JP5076701B2 - Transport system, vehicle allocation management device and method, and computer program - Google Patents

Transport system, vehicle allocation management device and method, and computer program Download PDF

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Description

本発明は、例えば、半導体装置製造用の各種基板などの被搬送物をビークル等の搬送車で搬送可能な搬送システムに関し、特に搬送車の配車位置或いは待機位置を調整可能な搬送システムの技術分野に関する。本発明は更に、このような搬送システムに含まれる配車管理装置及び方法、並びにコンピュータをこのような装置として機能させるコンピュータプログラムの技術分野に関する。   The present invention relates to a transport system capable of transporting an object to be transported, such as various substrates for manufacturing a semiconductor device, using a transport vehicle such as a vehicle. About. The present invention further relates to a vehicle allocation management apparatus and method included in such a transport system, and a technical field of a computer program that causes a computer to function as such an apparatus.

この種の搬送システムでは、例えば、複数の作業装置から一つの製造ラインが構成されており、複数の製造ラインに対応して複数の搬送ラインが設けられ、更に複数の搬送ラインの相互間にも、搬送手段が設けられる。これらにより、搬送車が各製造ライン内のみならず、複数の製造ラインの相互間でも移動可能となる。例えば、特許文献１には、製造工程における一つの搬送を終了した搬送車が所定の待機位置に戻る時間と、搬送先で被搬送物を移載する時間とから、搬送車が走行する搬送手段の各々の移動所要時間を算出する搬送システムが開示されている。この算出された移動所要時間に基づいて、搬送車において、他の搬送手段での利用率が向上すると判定された場合に、搬送車の待機位置が、所定の待機位置から、他の搬送ラインに設定される待機位置に変更される。このように、各搬送ラインにおける搬送車の利用率に基づいて、配車が行われることで、搬送車の稼働率が向上し、全製造工程の搬送時間が短くなるとされている。   In this type of conveyance system, for example, a single production line is configured from a plurality of work devices, a plurality of conveyance lines are provided corresponding to the plurality of production lines, and also between the plurality of conveyance lines. A conveying means is provided. As a result, the transport vehicle can move not only within each production line but also between a plurality of production lines. For example, Patent Document 1 discloses a transport unit in which a transport vehicle travels from a time when a transport vehicle that has completed one transport in a manufacturing process returns to a predetermined standby position and a time when a transported object is transferred at a transport destination. A transport system for calculating the time required for each of the above is disclosed. Based on the calculated travel time, when it is determined that the utilization rate of the other transport means is improved in the transport vehicle, the standby position of the transport vehicle is changed from the predetermined standby position to another transport line. The standby position is changed. Thus, it is supposed that the dispatching is performed based on the utilization rate of the transport vehicle in each transport line, thereby improving the operation rate of the transport vehicle and shortening the transport time of the entire manufacturing process.

特開平６−１６８０２５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 6-168025

しかしながら、上述の背景技術によれば、個々の搬送を終えた後に、待機位置に向かう搬送車の走行は、効率化されるが、複数の搬送ラインの各々で発生する搬送量に対応しておらず、個々の搬送を開始する前の効率化は図られていない。実際に、各種製造ラインで要求される搬送量は、一定時間毎に平均化されたものではなく、不定期且つ短時間に大量に要求される。このため、搬送が集中する時間帯では、或る製造ラインでは搬送車が不足して、全ての搬送量が連続して処理されず、ある程度の搬送が終了するのを待って残りの搬送が再開されるために、結果として搬送時間が延びてしまうという技術的問題点がある。   However, according to the background art described above, the traveling of the transport vehicle toward the standby position after the completion of each transport is made more efficient, but it does not correspond to the transport amount generated in each of the plurality of transport lines. In addition, the efficiency before starting individual conveyance is not achieved. Actually, the conveyance amount required in various production lines is not averaged every fixed time, but is required in large quantities in irregular and short time. For this reason, in a time zone when transportation is concentrated, there is a shortage of transportation vehicles on a certain production line, and all the transportation amounts are not processed continuously, and the remaining transportation is resumed after a certain amount of transportation is completed. As a result, there is a technical problem that the transport time is extended as a result.

本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、例えば、搬送車の配車位置を適切に調整可能な搬送システム、該搬送システムを構成する配車管理装置及び方法、並びにコンピュータをこのような配車管理装置として機能させるコンピュータプログラムを提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems. For example, a transport system capable of appropriately adjusting a dispatch position of a transport vehicle, a dispatch management apparatus and method constituting the transport system, and a computer are provided. It is an object to provide a computer program that functions as a vehicle allocation management device.

本発明に係る搬送システムは上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送する搬送システムであって、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段と、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段とを備える。   In order to solve the above-described problem, the transport system according to the present invention includes an interior of each of a plurality of sets each including one or a plurality of work devices that perform various types of processing on the object to be transported, and the plurality of sets. A transport system for transporting the transported object between the plurality of transport vehicles, each of which is capable of mounting the transported object and movable, and the transport vehicle between the interior and the mutual. A moving means for moving, a scheduled number specifying means for specifying the number of the plurality of transport vehicles scheduled to be transported in each of the interiors at one time or in the future, and the specification Control means for controlling the moving means so as to move the plurality of transport vehicles between the prior to the temporary point or time based on the number.

本発明の搬送システムによれば、例えば半導体装置製造の工場内において、複数の集合の各々の内部及び複数の集合の相互間で、被搬送物が搬送される。ここに「複数の集合」は夫々、例えば半導体基板等の被搬送物に対して、成膜処理、熱処理、エッチング処理等の各種処理を施す、一又は複数の半導体製造装置などの作業装置を含んで構成される。この「集合」は、例えば「モジュール」と呼ばれる搬送システムにおける搬送を制御管理するための単位に対応する、一つの製造ラインに相当する。   According to the transfer system of the present invention, for example, in a factory for manufacturing a semiconductor device, an object to be transferred is transferred inside each of the plurality of sets and between the plurality of sets. Here, the “plurality of sets” includes, for example, one or a plurality of work apparatuses such as semiconductor manufacturing apparatuses that perform various processes such as a film forming process, a heat treatment, and an etching process on a transferred object such as a semiconductor substrate. Consists of. This “aggregate” corresponds to one production line corresponding to a unit for controlling and managing conveyance in a conveyance system called “module”, for example.

その動作時には、例えばビークル等の搬送車は、例えばビークルの推進装置、レールなどを含んでなる移動手段によって、被搬送物が搭載された又はされない状態で、上述した複数の集合の内部及び相互間で移動される。即ち、例えば同一の製造ライン内で或いは異なる製造ライン間で移動される。即ち、ここでの搬送は、工程内搬送及び工程間搬送の両者を含んでよい。搬送の管理単位は、一般に「モジュール」と称され、上述した本発明に係る「集合」がモジュールに対応するが、集合の相互間に位置しており作業装置を何ら含まない搬送路を、一つのモジュールとして扱ってもよい。更に、当該搬送システムにおいては、搬送車による搬送に加えて、例えばストッカなどの搬送車以外の搬送手段によって被搬送物が搬送されてよい。   During the operation, for example, a vehicle such as a vehicle is moved inside and between the plurality of sets described above with or without the object to be conveyed mounted thereon by a moving means including a vehicle propulsion device, a rail, and the like. It is moved with. That is, for example, it is moved within the same production line or between different production lines. That is, the conveyance here may include both in-process conveyance and inter-process conveyance. The transport management unit is generally referred to as a “module”, and the “aggregate” according to the present invention described above corresponds to the module, but a transport path that is located between the aggregates and does not include any work device is defined as one unit. It may be treated as one module. Furthermore, in the said conveyance system, in addition to the conveyance by a conveyance vehicle, a to-be-conveyed object may be conveyed by conveyance means other than conveyance vehicles, such as a stocker, for example.

