JP5095991B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体ウエハ上の全面に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキにより、複数の配線を形成する工程と、前記配線上の全面に、前記下地金属層をメッキ電流路とした、前記配線の材料と選択エッチングが可能な金属の電解メッキにより、配線保護金属膜を形成する工程と、前記配線の接続パッド部上の前記配線保護金属膜をエッチングして除去し、前記接続パッド部を露出させる工程と、前記接続パッド部上に、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキにより、外部接続用電極を形成する工程と、前記配線保護金属膜および前記外部接続用電極をマスクとして前記下地金属層をエッチングして、前記配線下にのみ前記下地金属層を残存させる工程と、前記配線上に残存した前記配線保護金属膜をエッチングするエッチング工程と、前記半導体ウエハをダイシングして、複数個の半導体装置を得る工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1又は2に記載の発明において、前記複数の配線を形成する工程は、前記各配線の表面粗さRaが数十Å〜三百Åとなるように形成することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項3に記載の発明において、前記配線は光沢銅メッキ液を用いて形成することを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1から4の何れか一項に記載の発明において、前記下地金属層および前記配線は銅によって形成することを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1から5の何れか一項に記載の発明において、前記配線保護金属膜はニッケルによって形成することを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1から6の何れか一項に記載の発明において、前記配線保護金属膜の膜厚は1μmであることを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項1から7の何れか一項に記載の発明において、前記エッチング工程の後、前記外部接続用電極の周囲に封止膜を形成する工程を有することを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記封止膜を形成した後に、前記外部接続用電極上に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とするものである。
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置は、一般的にはCSPと呼ばれるものであり、シリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面には所定の機能の集積回路(図示せず)が設けられ、上面周辺部にはアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド2が集積回路に接続されて設けられている。
図14はこの発明の第2実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図1に示す半導体装置と異なる点は、配線8の接続パッド部と柱状電極10との間に配線保護金属膜9を設けずに、銅からなる配線8の接続パッド部上面に同じく銅からなる柱状電極10を直接設けた点である。
2 接続パッド
3 絶縁膜
5 保護膜
7 下地金属層
8 配線
9 配線保護金属膜
10 柱状電極
11 封止膜
12 半田ボール
21 半導体ウエハ
Claims (9)
- 半導体ウエハ上の全面に下地金属層を形成する工程と、
前記下地金属層上に、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキにより、複数の配線を形成する工程と、
前記配線上の全面に、前記下地金属層をメッキ電流路とした、前記配線の材料と選択エッチングが可能な金属の電解メッキにより、配線保護金属膜を形成する工程と、
前記配線の接続パッド部上の前記配線保護金属膜上に、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキにより、外部接続用電極を形成する工程と、
前記配線保護金属膜および前記外部接続用電極をマスクとして前記下地金属層をエッチングして、前記配線下にのみ前記下地金属層を残存させる工程と、
前記外部接続用電極をマスクとして前記配線保護金属膜をエッチングして、前記外部接続用電極下にのみ前記配線保護金属膜を残存させるエッチング工程と、
前記半導体ウエハをダイシングして、複数個の半導体装置を得る工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウエハ上の全面に下地金属層を形成する工程と、
前記下地金属層上に、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキにより、複数の配線を形成する工程と、
前記配線上の全面に、前記下地金属層をメッキ電流路とした、前記配線の材料と選択エッチングが可能な金属の電解メッキにより、配線保護金属膜を形成する工程と、
前記配線の接続パッド部上の前記配線保護金属膜をエッチングして除去し、前記接続パッド部を露出させる工程と、
前記接続パッド部上に、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキにより、外部接続用電極を形成する工程と、
前記配線保護金属膜および前記外部接続用電極をマスクとして前記下地金属層をエッチングして、前記配線下にのみ前記下地金属層を残存させる工程と、
前記配線上に残存した前記配線保護金属膜をエッチングするエッチング工程と、
前記半導体ウエハをダイシングして、複数個の半導体装置を得る工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の発明において、前記複数の配線を形成する工程は、前記各配線の表面粗さRaが数十Å〜三百Åとなるように形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項3に記載の発明において、前記配線は光沢銅メッキ液を用いて形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1から4の何れか一項に記載の発明において、前記下地金属層および前記配線は銅によって形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1から5の何れか一項に記載の発明において、前記配線保護金属膜はニッケルによって形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1から6の何れか一項に記載の発明において、前記配線保護金属膜の膜厚は1μmであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1から7の何れか一項に記載の発明において、前記エッチング工程の後、前記外部接続用電極の周囲に封止膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記封止膜を形成した後に、前記外部接続用電極上に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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