JP5105335B2 - 拡散器重力支持体 - Google Patents
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Description
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、1つ以上のガスをプラズマチャンバに供給することに関する。より詳細には、本発明は、チャンバ内においてガス分配プレートを支持することに関する。
[0002]フラットパネルディスプレイは、絶縁体、導体、および薄膜トランジスタ(TFT)のような電子デバイスからなるアクティブマトリックスを用い、テレビモニタ、携帯情報端末(PDA)、およびコンピュータ画面のような様々なデバイスに使用されるフラットスクリーンを製造する。一般的には、これらのフラットパネルディスプレイは、ガラス、高分子材料、またはその他の適切な基板材料からなる2つの薄いパネルから作られる。液晶材料または金属接点のマトリックスからなる層、半導体アクティブ層、および誘電体層は、一連のステップによって堆積され、2つの薄いパネルの間にサンドイッチ状に挟まれ、この2つの薄いパネルは、お互いに結合され、その上に設置された少なくとも1つのフラットパネルディスプレイを有する大面積基板を形成する。パネルの少なくとも一方は、電源に結合される導電膜を含み、この電源は、液晶材料の配向を変化させ、パターン化された表示をスクリーン面上に作成する。
Claims (22)
- プラズマ増強型化学気相堆積装置において、
チャンバ本体と;
前記チャンバ本体内部に配置され、第1の表面、前記第1の表面に対向した第2の表面、貫通して延びる複数のガス通路を有するガス分配シャワーヘッドであって、少なくとも1つのガス通路は、第1の表面で第1の直径を有し、前記第1の直径は、前記第2の表面の前記少なくとも1つのガス通路の第2の直径より小さい、前記ガス分配シャワーヘッドと;
少なくとも1つの貫通した開口を有するバッキングプレートと;
前記少なくとも1つの開口を通って配置され、前記バッキングプレート及び前記ガス分配シャワーヘッドに結合された少なくとも1つの支持部材であって、前記少なくとも1つの支持部材が前記第1の表面と前記バッキングプレートとの間の間隔を調整する為に移動可能である、前記支持部材と;
を備える、前記装置。 - 前記チャンバ本体内に配置され平面の水平方向プロフィールを有する基板支持体を更に備え、前記基板支持体は、前記ガス分配シャワーヘッドに対向して配置され、前記ガス分配シャワーヘッドは、前記基板支持体のプロフィールに対して凹状のプロフィールを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記バッキングプレートを通して配置され、前記ガス分配シャワーヘッドにプロセスガスを供給するガス通路を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、1以上のピボット部材を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、複数の支持部材を備える、請求項1に記載の装置。
- プラズマ増強型化学気相堆積装置において:
チャンバ本体と;
前記チャンバ本体内部に配置され、第1の表面、前記第1の表面に対向した第2の表面、貫通して延びる複数のガス通路を有するガス分配シャワーヘッドであって、少なくとも1つのガス通路は、第1の表面で第1の直径を有し、前記第1の直径は、前記第2の表面の少なくとも1つのガス通路の第2の直径より小さく、前記ガス分配シャワーヘッドは、前記複数のガス通路から分離され区別される前記第1の表面に形成された少なくとも1つのスロットを有する、前記ガス分配シャワーヘッドと;
前記第1の表面で対応したスロットに軸方向で整列される少なくとも1つの貫通した開口を有するバッキングプレートと;
前記少なくとも1つの開口を通って配置され、前記バッキングプレートと前記少なくとも1つのスロットとに結合された少なくとも1つの支持部材であって、前記少なくとも1つの支持部材が、前記第1の表面と前記バッキングプレートとの間の間隔を調節する為に移動可能である、前記支持部材と;
を備える、前記装置。 - 前記少なくとも1つの支持部材は、前記少なくとも1つのスロットと係合するネジを有する雄型の噛み合い部材を備える、請求項6に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、1以上のピボット部材を備える、請求項6に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのスロットは、雌型のネジ付きレセプタクルを備える、請求項6に記載の装置。
