JP5106638B2 - モールドシート及びモールドシート製造方法 - Google Patents
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Description
1278044710954_0
(PDMS)のような高分子弾性体を用いる。ナノインプリントリソグラフィ法に用いられるPDMSモールドは表面エネルギーが低く、他の物質の表面に対する接着力が低いので、パターニング後に基板の表面からPDMSモールドを容易に分離することができる。しかし、このような弾性体のPDMSモールドの機械的強度が低く、所定の条件下で容易に変形するため、約500μm以下のパターン解像度の線を有する微細パターンを形成するのに用いることができず、具現するパターンの縦横比(aspect ratio)に依存する。また、トルエンのような有機溶媒との接触時に膨潤(swell)して変形するため、パターニング段階に用いることができる溶媒の選択に制限がある。
(A)所望のパターンが形成されたマスターモールドに、(A)1つ以上の不飽和二重結合を有する活性エネルギー波−硬化型化合物、(B)前記成分(A)100重量部を基準として光開始剤0.1〜20重量部、(C)前記成分(A)100重量部を基準としてシリコーン、フッ素またはこれら両方ともを含有する化合物0.01〜200重量部、及び、(D)前記成分(A)100重量部を基準として、ビニル基、(メタ)アクリルオキシ基、及びアリル基から選ばれる1つ以上の官能基を含む活性エネルギー波−硬化型樹脂0〜50重量部を含み、前記成分(A)がビニル基、(メタ)アクリルオキシ基、及びアリル基からなる群から選ばれる官能基を有する少なくとも1つの単量体である組成物をコーティングまたはキャスティングする段階;
(B)活性エネルギー波を照射して前記組成物を硬化させる段階;
(C)前記硬化物をマスターモールドから剥離して所望のパターンの陰刻パターンが形成されたモールドシートを得る段階;及び、
(D)段階(C)で得られた前記結果物を活性エネルギー波、紫外線、オゾン、またはプラズマで表面処理する段階を含む、所望のパターン形成用モールドシートの製造方法を提供する。
(A)所望のパターンが形成されたマスターモールドの一面に本発明による組成物をコーティングまたはキャスティングする段階;
(B)活性エネルギー波を照射して前記組成物を硬化させる段階;及び、
(C)前記硬化物をマスターモールドから剥離して所望のパターンの陰刻パターンが形成されたモールドシートを得る段階を含む。硬化型組成物を用いてモールドシートを製造する具体的な工程は、大韓民国特許第568581号を参照することができる。
表1の実施例1に記載された組成を有するモールド組成物をプリズム状のパターンを有するマスターモールドのパターン化された面上にコーティングした。次いで、コーティング面上に透明ポリエステルシートを置いた後、得られた積層体に150mJ/cm2の露光量で紫外線を照射して樹脂組成物を硬化させ、硬化されたモールドをマスターモールドから剥離して37μmの厚さを有するプリズム状のパターンを有するモールドシートを製造した。そして、モールドシートのプリズム状のパターン面に高圧水銀ランプを用いて、30,000mJ/cm2の露光量で紫外線をさらに照射してプリズム状のパターン形成用硬化モールドシートを完成した。
表1の実施例2に記載された組成を有する組成物を用いることを除いては、製造例1と同一の方法でプリズム状のパターン形成用モールドシートを製造した。
表1の比較例1に記載された組成を有する組成物を用いることを除いては、製造例1と同一の方法でプリズム状のパターン形成用モールドシートを製造した。
表1の比較例2に記載された組成を有する組成物を用いることを除いては、製造例1と同一の方法でプリズム状のパターン形成用モールドシートを製造した。
パターン形成用紫外線硬化樹脂を透明ポリエチレンテレフタレートフィルムにコーティングした後、その上に製造例1及び製造例3で製造されたモールドシトルを置き、得られた積層体に対して加圧接触を維持しながら、250mJ/cm2の露光量で紫外線を繰り返し照射してプリズムシートを製作した。
製造例2及び製造例4で製造されたモールドシートを高温の水蒸気に10分間露出させた後、モールドシート表面に成形されたパターンをチェス盤状にクロスカッティングし、接着テープを貼り付けてから剥離した。
Claims (10)
- (A)一つ以上の不飽和二重結合を有する活性エネルギー波−硬化型化合物;
(B)前記成分(A)100重量部を基準として光開始剤0.1〜20重量部;
(C)前記成分(A)100重量部を基準として、シリコーン、フッ素またはこれら両方ともを含有する化合物0.01〜200重量部;及び、
(D)前記成分(A)100重量部を基準として、ビニル基、(メタ)アクリルオキシ基、及びアリル基から選ばれる1つ以上の官能基を含む活性エネルギー波−硬化型樹脂0〜50重量部を含む組成物の硬化物を含み、
前記成分(A)がビニル基、(メタ)アクリルオキシ基、及びアリル基からなる群から選ばれる官能基を有する少なくとも1つの単量体であり、
前記硬化物は、前記組成物を硬化させた後、活性エネルギー波、紫外線、オゾン、またはプラズマで表面処理して得られる、所望のパターンを他の樹脂層に転写させるための所望のパターンの陰刻が形成されているモールドシート。 - 前記光開始剤が活性エネルギー波照射で処理される時、フリーラジカルまたはカチオンを生成させることができる化合物である、請求項1に記載のモールドシート。
- 前記シリコーンを含有する化合物が、樹脂、界面活性剤、またはオイルである、請求項1に記載のモールドシート。
- 前記シリコーンを含有する化合物が、ビニル系樹脂、(メタ)アクリレート系樹脂、またはアリル系樹脂から誘導された樹脂である、請求項1に記載のモールドシート。
- 前記活性エネルギー波−硬化型樹脂が分子量400以上のオリゴマーまたはポリマーである、請求項1に記載のモールドシート。
- 前記硬化物が支持体に積層されるかまたは付着されている、請求項1に記載のモールドシート。
- (A)所望のパターンが形成されたマスターモールドに、(A)1つ以上の不飽和二重結合を有する活性エネルギー波−硬化型化合物、(B)前記成分(A)100重量部を基準として光開始剤0.1〜20重量部、(C)前記成分(A)100重量部を基準としてシリコーン、フッ素またはこれら両方ともを含有する化合物0.01〜200重量部、及び、(D)前記成分(A)100重量部を基準として、ビニル基、(メタ)アクリルオキシ基、及びアリル基から選ばれる1つ以上の官能基を含む活性エネルギー波−硬化型樹脂0〜50重量部を含み、前記成分(A)がビニル基、(メタ)アクリルオキシ基、及びアリル基からなる群から選ばれる官能基を有する少なくとも1つの単量体である組成物をコーティングまたはキャスティングする段階;
(B)活性エネルギー波を照射して前記組成物を硬化させる段階;
(C)前記硬化物をマスターモールドから剥離して所望のパターンの陰刻パターンが形成されたモールドシートを得る段階;及び、
(D)段階(C)で得られた前記結果物を活性エネルギー波、紫外線、オゾン、またはプラズマで表面処理する段階
を含む、請求項1のモールドシートを製造する方法。 - 硬化段階(B)の前に前記マスターモールドにコーティングまたはキャスティングされた前記組成物に対して支持体を積層する段階をさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記フッ素を含有する化合物が、樹脂、界面活性剤、またはオイルである、請求項1に記載のモールドシート。
- 前記フッ素を含有する化合物が、ビニル樹脂、(メタ)アクリレート樹脂またはアリル樹脂から誘導された樹脂である、請求項1に記載のモールドシート。
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