このような動作中、即ち搬送中に、プロセッサ、メモリ等を備えてなる予定台数特定手段によって、複数の集合の内部の各々で、要求される予定の搬送車の台数が特定される。特にここで「要求される予定の搬送車の台数」は、将来の一時点又は時期において、複数の集合の内部の各々で、要求される予定の台数であり、この際「集合の内部で要求される」は、同一集合の内部から内部へ搬送するために要求される場合と、一の集合の内部から他の集合へ搬送するために要求される場合との両者を含む。また「特定する」は、算出する、集計する、推定する、予想する、予定台数に係るデータを取得するなど、何らかの方法で、予定の台数を予め決めるという意味である。例えば、搬送ライン別に、現在実行中の搬送動作が完了した後における、将来的な要求台数が集計される。このような特定は、例えば１０分間など予め設定された単位時間毎である固定の期間毎又は可変の期間毎等の、所定期間毎に実行されてもよい。   During such operation, that is, during transportation, the number of transportation vehicles to be requested is identified in each of the plurality of sets by the planned number identification means including a processor, a memory, and the like. In particular, the “number of transport vehicles scheduled to be requested” here is the number of schedules required in each of a plurality of sets at a certain time or point in the future. “Do” includes both the case where it is required to carry from the inside of the same set to the inside and the case where it is required to carry from the inside of one set to another set. Further, “specify” means that the planned number is determined in advance by some method, such as calculating, counting, estimating, predicting, and acquiring data related to the planned number. For example, the number of future requests after the completion of the currently running transport operation is tabulated for each transport line. Such specification may be performed at predetermined intervals such as every fixed period or every variable period that is a preset unit time such as 10 minutes.

すると、例えばコントローラ等を備えてなる制御手段の制御下で、例えば集計された要求台数の搬送ライン別の相対比率に基づいてなど、特定された台数に基づいて、複数の搬送車が、移動手段によって複数の集合の相互間で移動させられる。典型的には相対的に配車台数或いは待機台数が多く且つ要求台数が少ない搬送ラインから、相対的に配車台数或いは待機台数が少なく且つ要求台数が多い搬送ラインへと、搬送車が移動されることになる。複数の集合間で搬送すべき量に見合わない搬送車の集中や、局所的な不足は、効果的に回避される。しかも、ここでの移動は、上述した一時点又は時期に先立って行われるので、搬送手段の全体に亘って、搬送車の配車位置或いは待機位置が極めて効率的に調整されることになる。よって、いずれの時点においても搬送作業が開始される時点では既に、搬送車の配車位置或いは待機位置が、搬送システム全体として搬送作業に適した状態に調整されているので、効率的に搬送を実行可能となる。従って、限定された数の搬送車を有効利用でき、言い換えれば、搬送システムに設ける搬送車の総数を不必要に増大させないで済み、同一のパーフォーマンスを求める上でのコストを低減でき、経済的には極めて有利となる。   Then, under the control of the control means including a controller, for example, based on the specified number of transport vehicles, for example, based on the relative ratio of the total number of requested numbers for each transport line, Can be moved between sets. Typically, a transport vehicle is moved from a transport line with a relatively large number of dispatched vehicles or standby units and a low required number to a transport line with a relatively small number of dispatched vehicles or standby units and a large number of required units. become. Concentration of transport vehicles and local shortages that do not match the amount to be transported between a plurality of sets are effectively avoided. In addition, since the movement here is performed prior to the above-described temporary point or time, the allocation position or the standby position of the transport vehicle is adjusted very efficiently over the entire transport means. Therefore, at any point in time when the transfer operation is started, the allocation position or the standby position of the transfer vehicle is already adjusted to a state suitable for the transfer operation as the entire transfer system, so that the transfer is efficiently performed. It becomes possible. Therefore, a limited number of transport vehicles can be used effectively, in other words, the total number of transport vehicles provided in the transport system need not be increased unnecessarily, and the cost for obtaining the same performance can be reduced. Is extremely advantageous.

以上詳細に説明したように本発明の搬送システムによれば、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。この結果として、搬送車の稼働率が向上し、搬送車の配車を効率的に管理することができる。   As described above in detail, according to the transport system of the present invention, the number of dispatches is adjusted among a plurality of sets prior to the actual transport work, so that an increase in transport time due to a shortage of transport vehicles is suppressed. , Transport time through the whole work can be shortened and stabilized. As a result, the operation rate of the transport vehicle is improved, and the allocation of the transport vehicle can be managed efficiently.

本発明に係る搬送システムの一態様では、前記予定台数特定手段は、前記一時点又は時期として、現在実行中又は現在要求されている前記被搬送物の搬送の少なくとも一部が終了した以降における時点又は時期において前記要求される予定の台数を特定する。   In one aspect of the transport system according to the present invention, the scheduled number specifying means is a point in time after at least part of the transport of the transported object currently being executed or currently requested is completed as the temporary point or time. Alternatively, the required number of vehicles to be requested at the time is specified.

この態様によれば、予定の台数は、現在実行中又は現在要求されている搬送の少なくとも一部が終了した以降における将来の時点又は時期において要求される予定の台数である。このような予定の台数が特定されるので、より将来を見据えた効率的な配車位置の調整が、実施可能となる。仮に、現在実行中又は現在要求されている台数に従って配車位置を調整したのでは、特定の集合への搬送車の集中や特定の集合における搬送車の不足が発生しやすくなる。しかるに、本態様の如く予定の台数を特定した上で、これに基づいて搬送車を移動させれば、このような集中や不足が発生するのを極めて効率的に回避できる。   According to this aspect, the planned number is a planned number that is requested at a future point in time or timing after at least a part of the currently-executed or currently requested conveyance is completed. Since such a planned number of vehicles is specified, it is possible to carry out efficient adjustment of the dispatch position with a view to the future. If the dispatch position is adjusted according to the number currently being executed or currently requested, the concentration of the transport vehicles in a specific set and the shortage of transport vehicles in the specific set are likely to occur. However, if the planned number is specified as in the present embodiment and the transport vehicle is moved based on the specified number, the occurrence of such concentration and shortage can be avoided very efficiently.

本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記制御手段は、前記複数の搬送車のうち、前記被搬送物の搬送を行っていない一又は複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する。   In another aspect of the transport system according to the present invention, the control means moves one or a plurality of transport vehicles that are not transporting the object to be transported among the plurality of transport vehicles. , Controlling the moving means.

この態様によれば、制御手段による制御下で、例えば予定の台数を特定している現在において又は将来の一時点又は時期において被搬送物の搬送を行っていない搬送車が、相互間で移動される。このため、空荷の搬送車が不足している集合へと、極めて効率的に空荷の搬送車を回すことができ、他方で、空荷の搬送車が余っている集合から、極めて効率的に空荷の搬送車を回すことができる。   According to this aspect, under the control of the control means, for example, the transport vehicles that are not transporting the object to be transported at the present time specifying the planned number or at a future time point or time are moved between each other. The For this reason, it is possible to turn an empty load transport vehicle very efficiently to a set where there is a shortage of empty load transport vehicles. It is possible to turn empty carts to

本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記制御手段は、前記特定された台数の前記集合別の相対比率に基づいて制御する。   In another aspect of the transport system according to the present invention, the control means controls based on the relative ratio of the specified number of sets by the set.

この態様によれば、制御手段による制御下で、特定された台数の集合別の相対比率に基づいて、複数の搬送車が、移動手段によって複数の集合の相互間で移動させられる。ここに「相対比率」とは、例えば全台数に対する各集合において要求されている台数の割合である。従って、総数が限られているという制約の下で、仮に各集合において要求されている台数がそのまま配車されなくても、要求の度合に応じた配車が可能となる。よって、搬送システム全体としては、総数が限られているという制約の下での最大効率に近い配車が可能となる。   According to this aspect, under the control of the control means, the plurality of transport vehicles are moved between the plurality of sets by the moving means based on the relative ratio of the specified number of sets. Here, the “relative ratio” is, for example, the ratio of the number of units required in each set to the total number. Therefore, under the constraint that the total number is limited, even if the number of vehicles requested in each set is not dispatched as it is, the vehicle can be allocated according to the degree of request. Therefore, the entire transport system can be assigned a vehicle with a maximum efficiency under the restriction that the total number is limited.

