JP5083259B2 - 導電材料の充填装置およびそれを用いた充填方法 - Google Patents
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Description
11 シート材
H ビア穴(底付ビア)
20 ワーク保持機構部
21 充填ベース
22 ワーク加熱ヒータ
30 充填ヘッド
31 充填スキージホルダ
32 プッシャ
33 充填スキージ
40 (固体状態にある)導電材料、(スティック導電材料)
40a (融解した)導電材料
50充填ヘッド送り機構部
Claims (17)
- 室温より高い所定の温度で融解する導電材料をシート材の表面に設けられたビア穴に充填する導電材料の充填装置であって、
前記シート材を保持するための充填ベースと、該充填ベースに保持されたシート材の表面に供給される前記導電材料を前記所定の温度以上に加熱可能なワーク加熱ヒータとを備えるワーク保持機構部と、
前記導電材料を前記充填ベースに保持されたシート材の表面に供給し、該導電材料を前記ビア穴に充填する充填ヘッドと、
前記充填ヘッドを前記シート材の表面に対して水平方向および垂直方向に移動させる充填ヘッド送り機構部とを有してなり、
前記充填ヘッドが、
前記シート材の表面に接触し、該シート材の表面に供給された前記導電材料を前記ビア穴に擦り込む充填スキージを端面に備え、
前記シート材の表面に対して水平方向に遥動可能であり、
内部に室温で固体状態の前記導電材料を保持し、該固体状態の導電材料を前記シート材の表面に対して垂直方向に移動するプッシャを備えた、
充填スキージホルダを有してなることを特徴とする導電材料の充填装置。 - 前記充填ベースの内部に、前記ワーク加熱ヒータが取り付けられ、
前記シート材を保持する前記充填ベースの上面の縁部に、吸着溝が設けられてなることを特徴とする請求項1に記載の導電材料の充填装置。 - 内部において冷却用の水が循環可能な待機ベースが、前記充填ベースに隣接して、該充填ベースと上面を揃えるように配置されてなることを特徴とする請求項1または2に記載の導電材料の充填装置。
- 前記充填ヘッドが、
前記充填ベースに保持されたシート材の表面に対向するケースプレートと、
パッキンを端面に備え、前記シート材の表面に接触して前記ケースプレートとともに真空引き可能な密閉空間を構成するケース側壁とを有してなり、
前記充填スキージホルダが、前記密閉空間の内部に配置されてなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の導電材料の充填装置。 - 前記充填ヘッドが、
前記充填ベースに保持されたシート材の表面に対して垂直方向に移動可能であり、先端にスキージを備えるスキージホルダを有してなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の導電材料の充填装置。 - 前記充填ヘッド送り機構部が、
前記充填ベースを水平に保持するベースプレートに固定されたスライドガイドと、該スライドガイドに嵌合するスライド部を備えたスライドブロックと、
前記スライドブロックに固定されたガイドシャフトと、該ガイドシャフトに嵌合する昇降ブロックと、
前記昇降ブロックに固定された昇降プレートとを有してなり、
前記充填ヘッドが、前記昇降プレートに固定されてなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の導電材料の充填装置。 - 前記シート材が、多層回路基板の製造に用いられるシート材であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の導電材料の充填装置。
- 前記導電材料が、
金属フィラーと、該金属フィラーの焼結温度より低い温度で融解し、室温で固体状態である低融点固体分散剤との混合物からなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の導電材料の充填装置。 - 前記低融点固体分散剤の融点が、100℃以下であることを特徴とする請求項8に記載の導電材料の充填装置。
- 室温より高い所定の温度で融解する導電材料をシート材の表面に設けられたビア穴に充填する導電材料の充填装置であって、
