JP5092649B2 - 塗布剤の劣化検査装置及び劣化検査方法並びに劣化検査プログラム - Google Patents
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Description
2 制御部
3 ステージ
4 ディスペンサ
5 シリンジ
6 ノズル
7 被塗布部材
8 塗布ステージ
9 検査ステージ
10 塗布剤
11、11a、11b 撮像部
12 処理部
13 記憶部
Claims (3)
- 液状の塗布剤を一定量点状に塗布する塗布手段と、
塗布された前記塗布剤の外観形状を撮像する撮像部と、
検査タイミング毎に、塗布直後及びその後所定の時間間隔で、前記撮像部で撮像して得た複数の画像を記憶する記憶部と、
各々の前記画像から点状に塗布された前記塗布剤の径、面積、高さの少なくとも1つを有する外観特徴量を計測し、前記外観特徴量の経時変化を示すデータを参照し、その変化量が基準となる外観特徴量の経時変化と比較してあらかじめ定めた許容範囲を越えるか否かに基づいて、前記塗布剤の粘性劣化を判定する処理部と、を少なくとも備えることを特徴とする劣化検査装置。 - 点状に塗布された塗布剤の外観形状に基づいて、前記塗布剤の劣化を検査する劣化検査方法であって、
塗布直後から予め決められたタイミングで前記塗布剤を撮像して複数の画像を取得する撮像ステップと、
各々の前記画像から前記塗布剤の径、面積、高さの少なくとも1つを有する外観特徴量を計測し、前記外観特徴量の経時変化を示すデータと基準となる経時変化のデータとの比較結果に基づいて、前記塗布剤の粘性劣化を判定する処理ステップと、を少なくとも有することを特徴とする劣化検査方法。 - 液状の塗布剤を一定量点状に塗布する塗布手段を備える塗布剤塗布装置で動作する劣化検査プログラムであって、
コンピュータを、
検査タイミング毎に、塗布された塗布剤を塗布直後及びその後所定の時間間隔で撮像して得た複数の画像の各々から、前記塗布剤の径、面積、高さの少なくとも1つを有する外観特徴量を計測し、前記外観特徴量の経時変化を示すデータを参照し、その変化量が基準となる外観特徴量の経時変化と比較して予め定めた許容範囲を越えるか否かに基づいて、前記塗布剤の粘性劣化を判定する処理部、として機能させることを特徴とする劣化検査プログラム。
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