この態様では、前記制御手段は、前記集合別の相対比率に基づいて前記特定された台数を補正し、該補正された台数に基づいて制御してもよい。   In this aspect, the control means may correct the specified number based on the relative ratio for each set, and control based on the corrected number.

このように構成すれば、制御手段による制御下で、先ず、集合別の相対比率に基づいて特定された台数が補正される。例えば、集合別に予め設定された搬送車の台数を基本として、搬送車の不足数及び過剰数が、補正値として、夫々「＋」或いは「−」の数で示される。続いて、このように補正された台数に基づいて、複数の搬送車が、移動手段によって複数の集合の相互間で移動させられる。よって、例えば、搬送すべき搬送量に対し、現在の配車数が多い場合に、過剰な数の搬送車が、現在配車されている集合から、他の集合に移動される。一方、現在の配車数が少ない場合に、不足している数の搬送車が、他の集合から移動される。このように、台数の補正という比較的簡単な演算処理を利用して、配車位置或いは待機位置の調整を確実且つ迅速に実行可能となる。   If comprised in this way, first, the number specified based on the relative ratio according to a group will be amended under control by a control means. For example, on the basis of the number of transport vehicles set in advance for each set, the shortage number and excess number of transport vehicles are indicated by the numbers of “+” or “−”, respectively, as correction values. Subsequently, based on the number corrected in this way, the plurality of transport vehicles are moved between the plurality of sets by the moving means. Therefore, for example, when the current number of dispatches is larger than the transport amount to be transported, an excessive number of transport vehicles is moved from the currently dispatched set to another set. On the other hand, when the current number of dispatches is small, the shortage of transport vehicles is moved from another set. In this way, the adjustment of the vehicle allocation position or the standby position can be executed reliably and promptly by using a relatively simple calculation process of correcting the number of vehicles.

本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記予定台数特定手段は、前記要求される予定の台数として、所定時間毎に要求される台数を特定する。   In another aspect of the transport system according to the present invention, the planned number specifying means specifies the number required every predetermined time as the required number of required.

この態様によれば、所定時間毎に要求される台数が、特定される。例えば１０分間など予め設定された単位時間毎である固定の期間毎又は可変の期間毎等に要求される台数が、特定される。或いは、例えば１０分後など予め設定された単位時間後である固定の期間後又は可変の期間後等の、現在を基準とする所定期間後についての特定が、より頻繁に（例えば、１分間毎に）行われてもよい。また、特定を実行する頻度としては、上述の所定時間と同じ間隔で行われてもよいし、上述の所定時間よりも長い間隔でまとめて行われてもよいし、上述の所定時間よりも短い間隔で繰り返し行われてもよい。   According to this aspect, the number required for every predetermined time is specified. For example, the number of units required for each fixed period, such as 10 minutes, or for each variable period is specified. Alternatively, the specification after a predetermined period based on the present time, such as after a fixed period or a variable period after a preset unit time such as 10 minutes, is more frequently performed (for example, every minute) To). Further, the frequency of executing the identification may be performed at the same interval as the above-mentioned predetermined time, may be collectively performed at an interval longer than the above-mentioned predetermined time, or shorter than the above-mentioned predetermined time. It may be repeated at intervals.

本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記予定台数特定手段は、前記複数の作業装置で実行される作業に係るスケジュールに従って、前記要求される予定の台数を特定する。   In another aspect of the transport system according to the present invention, the scheduled number specifying means specifies the required number of required numbers according to a schedule related to work performed by the plurality of work devices.

この態様によれば、例えば、どの被搬送物に対して、どの作業装置の処理を、いつ行うのかを単位時間毎に示すスケジュール（或いはスケジュールデータ）に従って、要求される予定の台数が特定される。よって、実際の搬送が開始されるよりも相当以前に、予定台数の特定が可能となり、時間的な余裕を持って、搬送車を配車すること或いはその準備をすることが可能となる。   According to this aspect, for example, the required number of units to be requested is specified in accordance with a schedule (or schedule data) indicating, for each unit time, which work device is to be processed for which to-be-conveyed object. . Therefore, it is possible to specify the planned number considerably before the actual conveyance is started, and it is possible to dispatch the transport vehicle or to prepare it with sufficient time.

本発明に係る配車管理装置は上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理装置であって、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段とを備える。   In order to solve the above-described problem, a vehicle allocation management device according to the present invention includes an interior of each of a plurality of sets each including one or a plurality of work devices that perform various types of processing on a conveyed object, and the plurality of the plurality of work devices. In order to transport the transported objects between the sets, the transported objects can be mounted and moved, and the transported vehicle is moved between the interior and the mutual. In the transport system comprising a moving means, a dispatch management device for managing dispatch of the transport vehicle, which is required for transporting the transported object at each of the interiors at a future point in time or time Based on the scheduled number specifying means for specifying the number of the plurality of scheduled transport vehicles, and based on the specified number, the plurality of transport vehicles are moved between the prior to the temporary point or time, The moving hand And control means for controlling the.

本発明の配車管理装置によれば、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。   According to the dispatch management device of the present invention, the number of dispatches is adjusted among a plurality of sets prior to the actual transport work, as in the case of the transport system according to the present invention described above. Therefore, it is possible to suppress the extension of the transport time, and to shorten and stabilize the transport time throughout the entire work.

尚、本発明の配車管理装置においても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。   Note that the vehicle allocation management device of the present invention can also adopt various aspects similar to the various aspects of the above-described transport system of the present invention.

本発明に係る配車管理方法は上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理方法であって、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定工程と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御工程とを備える。   In order to solve the above-described problem, a vehicle allocation management method according to the present invention includes an interior of each of a plurality of sets each including one or a plurality of work devices that perform various processes on a transported object, and the plurality of the plurality of work devices. In order to transport the transported objects between the sets, the transported objects can be mounted and moved, and the transported vehicle is moved between the interior and the mutual. In the transport system comprising a moving means, a dispatch management method for managing dispatch of the transport vehicle, which is required for transporting the transported object at each of the interiors at a future point in time or time Based on the planned number specifying step of specifying the number of the plurality of transport vehicles scheduled, and based on the specified number, the plurality of transport vehicles are moved between the prior to the temporary point or time, The moving hand And a control step of controlling.

本発明の配車管理方法によれば、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。   According to the dispatch management method of the present invention, the number of dispatches is adjusted among a plurality of sets prior to the actual transport work, as in the case of the transport system according to the present invention described above, and this is caused by a shortage of transport vehicles. Therefore, it is possible to suppress the extension of the transport time, and to shorten and stabilize the transport time throughout the entire work.

尚、本発明の配車管理方法においても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。   In the vehicle allocation management method of the present invention, it is possible to adopt various aspects similar to the various aspects of the above-described transport system of the present invention.

本発明に係るコンピュータプログラムは上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムに備えられるコンピュータを、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段として機能させる。   In order to solve the above problems, a computer program according to the present invention includes an interior of each of a plurality of sets each including one or a plurality of work devices that perform various types of processing on a conveyed object, and the plurality of sets. In order to transport the transported object between the plurality of transported vehicles, the transported vehicle can be mounted on each of the transported vehicles, and the transported vehicle can move between the interior and the mutual. A number of the plurality of transport vehicles scheduled to be transported in each of the interiors at a certain time or time in the future. Scheduled number specifying means and control means for controlling the moving means so as to move the plurality of transport vehicles between the prior to the temporary point or time based on the specified number To to function.