前記シート材を保持するための充填ベースと、該充填ベースに保持されたシート材の表面に供給される前記導電材料を前記所定の温度以上に加熱可能なワーク加熱ヒータとを備えるワーク保持機構部と、
前記導電材料を前記充填ベースに保持されたシート材の表面に供給し、該導電材料を前記ビア穴に充填する充填ヘッドと、
前記充填ヘッドを前記シート材の表面に対して水平方向および垂直方向に移動させる充填ヘッド送り機構部とを有してなり、
前記充填ヘッドが、
前記シート材の表面に接触し、該シート材の表面に供給された前記導電材料を前記ビア穴に擦り込む充填スキージを端面に備え、
前記シート材の表面に対して水平方向に遥動可能であり、
内部に室温で固体状態の前記導電材料を保持し、該固体状態の導電材料を前記シート材の表面に対して垂直方向に移動するプッシャを備えた、充填スキージホルダを有してなる導電材料の充填装置を用いた充填方法であって、
前記充填ベースに前記シート材を保持し、前記ワーク加熱ヒータによりシート材の表面を前記所定の温度以上に加熱するシート材加熱工程と、
前記シート材加熱工程の後、前記充填ヘッド送り機構部により前記充填ヘッドを前記シート材の充填開始位置に移動する充填ヘッド移動工程と、
前記充填ヘッド移動工程の後、前記充填スキージホルダの内部に保持されている前記導電材料を前記プッシャにより前記シート材の表面に押し付けて、該導電材料を融解する導電材料供給工程と、
前記充填ヘッド送り機構部により前記充填ヘッドを前記シート材の表面に対して水平方向に移動させながら、シート材の表面で融解した前記導電材料を前記充填スキージにより前記ビア穴に擦り込む導電材料充填工程とを有してなることを特徴とする導電材料の充填方法。 - 前記充填ヘッドが、前記充填ベースに保持されたシート材の表面に対向するケースプレートと、パッキンを端面に備え、前記シート材の表面に接触して前記ケースプレートとともに真空引き可能な密閉空間を構成するケース側壁とを有してなり、前記充填スキージホルダが、前記密閉空間の内部に配置されてなる充填ヘッドであり、
前記導電材料供給工程と前記導電材料充填工程において、前記密閉空間を真空引きすることを特徴とする請求項10に記載の導電材料の充填方法。 - 前記導電材料充填工程の後、前記密閉空間の真空を開放することを特徴とする請求項11に記載の導電材料の充填方法。
- 前記充填ヘッドが、前記充填ベースに保持されたシート材の表面に対して垂直方向に移動可能であり、先端にスキージを備えるスキージホルダを有してなる充填ヘッドであり、
前記導電材料充填工程の後、前記スキージを前記シート材の表面に接触させた状態で、前記充填ヘッド送り機構部により前記充填ヘッドをシート材の表面に対して水平方向に移動させながら、シート材の表面に残っている余剰の前記導電材料を掻き取り除去する余剰導電材料除去工程を有してなることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか一項に記載の導電材料の充填方法。 - 前記充填装置が、内部において冷却用の水が循環可能な待機ベースが、前記充填ベースに隣接して、該充填ベースと上面を揃えるように配置されてなる充填装置であり、
前記導電材料充填工程の後、前記充填ヘッド送り機構部により前記充填ヘッドを前記待機ベースに移動し、前記充填スキージホルダの内部に保持されている前記導電材料を冷却する導電材料冷却工程を有してなることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか一項に記載の導電材料の充填方法。 - 前記シート材が、多層回路基板の製造に用いられるシート材であることを特徴とする請求項10乃至14のいずれか一項に記載の導電材料の充填方法。
- 前記導電材料が、
金属フィラーと、該金属フィラーの焼結温度より低い温度で融解し、室温で固体状態である低融点固体分散剤との混合物からなることを特徴とする請求項10乃至15のいずれか一項に記載の導電材料の充填方法。 - 前記低融点固体分散剤の融点が、100℃以下であることを特徴とする請求項16に記載の導電材料の充填方法。
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