素材を用い、かつ検査位置を通過するベルト下部に真空吸引ボックスを配設し、検査位置を通過するフィルムをベルト下部より吸着し検査に供するフィルムをベルトに密着させ検査する方法が考えられる。この方法はベルトにフィルムを吸着させるため、フィルム周囲の巻き上がり等は防止し得るが、フィルム(シート)が大きい場合には真空吸引ボックスの中央部が周辺部よりも下方に撓んで、その反射画像波形は図5のようになり焦点距離が合い難いとの欠点を有する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記欠点を改良する目的で本発明者等は図4に示すような真空吸引ボックスに2〜5mm径の丸孔を穿った厚み3mmの金属製ラス板を天板として配設し用いたが、検査に供するフィルムが薄い場合には、該丸孔中央部に於いて微妙にフィルムが下方に撓み、その反射画像波形は図4のようになり、欠陥が存在する場合との差異が不明確となり、上述した方法の欠点を完全には解決し得なかった。
かかる知見を基礎として本発明者等は、大きさ、厚みに影響されず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ精度の高いシ−ト状物の欠陥検査装置を見出すべく鋭意検討した結果、該真空吸引ボックスに敷設する天板形状を工夫し、特定位置にセンサーを配設するという簡単な方法で上記問題点が全て解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0005】
【課題を解決するための手段】
即ち本発明は、一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、(1)ベルトに通気性素材を用いること、(2)検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、(3)該センサーの撮像部(焦点)が天板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設されていること、(4)該センサーがCCDリニアイメージセンサーまたはレーザー式検査機であり、孔またはスリットのない天板上に存在するシート状被検査物を検査すること、を特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装置を提供するにある。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面を用いてさらに詳細に説明する。図1は本発明のシ−ト状物の欠陥検査装置を示す概略図であり、図2〜図4はベルト4と接触する真空吸引機構Bの天板構造を示す概略図である。図1においてシート状被検査物である偏光フィルム2は走行するベルト上に載置され検査位置Aまで搬送される。検査位置Aはベルト下部に真空吸引ボックス5と天板6よりなる真空吸引機構Bを持ち、ベルトで搬送されてきた偏光フィルムをベルト下部より吸引しベルト上に密着させ、この状態に於いて光源1から照射された光を反射散乱光としてCCDリニアイメージセンサー或いはレーザー式検査機等のセンサー3で受光し、そのセンサーからの出力信号を図示しない検出手段で検出する構造となっている。この方法に於いて欠陥はその光の明暗として検出し判断する。
【0007】
本発明に於いては真空吸引機構Bの天板6の孔構造に特徴を有する。図2及び図3は本発明に用いる天板6を示すものである。図2に示す天板6に於いてはベルト4の走行方向面に垂直に丸孔8を連続的に、且つ複数列有する例である。図3はベルトの走行方向面に垂直にスリット7を複数列有する例である。該孔の数、孔径、孔の形状、スリットの幅、列数等はベルト上に載置されたフィルムがベルトに密着すればよく、特に制限されないが、通常孔径5mm〜20mm、孔間隔5mm〜15mm、各列の間隔5mm〜15mmの範囲で実施すればよい。またスリットの場合にはスリットの幅5mm〜15mm、各列の間隔5mm〜15mmの範囲で実施すればよい。
【0008】
本発明に於いては各孔又は各スリットの列間Yに常にセンサーの焦点がある状態で光源1及びセンサー3をベルト4の走行方向面に垂直なラインA上に設置することを必須とする。かかる構造とすることにより、検査位置Aは常に天板6の孔或いはスリットのない天板上に存在するシート状被検査物を検査するため、検査位置Aのシート状被検査物には撓みや凹凸が生じ難く、図2、図3の反射画像波形に見られる如く、画像はフラットであるため、誤認が少なく検出精度が向上する。検査位置Aは天板に形成されるいずれのスリット間Y〜Yn'或いは孔間Y〜Yn'であってもよい。
【0009】
本発明に用いるベルト4は真空吸引機構よりの吸引能がベルト上のフィルム2に達し得るものであればよく、通常厚み約0.3mm〜0.5mmのポリエチレン製の多孔質ベルトが使用される。ベルトの色は特に制限されないが通常グレーが使用される。真空吸引ボックス5の天板6とベルト4の間に抵抗を少なくする目的で厚み約2mm〜4mmのポリエチレン製の多孔質シート9を配設してもよい。また天板6の素材はステンレス、合成樹脂成形体、セラミックス等いずれでもよく、特に制限されない。
真空吸引ボックス内の真空度は通常約70mmHg〜約90mmHgの範囲で実施される。
【0010】
【発明の効果】
以上詳述した本発明によれば真空吸引機構の天板を特殊構造とし、センサーの撮像部(焦点)を特定位置に配設するのみで、何ら操作を複雑化することなく、従来公知のCCDリニアイメージセンサー等を用いた光学的検査装置の検出精度を向上せしめ得るものであり、その産業上の効果はすこぶる大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】CCDリニアイメージセンサーを用いた光学的検査装置の概略図である。
【図2】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図3】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図4】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図5】天板のない真空吸引機構を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図6】CCDリニアイメージセンサーを用いた光学的検査装置の概略図である。
【符号の説明】
1 光源
2 シート状被検査物
3 センサー
4 ベルト
5 真空吸引ボックス
6 天板
7 スリット
8 丸孔
Claims (1)
- 一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、
(1)ベルトに通気性素材を用いること、
(2)検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、
(3)該センサーの撮像部(焦点)が天板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設されていること、
(4)該センサーがCCDリニアイメージセンサーまたはレーザー式検査機であり、孔またはスリットのない天板上に存在するシート状被検査物を検査すること、
を特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22377796A JP3677885B2 (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | シート状物の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22377796A JP3677885B2 (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | シート状物の欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1062146A JPH1062146A (ja) | 1998-03-06 |
JP3677885B2 true JP3677885B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=16803556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22377796A Expired - Fee Related JP3677885B2 (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | シート状物の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3677885B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100788733B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2007-12-26 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 검사장치 및 방법 |
KR100788734B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2008-01-02 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 검사장치 및 방법 |
KR20090002368A (ko) * | 2007-06-28 | 2009-01-09 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | 다단계 방식의 편광필름 검사장치 |
KR100922616B1 (ko) * | 2007-10-24 | 2009-10-21 | 주식회사 아바코 | 필름 검사장치 |
JP5276875B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-08-28 | 富士フイルム株式会社 | フィルム欠陥検査方法及び装置 |
JP2012078120A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kirin Techno-System Co Ltd | 容器用キャップの検査装置 |
-
1996
- 1996-08-26 JP JP22377796A patent/JP3677885B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1062146A (ja) | 1998-03-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041124 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050104 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080520 Year of fee payment: 3 |
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RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D05 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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