JP5084400B2 - 波形分離方法 - Google Patents
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Description
そこで、測定されたエネルギースペクトルの各ピークを分離して元素の定性・定量分析を行っている。
法を提供することを目的とする。
(Ti)とα´(Ti)からTiの分析情報変化率rTi(=α´(Ti)/α(Ti))と、β(N)とβ´(N)からNの分析情報変化率rN(=β´(N)/β(N))とを算出する。
該表示装置は図7に示すようにエネルギー380eV付近にTi-LMMピークPTi、N-KLLピークPNを有するチタン(Ti)のエネルギースペクトルGTiと窒素(N)のエネルギースペクトルGNをそれぞれ分離して表示する(S307)。
該表示装置は図7に示すようにエネルギー380eV付近にTi-LMMピークPTi、N-KLLピークPNを有する。チタン(Ti)のエネルギースペクトルGTiと窒素(N)のエネルギースペクトルGNをそれぞれ分離して表示する(S307)。
但し、該X線光電子分光分析装置の場合、分析情報変化率は照射X線のエネルギーに応じて変化する元素のイオン化断面積のデータを用いる。
2…集束レンズ
3…対物レンズ
4…電子線
5…試料
6X…X方向偏向器
6Y…Y方向偏向器
7…試料ステージ
8…制御装置
9…電源制御装置
9A…電子銃用電源
9B…集束レンズ用電源
9C…偏向器用電源
9D…対物レンズ用電源
11…オージェ電子分光器
12A…増幅器
12B…微分演算装置
13…AD変換器
14…記憶装置
15…表示装置
16…入力装置
17…エネルギースペクトル
18、19…標準スペクトル
21…設定手段
22…分析情報変化率算出手段
23…波形分離処理手段
Claims (5)
- 分析すべき試料に一次粒子線を照射することにより該試料から発生した二次粒子に基づいて該試料に関するエネルギースペクトル信号を得て該スペクトルを表示手段に表示するようにしたエネルギースペクトル測定方法において、前記一次粒子線を少なくとも二つの異なる一次粒子エネルギーで夫々前記試料に照射し、該各照射により得られた各一次粒子エネルギーに対するエネルギースペクトル信号を記憶手段に記憶し、前記試料を成す各元素のエネルギースペクトルのピーク強度の一次粒子エネルギー変化に応じた変化率を分析情報変化率として求め、前記記憶手段に記憶された各一次粒子エネルギーに対するエネルギースペクトル信号と前記求めた試料を成す各元素の分析情報変化率とから前記試料を成す各元素のエネルギースペクトルのピーク強度を分離するように成したエネルギースペクトル測定方法。
- (一次粒子エネルギー/結合エネルギー)に対するイオン化断面積の関係データから各一次粒子エネルギーに対する前記試料を成す各元素のエネルギースペクトルピークのイオン化断面積を求め、同一元素の異なる一次粒子エネルギーにおける各イオン化断面積の比に基づいて該元素の前記分析情報変化率を算出するようにした請求項1記載のエネルギースペクトル測定方法。
- 分析すべき試料に一次粒子線を照射することにより該試料から発生した二次粒子に基づいて該試料に関するエネルギースペクトル信号を得て該スペクトルを表示手段に表示するようにしたエネルギースペクトル測定方法において、前記一次粒子線の一次粒子エネルギーを少なくとも一回変えて前記試料に照射し、該各照射により得られた各一次粒子エネルギーに対するエネルギースペクトル信号を記憶手段に記憶し、前記一次粒子エネルギーで加速した一次粒子線で標準試料に照射して得た標準試料元素のエネルギースペクトルのピーク強度を基準として各一次粒子エネルギーに対する前記分析すべき試料を成す各元素の相対感度係数を求め、該求めた相対感度係数から各一次粒子エネルギーに対する前記分析すべき試料を成す各元素の分析情報変化率を算出し、前記記憶手段に記憶された各一次粒子エネルギーに対するエネルギースペクトル信号と前記算出した試料を成す各元素の分析情報変化率とから前記試料を成す各元素のエネルギースペクトル信号を算出し、該試料を成す各元素のエネルギースペクトルを表示装置に表示するように成したエネルギースペクトル測定方法。
- 前記分析すべき試料に照射する一次粒子線は電子である請求項1若しくは3記載のエネルギースペクトル測定方法。
- 前記分析すべき試料に照射する一次粒子線はX線である請求項1若しくは3記載のエネルギースペクトル測定方法。
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