- 前記チャンバ本体内に配置され、平面の水平プロフィールを有する基板支持体を更に備え、前記基板支持体は、前記ガス分配シャワーヘッドに対向して配置され、前記ガス分配シャワーヘッドは、前記基板支持体のプロフィールに対して凹状プロフィールを有する、請求項6に記載の装置。
- 前記バッキングプレートを通して配置され、前記ガス分配シャワーヘッドにプロセスガスを供給するガス通路を更に備える、請求項6に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、複数の支持部材を備える、請求項6に記載の装置。
- プラズマ増強型化学気相堆積装置において:
チャンバ本体と;
前記チャンバ本体内部に配置され、第1の表面、前記第1の表面と対向した第2の表面、前記第1の表面と前記第2の表面との間に延びる複数のガス通路を有するガス分配シャワーヘッドと;
少なくとも2つの貫通した開口を有するバッキングプレートと;
前記バッキングプレートの少なくとも1つの開口を通って配置され、前記バッキングプレートと、前記ガス分配シャワーヘッドとに結合された少なくとも1つの支持部材であって、前記少なくとも1つの支持部材が、前記第1の表面と前記バッキングプレートとの間の間隔を調節する為に移動可能である、前記支持部材と;
前記バッキングプレートの第2の開口を通じて前記バッキングプレートと結合された縦方向のブロックであって、貫通内腔を有し、前記縦方向のブロックを通してガスを、前記バッキングプレートと前記ガス分配シャワーヘッドとの間の領域に導入させる、前記縦方向のブロックと;
を備える、前記装置。 - 前記少なくとも1つの支持部材は、1以上のピボット部材を備える、請求項13に記載の装置。
- 前記チャンバ本体内に配置され平面の水平方向プロフィールを有する基板支持体を更に備え、前記基板支持体は、前記ガス分配シャワーヘッドに対向して配置され、前記ガス分配シャワーヘッドは、前記基板支持体のプロフィールに対して凹状のプロフィールを有する、請求項13に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、複数の支持部材を備える、請求項13に記載の装置。
- プラズマ増強型化学気相堆積装置において:
チャンバ本体と;
前記チャンバ本体内部に配置され、第1の表面、前記第1の表面に対向した第2の表面、前記第1の表面と前記第2の表面との間に延びる複数のガス通路を有するガス分配シャワーヘッドであって、前記複数のガス通路から分離され区別される前記第1の表面に形成された少なくとも1つのスロットを有する、前記ガス分配シャワーヘッドと;
前記第1の表面で対応したスロットに軸方向で整列される少なくとも1つの貫通した第1の開口を有するバッキングプレートであって、前記少なくとも1つの第1の開口から分離され区別される少なくとも1つの第2の開口を有する、前記バッキングプレートと;
前記少なくとも1つの第1の開口を通じて配置され、前記バッキングプレートと前記少なくとも1つのスロットとに結合された少なくとも1つの支持部材であって、前記第1の表面と前記バッキングプレートとの間の間隔を調節する為に移動可能である、前記少なくとも1つの支持部材と;
前記少なくとも1つの第2の開口を通じて前記バッキングプレートと結合された縦方向のブロックであって、貫通内腔を有し、前記縦方向のブロックを通してガスを、前記バッキングプレートと前記ガス分配シャワーヘッドとの間の領域に導入させる、前記縦方向のブロックと;
を備える、前記装置。 - 前記少なくとも1つの支持部材は、前記少なくとも1つのスロットに係合するネジを有する雄型の噛み合い部材を備える、請求項17に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、1以上のピボット部材を備える、請求項17に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのスロットは、雌形のネジ付きレセプタクルを備える、請求項17に記載の装置。
- 前記チャンバ本体内に配置され平面の水平方向プロフィールを有する基板支持体を更に備え、前記基板支持体は、前記ガス分配シャワーヘッドに対向して配置され、前記ガス分配シャワーヘッドは、前記基板支持体のプロフィールに対して凹状のプロフィールを有する、請求項17に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの支持部材は、複数の支持部材を備える、請求項17に記載の装置。
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