本実施形態のコンピュータプログラムによれば、当該コンピュータプログラムを格納するＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体から、当該コンピュータプログラムを、搬送システムに備えられたコンピュータに読み込んで実行させれば、或いは、当該コンピュータプログラムを通信手段を介してダウンロードさせた後に実行させれば、上述した本発明に係る搬送システム或いは配車管理装置を比較的簡単に構築できる。これにより、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。   According to the computer program of the present embodiment, if the computer program is read from a recording medium such as a CD-ROM or DVD-ROM storing the computer program and read by a computer provided in the transport system, or If the computer program is executed after being downloaded through the communication means, the above-described transport system or vehicle allocation management device according to the present invention can be constructed relatively easily. As a result, as in the case of the transfer system according to the present invention described above, since the number of dispatches is adjusted among a plurality of sets prior to the actual transfer operation, extension of the transfer time due to the shortage of the transfer vehicle is suppressed. Thus, the conveyance time throughout the entire work can be shortened and stabilized.

尚、本発明のコンピュータプログラムにおいても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。   It should be noted that the computer program of the present invention can also adopt various aspects similar to the various aspects of the transport system of the present invention described above.

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。   The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

先ず、本実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送システムを含む製造システムのブロック図であり、図２は、図１の搬送システムの搬送路を製造装置と共に示す概略平面図である。   First, the configuration of the transport system according to the present embodiment will be described. FIG. 1 is a block diagram of a manufacturing system including a transfer system according to the present embodiment, and FIG. 2 is a schematic plan view showing a transfer path of the transfer system of FIG. 1 together with a manufacturing apparatus.

図１及び図２において、本実施形態に係る搬送システム１００は、製造システム２００に組み込まれており、ビークル２、製造指示部４、ＣＰＵ１０及び移動装置１１を備える。ＣＰＵ１０は、搬送機器コントローラ６、搬送コントローラ７及びストッカコントローラ８を含む。移動装置１１は、ビークル２を所望の製造装置３へと搬送可能に構成されている。   1 and 2, a transport system 100 according to the present embodiment is incorporated in a manufacturing system 200 and includes a vehicle 2, a manufacturing instruction unit 4, a CPU 10, and a moving device 11. The CPU 10 includes a transport device controller 6, a transport controller 7, and a stocker controller 8. The moving device 11 is configured to be able to transport the vehicle 2 to a desired manufacturing device 3.

製造システム２００は、搬送システム１００の他に、製造装置３、ストッカ３ｂ及び製造装置コントローラ５を備えて構成されている。尚、製造装置コントローラ５は、ＣＰＵ１０に組み込まれてもよい。   The manufacturing system 200 includes a manufacturing apparatus 3, a stocker 3 b, and a manufacturing apparatus controller 5 in addition to the transport system 100. The manufacturing apparatus controller 5 may be incorporated in the CPU 10.

図２において、移動装置１１は、搬送路１の他、例えばリニアモータの制御ライン及び電源装置などの、ビークルをリニアモータ方式で移動させるための機械的及び電気的な機構一式を有する。より具体的には、搬送路１は、搬送方向に延びると共にビークル２の車輪が転動する転動面を夫々有する一対のレールを有し、更に該一対のレールの間に搬送方向に複数配列された永久磁石を有する。搬送路１は、ビークル２側に設けられたリニアモータが、その上を走行するための走行路でもあり、ビークル２が走行するための電源信号やその走行を制御するための各種信号がやりとりされる有線の制御線としての機能も有する。   In FIG. 2, the moving device 11 has a set of mechanical and electrical mechanisms for moving the vehicle by a linear motor method, such as a linear motor control line and a power supply device, in addition to the conveyance path 1. More specifically, the conveyance path 1 has a pair of rails each extending in the conveyance direction and having rolling surfaces on which the wheels of the vehicle 2 roll, and a plurality of rails arranged in the conveyance direction between the pair of rails. Having a permanent magnet. The conveyance path 1 is also a travel path for a linear motor provided on the vehicle 2 side to travel on it, and a power signal for traveling the vehicle 2 and various signals for controlling the travel are exchanged. It also has a function as a wired control line.

移動装置１１は、モジュールＭ１からＭ５を搬送路１によって接続している。ここに「モジュール」とは、一つ又は複数のベイによって構成されたＯＨＴ（工程内搬送機器）システムが搬送制御管理するための単位を意味し、「ベイ」とは、ＯＨＴシステムで搬送可能な一又は複数の製造装置の集まりである。モジュールＭ２及びＭ３と、モジュールＭ４及びＭ５とは、夫々隣り合って配置されている。これら各モジュールが集合し、全体として１つの大規模ＯＨＴを構成している。この大規模ＯＨＴは、本発明に係る「移動手段」の一例であって、大規模ＯＨＴを構成する移動装置１１の部分によって、各々のモジュールＭ２からＭ５の内部の各々で、ビークル２が走行可能である。モジュールＭ１は、モジュールＭ２及びＭ３から構成されるＯＨＴと、モジュールＭ４及びＭ５から構成されるＯＨＴとの間に配置されており、これらの２つのＯＨＴを相互に接続するＯＨＳ（工程間搬送機器）として機能する。ＯＨＳは、本発明に係る「移動手段」の一例であって、ＯＨＳを構成する移動装置１１の部分によって、モジュールＭ２からＭ５の間で、ビークル２が走行可能である。   The moving device 11 connects the modules M1 to M5 through the transport path 1. Here, “module” means a unit for carrying out control control of an OHT (intra-process carrying device) system configured by one or a plurality of bays, and “bay” can be carried by the OHT system. A group of one or a plurality of manufacturing apparatuses. Modules M2 and M3 and modules M4 and M5 are arranged adjacent to each other. These modules gather together to form one large-scale OHT as a whole. This large-scale OHT is an example of the “moving means” according to the present invention, and the vehicle 2 can run in each of the modules M2 to M5 by the part of the moving device 11 constituting the large-scale OHT. It is. The module M1 is arranged between the OHT composed of the modules M2 and M3 and the OHT composed of the modules M4 and M5, and an OHS (inter-process transport device) that connects these two OHTs to each other. Function as. The OHS is an example of the “moving unit” according to the present invention, and the vehicle 2 can travel between the modules M2 to M5 by the portion of the moving device 11 constituting the OHS.

ビークル２は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータにより搬送路１に沿って走行し、半導体装置製造における各種基板等の被搬送物が格納されたキャリアを搬送する。ビークル２は、図示しない、個々のビークルを独立制御するためのコントローラ、及び位置情報を送信するための位置情報送信部が内蔵されている。   As an example of the “transport vehicle” according to the present invention, the vehicle 2 travels along the transport path 1 by a linear motor, and transports a carrier in which objects to be transported such as various substrates in semiconductor device manufacture are stored. The vehicle 2 includes a controller (not shown) for independently controlling each vehicle, and a position information transmission unit for transmitting position information.

製造装置３は、本発明に係る「作業装置」の一例として、製造装置コントローラ５による制御下で、ビークル２により搬送された被搬送物に対して、製品に至る各種処理を行う。   As an example of the “working apparatus” according to the present invention, the manufacturing apparatus 3 performs various processes leading to a product on a transported object transported by the vehicle 2 under the control of the manufacturing apparatus controller 5.

ストッカ３ｂは、本発明に係る「作業装置」の一例として、ストッカコントローラ８による制御下で、ビークル２により搬送されたキャリア（例えば、搬送用の容器）或いは被搬送物に対して一部処理が実施されたキャリアを、内部の収容庫へ搬入する又は外部へ搬出するように構成されている。ストッカ３ｂは、搬送路１の一部から搬入すると共に搬送路１の他部へ搬出することで、移動装置１１と共に搬送手段の一部を構成してもよい。複数の製造装置３及びストッカ３ｂからなる４つの集合が、上述の４つのモジュールＭ２からＭ５に対応する。   As an example of the “working apparatus” according to the present invention, the stocker 3b performs a partial process on a carrier (for example, a container for transport) or a transported object transported by the vehicle 2 under the control of the stocker controller 8. The implemented carrier is configured to be carried into an internal storage or carried out to the outside. The stocker 3b may form part of the conveying means together with the moving device 11 by carrying in from a part of the conveying path 1 and carrying it out to the other part of the conveying path 1. Four sets of a plurality of manufacturing apparatuses 3 and stockers 3b correspond to the four modules M2 to M5 described above.

