JP5100597B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態にかかる磁気記録媒体用ガラス基体(以下単に「ガラス基体110」という。)を説明する図であり、図1(a)は磁気記録媒体用ガラス基体の斜視図である。ガラス基体110は、円板形状をしていて、その中心には内孔が形成されている。主表面102は、情報を記録再生するための領域であるため、記録ヘッドが浮上走行するために実質的に平滑になっている。
図2は、ガラス基体が収納されるホルダおよび洗浄槽の概観図である。図2に示すように、ガラス基体110は、ホルダ200に複数枚並べられ、アーム202に吊り下げられた状態で、ホルダ200ごと洗浄液220が供給されている洗浄槽210に浸漬される。そして、洗浄槽210内の洗浄液220の水流と、洗浄槽210の超音波振動装置230による振動によって、ガラス基体110に付着しているパーティクルが除去される。超音波振動装置230は、超音波照射による超音波振動を印加して洗浄を行うことにより、ガラス基体110付着しているパーティクルをより効果的に除去することができる。なお、超音波照射によるガラス基体110の洗浄については、後ほど詳述する。
本実施形態で説明する洗浄工程は、洗浄液220を用いた洗浄槽210で行われる。(文章の追加)5つの洗浄槽210(210a〜210e)は、それぞれ異なる洗浄液220(220a〜220e)を用いて洗浄を行っている。それぞれの洗浄槽210(210a〜210e)には、底部に超音波を照射する超音波振動装置230がそれぞれ設置されている。本実施形態では、洗浄槽210としてまとめて説明する。故に、それぞれの洗浄槽210(210a〜210e)で本実施形態を利用することは可能である。
次に、上記実施形態を適用して洗浄および成膜した磁気記録媒体の実施例と比較例について説明する。実施例1は、上記実施形態のように搬出が完了した後に超音波の照射を停止したものである。比較例1は洗浄の際に超音波を照射しないもの、比較例2は洗浄の際に超音波を照射するが、超音波を停止した後に搬出するものである。
図7は洗浄後のパーティクルの数を比較する図である。洗浄処理の後、ガラス基体110は、超音波を照射しない比較例1に比して、超音波停止後に搬出する比較例2では付着しているパーティクルの数が多くなっている。この理由としては、超音波処理によって大きなパーティクル234が破壊され、微細化したパーティクル234がガラス基体110に再付着したためと考えられる。
102 …主表面
104 …端面
106 …面取面
110 …ガラス基体
112 …付着層
114 …軟磁性層
114a …第1軟磁性層
114b …スペーサ層
114c …第2軟磁性層
116 …前下地層
118 …下地層
118a …第1下地層
118b …第2下地層
120 …非磁性グラニュラー層
122 …磁気記録層
122a …第1磁気記録層
122b …第2磁気記録層
124 …補助記録層
126 …媒体保護層
128 …潤滑層
200 …ホルダ
202 …アーム
210 …洗浄槽
210a …酸洗浄槽
210b …純水洗浄槽
210c …中性洗剤洗浄槽
210d …純水洗浄槽
210e …IPA洗浄槽
220 …洗浄液
220a …酸性溶液
220b …純水
220c …中性洗剤溶液
220d …純水
220e …イソプロピルアルコール
230 …超音波振動装置
232 …超音波振動
234 …パーティクル
Claims (2)
- 垂直磁気記録媒体のガラス基体を洗浄する工程と、
前記基体に少なくとも磁気記録層を成膜する工程とを含み、
前記基体を磁気記録層を成膜する前に洗浄する工程において、
複数の洗浄槽に洗浄液を供給し、前記基体をホルダに複数枚並べた状態で前記複数の洗浄槽の洗浄液に順に浸漬して洗浄を行うタクト方式であって、
複数の洗浄槽において、前記ホルダを洗浄液に浸漬した後に前記洗浄液に浸漬された基体に向かって、超音波振動装置の振動板がキャビテーションによって侵食されない周波数である900KHz〜1000KHzの超音波を発生させ、
前記超音波を発生させた状態で洗浄液からホルダごと取り出し、
前記ホルダを洗浄液から取り出した後に超音波の照射を停止することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 超音波照射時間は搬入から搬出までの間に収まる長さであって、搬入よりも遅い時間から開始し、超音波の照射が終了する時間を搬出より後にすることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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