再び図１において、製造指示部４は、本発明に係る「予定台数特定手段」の一例として、製造工程のスケジューリングを行い、搬送機器コントローラ６は、製造指示部４によるスケジューリングの結果にしたがって、モジュールＭ１からＭ５の各々の内部で、ビークル２がキャリアを搬送するために要求されるビークル２の台数（以下適宜「予定搬送数」と称する）を集計する予定台数特定部４ａを有する。   Referring again to FIG. 1, the manufacturing instruction unit 4 performs scheduling of the manufacturing process as an example of the “scheduled number specifying means” according to the present invention, and the transport device controller 6 performs the module according to the scheduling result by the manufacturing instruction unit 4. Within each of M1 to M5, there is a planned number specifying unit 4a that counts the number of vehicles 2 required for the vehicle 2 to transfer carriers (hereinafter referred to as “scheduled transfer number” as appropriate).

予定台数特定部４ａは、スケジューリングの結果を示すスケジュールデータから、例えば単位時間１０分毎の予定搬送数を集計する。搬送指示部４は、ＣＰＵ１０の搬送機器コントローラ６に対して、予定搬送数のデータを入力すると共に、これに同期するように製造装置コントローラ５に対して、スケジュールデータに対応する製造又は搬送を指示する旨の指示データを入力することで、半導体装置製造の指示を行う。   The scheduled number specifying unit 4a adds up the scheduled number of transports per unit time of 10 minutes, for example, from the schedule data indicating the result of scheduling. The conveyance instructing unit 4 inputs data on the planned number of conveyances to the conveyance device controller 6 of the CPU 10 and instructs the manufacturing apparatus controller 5 to manufacture or convey corresponding to the schedule data so as to synchronize with this. The instruction for manufacturing the semiconductor device is given by inputting the instruction data to this effect.

スケジューリングの結果について、図３を参照して説明する。ここに図３は、本実施形態に係るスケジューリングの結果を示すスケジュールデータとしてキャリア別製造工程表２１を示す。   The scheduling result will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows a carrier-specific manufacturing process table 21 as schedule data indicating the result of scheduling according to the present embodiment.

スケジューリングの際には、例えば製造管理者によって予め入力されたデータに基づいて、スケジュールデータが出力される。スケジュールデータは、キャリア別製造工程表２１に示すように、各々のキャリア内の被搬送物が処理される製造装置が単位時間毎に示される。例えば、製造装置ＡからＤは、モジュールＭ２に、製造装置ＥからＪは、モジュールＭ３に対応している。この場合、１時１０分では、４つのキャリアＣ−０００１，Ｃ−０００４，Ｃ−０００７及びＣ−０００９に対して、夫々製造装置Ａ，Ｄ，Ｇ及びＩの処理が開始される。従って、モジュールＭ２では、予定搬送数が「２」、モジュールＭ３では、第１モジュールと同様にして、予定搬送数が「２」となる集計結果が出力される。この集計された予定搬送数は、単位時間毎に、モジュールの各々で搬送に必要とされるビークル２の台数となる。   In scheduling, for example, schedule data is output based on data input in advance by a production manager. In the schedule data, as shown in the carrier-specific manufacturing process table 21, a manufacturing apparatus for processing a transported object in each carrier is shown for each unit time. For example, the manufacturing apparatuses A to D correspond to the module M2, and the manufacturing apparatuses E to J correspond to the module M3. In this case, at 1:10, processing of the manufacturing apparatuses A, D, G, and I is started for the four carriers C-0001, C-0004, C-0007, and C-0009, respectively. Accordingly, the module M2 outputs a total result with a scheduled transport number “2”, and the module M3 outputs a total result with the planned transport number “2” in the same manner as the first module. The total number of scheduled transportations is the number of vehicles 2 required for transportation in each module per unit time.

製造装置コントローラ５は、製造指示部４によって入力された製造指示データに基づいて、製造装置３を駆動することで、被搬送物に対して各種処理を実施する。   The manufacturing apparatus controller 5 drives the manufacturing apparatus 3 based on the manufacturing instruction data input by the manufacturing instruction unit 4 to perform various processes on the conveyed object.

搬送機器コントローラ６は、本発明に係る「制御手段」の一例として、モジュールの各々において、基本配車数及び配車限界数を、予め設定している。ここで「基本配車数」は、初期設定としてモジュール別に予め設定された、基本のビークル２の台数である。「初期設定」の内容は、例えば製造指示部４によるスケジューリングの際に決定される。「配車限界数」は、予定搬送数の大小に関わらず、各モジュールにおいて配車される（待機する）ビークル２の最大台数及び最少台数である。この配車限界数の設定により、モジュールのいずれかで、ビークル２の配車数（待機数）がマイナスになる状態がなくなる。例えば、基本配車数が「１０」、配車限界数が「±５」である場合に、配車されるビークル２の最大台数が「１５」、最小台数が「５」となり、モジュール内のビークル２の台数は、５〜１５の範囲で変化する。これらの設定により、搬送機器コントローラ６は、配車限界数の範囲内で、予定搬送数に基づいて、モジュールの相互間でビークル２を移動させる。   As an example of the “control means” according to the present invention, the transport device controller 6 presets the basic number of vehicles dispatched and the number of vehicles dispatched in each module. Here, the “basic number of vehicles dispatched” is the number of basic vehicles 2 preset for each module as an initial setting. The content of “initial setting” is determined at the time of scheduling by the manufacturing instruction unit 4, for example. The “number of vehicles dispatched” is the maximum number and the minimum number of vehicles 2 to be dispatched (waiting) in each module regardless of the planned number of transports. By setting the vehicle allocation limit number, the state in which the vehicle allocation number (standby number) of the vehicle 2 is negative in any of the modules is eliminated. For example, when the basic dispatch number is “10” and the dispatch limit number is “± 5”, the maximum number of vehicles 2 to be dispatched is “15” and the minimum number is “5”. The number varies in the range of 5-15. With these settings, the transport device controller 6 moves the vehicle 2 between the modules based on the planned transport number within the range of the dispatch limit number.

搬送機器コントローラ６は、製造指示部４によって入力された予定搬送数に基づいて、単位時間１０分毎の搬送発生比率を算出する。具体的に、「搬送発生比率」とは、本発明に係る「相対比率」の一例であって、基本配車数に対する、予定搬送数に対応して実際に稼動されるべきビークル２の台数の割合である。例えば基本配車数が２０台であって、予定搬送数に対応するビークルの台数が１０台の場合に、搬送発生比率は、１０÷２０＝０．５となる。該搬送発生比率は、搬送が開始されるより前に算出される。   The transport device controller 6 calculates a transport generation ratio per unit time 10 minutes based on the scheduled transport number input by the manufacturing instruction unit 4. Specifically, the “conveyance generation ratio” is an example of the “relative ratio” according to the present invention, and the ratio of the number of vehicles 2 to be actually operated corresponding to the planned number of deliveries with respect to the basic number of dispatched vehicles. It is. For example, when the basic number of vehicles is 20 and the number of vehicles corresponding to the planned number of transports is 10, the transport generation ratio is 10 ÷ 20 = 0.5. The conveyance generation ratio is calculated before the conveyance is started.

搬送機器コントローラ６は、算出された搬送発生比率に基づいて、モジュールＭ２からＭ５の各々で単位時間毎の搬送に必要とされるビークル２の台数を補正する。具体的には、搬送機器コントローラ６は、基本配車数を基本として、単位時間毎に配車されるビークル２の過不足数（不足数及び過剰数）を算出する。例えば、キャリア別製造工程表２１において、モジュールＭ３に属する製造装置Ｅに対して、モジュールＭ２に属するストッカ３ｂからキャリアの搬送を行う。この場合に、基本配車数が２０台で、１時２０分に、キャリアＣ−０００５に対する処理が開始される際に、不足数が「＋１」、１時４０分に、キャリアＣ−０００９に対する処理が開始される際に、過剰数が「−１」とする。ここで、不足数「＋１」とは、１時２０分に、基本配車数「２０」に一台追加する２１台のビークル２が、搬送に必要であることを示す。一方、過剰数「−１」とは、１時４０分に、基本配車数「２０」を一台除く１９台のビークル２が、搬送に必要であることを示す。搬送機器コントローラ６は、算出された過不足数を、搬送コントローラ７に入力する。   The transport device controller 6 corrects the number of vehicles 2 required for transport per unit time in each of the modules M2 to M5 based on the calculated transport generation ratio. Specifically, the transport device controller 6 calculates the excess / deficiency number (insufficient number and excess number) of the vehicles 2 to be allocated per unit time based on the basic allocation number. For example, in the carrier-specific manufacturing process table 21, the carrier is transported from the stocker 3b belonging to the module M2 to the manufacturing apparatus E belonging to the module M3. In this case, when the number of basic dispatches is 20, and the processing for the carrier C-0005 is started at 1:20, the shortage number is “+1”, and the processing for the carrier C-0009 is performed at 1:40. Is started, the excess number is set to “−1”. Here, the shortage number “+1” indicates that 21 vehicles 2 to be added to the basic dispatch number “20” at 1:20 are necessary for transportation. On the other hand, the excess number “−1” indicates that 19 vehicles 2 excluding one basic dispatch number “20” are required for transportation at 1:40. The transport device controller 6 inputs the calculated excess / deficiency number to the transport controller 7.

搬送コントローラ７は、本発明に係る「制御手段」の一例として、４つのモジュールＭ２からＭ５を、個々に制御するように、４つ備えられている。搬送コントローラ７は、搬送機器コントローラ６によって入力されたビークル２の過不足数に基づいて、単位時間毎のビークル２の台数を補正する。具体的に、不足数「＋１」に対応して、１時２０分の搬送が開始される前に、各モジュールに配置されているビークル２の台数を検出する。この検出された結果により、搬送元のモジュールＭ２のビークル２の台数が２１台に一致しない場合に、ビークル２が過剰に配置されているモジュールのいずれかからモジュールＭ２に、ビークル２が移動される。この移動により、モジュールＭ２のビークル２の台数が２１台に一致される。尚、ここで「搬送が開始される前」に「検出する」とは、直前に検出するのではなく、例えばスケジューリングの結果に基づいて予定搬送数が明らかになった時点又は時期において、実際の搬送に先立って検出するという意味であり、例えば、実際に搬送が開始される数分から数十分或いは数時間前である。極端な場合には、朝における製造装置の立ち上げ時に検出を全て終えてもかまわない。このように、予定搬送数或いは過不足数の検出は、実際の搬送よりも早い時点又は時期にて行われる。   As an example of the “control unit” according to the present invention, four transport controllers 7 are provided so as to control the four modules M2 to M5 individually. The transport controller 7 corrects the number of vehicles 2 per unit time based on the excess or deficiency of the vehicles 2 input by the transport device controller 6. Specifically, the number of vehicles 2 arranged in each module is detected before the transfer of 1:20 starts corresponding to the shortage number “+1”. As a result of the detection, when the number of vehicles 2 of the transfer source module M2 does not match 21, the vehicle 2 is moved from one of the modules in which the vehicle 2 is excessively arranged to the module M2. . By this movement, the number of the vehicles 2 of the module M2 is matched with 21 units. Here, “detect” before “start of transport” is not detected immediately before, for example, at the time or timing when the scheduled transport number becomes clear based on the result of scheduling. This means that the detection is performed prior to the conveyance, for example, from several minutes to several tens of minutes or several hours before the actual conveyance is started. In extreme cases, all detections may be completed when the manufacturing apparatus is started up in the morning. As described above, the detection of the planned number of conveyances or the number of excesses and deficiencies is performed at a point or time earlier than actual conveyance.

一方、過剰数「−１」に対応して、１時４０分の搬送が開始される前に、１時２０分の場合と同様にして、各モジュールのビークル２の台数を検出する。この検出された結果により、搬送元のモジュールＭ２のビークル２の台数が１９台に一致しない場合に、ビークル２の台数が１９台に一致するように、モジュールＭ２からＭ５の間でビークル２が移動される。尚、ここでの「搬送が開始される前」に「検出する」とは、実際の搬送に先立って検出するという意味であり、例えば、上述した「１時２０分の場合」に係る検出と同時に行われてもよいし、後に（例えば、２０分後に）行われてもよい。例えば、実際の搬送から所定時間以内に（例えば、数十分前以内に）検出を行えば、スケジュール上の台数と実際の台数との誤差が小さくなる。   On the other hand, the number of vehicles 2 of each module is detected in the same manner as in the case of 1:20 before the transfer of 1:40 starts corresponding to the excess number “−1”. As a result of the detection, if the number of vehicles 2 of the transport source module M2 does not match 19, the vehicle 2 moves between the modules M2 and M5 so that the number of vehicles 2 matches 19. Is done. Here, “detect” before “conveyance is started” means that detection is performed prior to actual conveyance. For example, the detection according to the above-mentioned case of “1:20” It may be done at the same time or later (eg after 20 minutes). For example, if detection is performed within a predetermined time from actual conveyance (for example, within several tens of minutes before), an error between the number on the schedule and the actual number is reduced.

このように、搬送コントローラ７は、搬送発生比率を基に算出された過不足数に基づいて、モジュールＭ２からＭ５の間でビークル２の移動を行うことで、ビークル２の配車数の調整を行う。   In this way, the transfer controller 7 adjusts the number of vehicles 2 to be allocated by moving the vehicle 2 between the modules M2 and M5 based on the excess / deficiency calculated based on the transfer occurrence ratio. .

尚、ビークル２の配車数は、基本配車数に過不足数を加減することで算出されるが、例えば下記の式を用いて、直接に、ビークル２の配車数を算出してもよい。例えばモジュールＭ２からＭ４の予定搬送数ＴｃｅＭ２からＴｃｅＭ４が夫々「５」、「３」、「２」、その基本配車数ＢｉｖＭ２からＢｉｖＭ４が「２０」、「１５」、「１０」、配車限界数Ｉｖｒが「±５」である場合に、モジュールＭ２の配車数は、「２０」となる。   The number of vehicles 2 allocated is calculated by adding or subtracting the excess or deficiency to the basic number of vehicles allocated. For example, the number of vehicles 2 allocated may be directly calculated using the following equation. For example, the scheduled transport numbers TceM2 to TceM4 of the modules M2 to M4 are “5”, “3”, “2”, the basic dispatch numbers BivM2 to BivM4 are “20”, “15”, “10”, and the dispatch limit number Ivr Is “± 5”, the number of dispatched modules M2 is “20”.

（Ｉｖｒ＊２）＊ＴｃeＡ／（ＴｃｅＡ＋ＴｃｅＢ＋ＴｃｅＣ）−Ｉｖｒ＋ＢｉｖＡ
尚、ビークルの配車数の調整を相互に行う対象となる複数のモジュールは、搬送元のモジュールとの距離が最短のモジュールとしてもよく、適宜設定が可能である。尚、各モジュールのビークル２の台数は、各ビークル２に備えられた位置情報送信部からの情報に基づいて検出したり、搬送路１の複数箇所にセンサを設け、このセンサの出力結果に基づいて検出してもよい。 (Ivr * 2) * TceA / (TceA + TceB + TceC) −Ivr + BivA
It should be noted that the plurality of modules that are the targets for mutual adjustment of the number of vehicles dispatched may be modules having the shortest distance from the transfer source module, and can be appropriately set. The number of vehicles 2 in each module is detected based on information from a position information transmission unit provided in each vehicle 2, or sensors are provided at a plurality of locations on the conveyance path 1, and the output results of the sensors are used. May be detected.

ストッカコントローラ８は、製造指示部４によって入力される予定搬送数のデータに基づいて、ストッカ３ｂを駆動することで、キャリアをストッカ３ｂの内部に搬入したり、ストッカ３ｂの外部に搬出する。   The stocker controller 8 drives the stocker 3b based on the data of the scheduled number of conveyances input by the manufacturing instruction unit 4, thereby carrying the carrier into the stocker 3b or carrying it out of the stocker 3b.

ＣＰＵ１０は、製造指示部４によって入力される予定搬送数のデータに対応して、ビークル２をバランス良く効率的に配車する。   The CPU 10 allocates the vehicle 2 efficiently in a balanced manner in accordance with the data on the planned conveyance number input by the manufacturing instruction unit 4.

次に、本実施形態に係る搬送システムの動作処理である配車管理処理について、フローチャートを用いて、より具体的に説明する。
（配車管理処理）
図４は、本実施形態に係る搬送システムの配車管理処理を示すフローチャートである。 Next, a vehicle allocation management process that is an operation process of the transport system according to the present embodiment will be described more specifically with reference to a flowchart.
(Vehicle allocation management processing)
FIG. 4 is a flowchart showing a vehicle allocation management process of the transport system according to the present embodiment.

本実施形態の配車管理処理では、基本配車数が、最初の単位時間、例えば１時００分から１０分間に要求されるビークル２の配車数に対応している。このため、最初の単位時間において、配車の調整は行われないものとする。   In the dispatch management process of the present embodiment, the basic dispatch number corresponds to the dispatch number of the vehicle 2 required for the first unit time, for example, from 1:00 to 10 minutes. For this reason, it is assumed that the vehicle allocation is not adjusted in the first unit time.

具体的には、図４において、先ず、製造指示部４によって、製造工程のスケジューリングが行われる（ステップＳ２１）。このスケジューリング後に、製造管理者によって製造又は搬送を指示する操作が行われることにより、搬送要求が変更された場合には（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、再度スケジューリングが行われる。一方、製造管理者による指示がなく、搬送要求の変更がなされない場合には（ステップＳ２２：ＮＯ）、再度スケジューリングを行う必要はなく、次のステップＳ２３が実行される。   Specifically, in FIG. 4, first, the manufacturing instruction unit 4 schedules manufacturing processes (step S21). After the scheduling, if the transport request is changed by an operation for instructing manufacture or transport by the manufacturing manager (step S22: YES), scheduling is performed again. On the other hand, when there is no instruction from the manufacturing manager and the transfer request is not changed (step S22: NO), it is not necessary to perform scheduling again, and the next step S23 is executed.

スケジューリングにより、図３に示すように、スケジュールデータが出力される（ステップＳ２３）。スケジュールデータが出力されると、単位時間後、例えば１時２０分から１０分後（図３において、１時３０分の列を示す）のスケジュールデータが読み取られ（ステップＳ２４）、読み取られたスケジュールデータに基づいて、各モジュールにおける予定搬送数が集計される（ステップＳ２５）。続いて、搬送機器コントローラ６によって、集計された予定搬送数に基づいて、モジュール毎の搬送発生比率が算出され、算出された搬送発生比率に基づいて、各モジュールＭ２からＭ５において、配車すべきビークル２の過不足数が算出される。この過不足数の算出により、配車数の調整が行われる（ステップＳ２６）。   As shown in FIG. 3, schedule data is output by scheduling (step S23). When the schedule data is output, the schedule data after a unit time, for example, 1:20 to 10 minutes (showing the 1:30 column in FIG. 3) is read (step S24), and the read schedule data Based on the above, the number of scheduled transports in each module is tabulated (step S25). Subsequently, the transport device controller 6 calculates a transport generation ratio for each module based on the total number of scheduled transports, and based on the calculated transport generation ratio, a vehicle to be dispatched in each module M2 to M5. An excess / deficiency number of 2 is calculated. The number of dispatched vehicles is adjusted by calculating the excess / deficiency number (step S26).

各モジュールＭ２からＭ５における、ビークル２の過不足数が算出された後に、過不足数に基づいて、移動装置１１によってモジュールＭ２からＭ５の間でビークル２が移動され、１時３０分の搬送に対応するビークル２の配車が調整される（ステップＳ２７）。ここで例えば、現時点で搬送を行っていないビークル２や、スケジューリングの結果からして近未来的にも搬送を行わない予定のビークル２が、ビークル２が不足するモジュール以外に存在していれば、該ビークル２が不足するモジュールへと移動される。   After the excess / deficiency number of the vehicle 2 in each of the modules M2 to M5 is calculated, the vehicle 2 is moved between the modules M2 and M5 by the moving device 11 based on the excess / deficiency number, and the transportation is performed at 1:30. The allocation of the corresponding vehicle 2 is adjusted (step S27). Here, for example, if there is a vehicle 2 that is not transported at the present time, or a vehicle 2 that is not scheduled to be transported in the near future based on the result of scheduling, other than the modules that lack the vehicle 2, The vehicle 2 is moved to the missing module.

ビークル２の配車が調整された後に又は調整の最中に、例えばその調整の対象となる単位時期である１時３０分より、３０分前（図３において、１時００分の列を示す）の、特定のキャリアの搬送が開始される。尚、一つのモジュールから見て、自らの搬送開始よりも前であれば、他のモジュールにおける搬送の最中に、配車の調整が継続的に行われていてもよい。或いは、他のモジュールにおける搬送と完全に並行して、配車の調整が実行されてもよく、この場合、ステップＳ２７、及び特定のキャリアの搬送は、並列処理として行われる。特定のキャリアの搬送と併せて、製造装置コントローラ５及びストッカコントローラ６によって、スケジュールデータに従って、製造が行われる。   After the vehicle 2 has been allocated, or during the adjustment, for example, 30 minutes before 1:30, which is the unit time subject to the adjustment (in FIG. 3, the 1:00 column is shown) The transport of a specific carrier is started. In addition, if it sees from one module and it is before the start of own conveyance, adjustment of vehicle allocation may be performed continuously during the conveyance in another module. Alternatively, the vehicle allocation may be adjusted completely in parallel with the transport in the other modules. In this case, step S27 and transport of the specific carrier are performed as parallel processing. Along with the conveyance of a specific carrier, the manufacturing apparatus controller 5 and the stocker controller 6 perform manufacturing according to the schedule data.

その後、例えば搬送開始から、単位時間である１０分が経過したか否かが判定され（ステップＳ２８）、未だ単位時間が経過しない場合に（ステップＳ２８：ＮＯ）、経過するまで待機状態とされる。一方、単位時間が経過した場合に（ステップＳ２８：ＹＥＳ）、全ての製造工程が終了したか否かが判定される（ステップＳ２９）。全製造工程が終了していない場合に（ステップＳ２９:ＮＯ）、次の調整の対象となる１時４０分の搬送に対応するスケジュールデータの読み取りが行われる（ステップＳ２４）。このスケジュールデータに基づいて、ステップＳ２５からＳ２７が実行されることで、ビークル２の配車の調整が行われ、再び単位時間の経過が判定される（ステップＳ２８）。   Thereafter, for example, it is determined whether or not 10 minutes, which is a unit time, has elapsed since the start of conveyance (step S28). If the unit time has not yet elapsed (step S28: NO), a standby state is maintained until the unit time has elapsed. . On the other hand, when the unit time has elapsed (step S28: YES), it is determined whether or not all the manufacturing steps have been completed (step S29). If the entire manufacturing process has not been completed (step S29: NO), the schedule data corresponding to the 1:40 conveyance that is the next adjustment target is read (step S24). By executing steps S25 to S27 based on this schedule data, the vehicle allocation of the vehicle 2 is adjusted, and the elapse of the unit time is again determined (step S28).

一方、全製造工程が終了した場合に（ステップＳ２９：ＹＥＳ）、一連の配車管理処理が終了される。   On the other hand, when all the manufacturing processes are completed (step S29: YES), a series of vehicle allocation management processing is completed.

このように実施形態の搬送システムによれば、単位時間毎に、搬送すべき搬送量に対応して、複数のモジュールＭ２からＭ５の間でビークルの配車数が調整されるので、搬送が集中するモジュールに対して、単位時間の搬送が開始されるより前に、搬送量に対応する数のビークル２が配車される。これにより、ビークル不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全製造工程の搬送時間をより短く、安定させることができる。この結果として、ビークル２をバランス良く効率的に配車することができる。   As described above, according to the transport system of the embodiment, the number of vehicles dispatched is adjusted between the plurality of modules M2 to M5 corresponding to the transport amount to be transported per unit time, so that the transport is concentrated. The number of vehicles 2 corresponding to the conveyance amount are dispatched to the module before the unit time conveyance is started. Thereby, the extension of the conveyance time caused by the shortage of the vehicle is suppressed, and the conveyance time of the entire manufacturing process can be shortened and stabilized. As a result, the vehicle 2 can be efficiently distributed with good balance.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システム、配車管理装置及び方法、並びにコンピュータプログラムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the spirit or idea of the invention that can be read from the claims and the entire specification. A management apparatus and method, and a computer program are also included in the technical scope of the present invention.

実施形態に係る搬送システムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the conveyance system which concerns on embodiment. 実施形態に係る搬送システムの搬送路を示す平面図である。It is a top view which shows the conveyance path of the conveyance system which concerns on embodiment. 実施形態に係る搬送システムのスケジュールデータを示すキャリア別製造工程表である。It is a manufacturing process table according to carrier which shows schedule data of a conveyance system concerning an embodiment. 実施形態に係る搬送システムの配車管理処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the dispatch management process of the conveyance system which concerns on embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１…搬送路、２…ビークル、３…製造装置、３ｂ…ストッカ、４…製造指示部、４ａ…予定台数特定部、５…製造装置コントローラ、６…搬送機器コントローラ、７…搬送コントローラ、８…ストッカコントローラ、１１…移動装置、１００…搬送システム、２００…製造システム   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Conveyance path, 2 ... Vehicle, 3 ... Manufacturing apparatus, 3b ... Stocker, 4 ... Manufacturing instruction | indication part, 4a ... Planned number specification part, 5 ... Manufacturing apparatus controller, 6 ... Conveyance apparatus controller, 7 ... Conveyance controller, 8 ... Stocker controller, 11 ... moving device, 100 ... transport system, 200 ... manufacturing system

Claims (9)

被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送する搬送システムであって、
前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、
前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段と、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。 A transport system that transports the transported object inside each of a plurality of sets each including one or a plurality of manufacturing apparatuses that perform various processes on the transported object and between the plurality of sets. There,
A plurality of transport vehicles each capable of mounting and transporting the objects to be transported;
Moving means for moving the carriage between the inside and between;
Requested to transport the object to be transported at each of the interiors at one time or in the future in accordance with schedule data in which information relating to the one or a plurality of manufacturing apparatuses scheduled to perform the various processes is shown every unit time Scheduled number specifying means for specifying the number of the plurality of transport vehicles to be scheduled;
Control means for controlling the moving means so as to move the plurality of transport vehicles between the prior to the temporary point or time based on the specified number. . 前記予定台数特定手段は、前記一時点又は時期として、現在実行中又は現在要求されている前記被搬送物の搬送の少なくとも一部が終了した以降における時点又は時期において前記要求される予定の台数を特定することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。   The scheduled number specifying means, as the temporary point or time, is the number of the scheduled number requested at a time or time after at least a part of the transport of the transported object currently being executed or currently requested is completed. The transport system according to claim 1, wherein the transport system is specified. 前記制御手段は、前記複数の搬送車のうち、前記被搬送物の搬送を行っていない一又は複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。   The control means controls the moving means so as to move one or a plurality of transport vehicles that are not transporting the object to be transported among the plurality of transport vehicles. The conveyance system according to claim 1 or 2. 前記制御手段は、前記特定された台数の前記集合別の相対比率に基づいて制御することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。   4. The transport system according to claim 1, wherein the control unit performs control based on a relative ratio of the specified number of sets for each set. 5. 前記制御手段は、前記集合別の相対比率に基づいて前記特定された台数を補正し、該補正された台数に基づいて制御することを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。   The transport system according to claim 4, wherein the control unit corrects the specified number based on the relative ratio for each set, and controls based on the corrected number. 前記予定台数特定手段は、前記要求される予定の台数として、所定時間毎に要求される台数を特定することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送システム。   6. The transport system according to claim 1, wherein the planned number specifying unit specifies the number required every predetermined time as the required number of required schedules. 被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理装置であって、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする配車管理装置。 In order to transport the transported object inside each of a plurality of sets each including one or a plurality of manufacturing apparatuses that perform various processing on the transported object and between the plurality of sets, In the transport system comprising a plurality of transport vehicles that can each carry the transported object and are movable, and a moving means that moves the transport vehicle between the interior and the mutual, the dispatch of the transport vehicle A vehicle allocation management device for managing
Requested to transport the object to be transported at each of the interiors at one time or in the future in accordance with schedule data in which information relating to the one or a plurality of manufacturing apparatuses scheduled to perform the various processes is shown every unit time Scheduled number specifying means for specifying the number of the plurality of transport vehicles to be scheduled;
A vehicle allocation management comprising: a control unit that controls the moving unit so as to move the plurality of transport vehicles between the one or more prior to the temporary point or time based on the specified number of vehicles. apparatus. 被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理方法であって、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定工程と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御工程と
を備えることを特徴とする配車管理方法。 In order to transport the transported object inside each of a plurality of sets each including one or a plurality of manufacturing apparatuses that perform various processing on the transported object and between the plurality of sets, In the transport system comprising a plurality of transport vehicles that can each carry the transported object and are movable, and a moving means that moves the transport vehicle between the interior and the mutual, the dispatch of the transport vehicle A vehicle allocation management method for managing
Requested to transport the object to be transported at each of the interiors at one time or in the future in accordance with schedule data in which information relating to the one or a plurality of manufacturing apparatuses scheduled to perform the various processes is shown every unit time A scheduled number identifying step for identifying the number of the plurality of transport vehicles scheduled to be performed;
A vehicle allocation management comprising: a control step of controlling the moving means so as to move the plurality of transport vehicles between the prior to the temporary point or time based on the specified number of vehicles. Method. 被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムに備えられるコンピュータを、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段と
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。 In order to transport the transported object inside each of a plurality of sets each including one or a plurality of manufacturing apparatuses that perform various processing on the transported object and between the plurality of sets, A computer provided in the transport system, which includes a plurality of transport vehicles that can each be mounted and movable, and a moving unit that moves the transport vehicle between the interior and the mutual.
Requested to transport the object to be transported at each of the interiors at one time or in the future in accordance with schedule data in which information relating to the one or a plurality of manufacturing apparatuses scheduled to perform the various processes is shown every unit time Scheduled number specifying means for specifying the number of the plurality of transport vehicles to be scheduled;
A computer that functions as control means for controlling the moving means so as to move the plurality of transport vehicles between the prior to the temporary point or time based on the specified number. program.
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