JP2013122969A - Transporting device, transporting system and transporting method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、対象物に第１の工程の処理を行う第１の処理装置から対象物に第２の工程の処理を行う第２の処理装置に対象物を搬送する搬送装置、搬送装置を備える搬送システム、及び、搬送方法に関する。 The present invention includes a transport device and a transport device for transporting an object from a first processing device that performs processing of the first process to the object to a second processing device that performs processing of the second process to the object. The present invention relates to a transport system and a transport method.
液晶表示パネルの製造工程では、液晶表示パネルの基材を処理する２つの処理装置の間にて、前工程に用いられる処理装置から後工程に用いられる処理装置へ基材を搬送する搬送装置が用いられている。 In the manufacturing process of the liquid crystal display panel, a transport device that transports the base material from the processing device used in the previous process to the processing device used in the subsequent process between two processing devices that process the base material of the liquid crystal display panel. It is used.
以下、２つの処理装置及び搬送装置からなる搬送システムの概略構成及び動作について図８を参照して説明する。図８に示されるように、例えば、前工程に用いられる第１の処理装置１０１では、半導体チップを搭載する処理であるＣＯＧ処理（Chip On Glass ）が、第１搬入部１０２から搬入されたパネルＳに対して行われ、ＣＯＧ処理の行われたパネルＳが、第１搬出部１０３から搬出される。また、後工程に用いられる第２の処理装置１０４では、フレキシブル基板を貼り付ける処理であるＦＯＧ処理（Film On Glass ）が、第２搬入部１０５から搬入されたパネルＳに対して行われ、ＦＯＧ処理の行われたパネルＳが、第２搬出部１０６から搬出される。 Hereinafter, a schematic configuration and operation of a transfer system including two processing apparatuses and a transfer apparatus will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8, for example, in the first processing apparatus 101 used in the previous process, a COG process (Chip On Glass) that is a process for mounting a semiconductor chip is carried in from the first carry-in unit 102. The panel S that has been performed on S and subjected to the COG processing is unloaded from the first unloading unit 103. Further, in the second processing apparatus 104 used in the subsequent process, the FOG process (Film On Glass), which is a process of attaching a flexible substrate, is performed on the panel S carried in from the second carry-in unit 105, and FOG is performed. The processed panel S is unloaded from the second unloading unit 106.
そして、第１の処理装置１０１と第２の処理装置１０４との間に設置された搬送装置１０７では、第１搬出部１０３から搬出されたパネルＳが、例えば特許文献１に記載の水平多関節ロボットである搬送ロボット１０８によって第２搬入部１０５に搬送される。なお、このとき、搬送装置１０７では、搬送ロボット１０８によって搬送されるパネルＳが、搬送装置１０７の撮像部１０９によって撮像され、この撮像結果に基づいて搬送ロボット１０８によるパネルＳの搬送位置が補正される。 And in the conveying apparatus 107 installed between the 1st processing apparatus 101 and the 2nd processing apparatus 104, the panel S carried out from the 1st carrying-out part 103 is the horizontal articulated joint described in patent document 1, for example It is transferred to the second carry-in unit 105 by the transfer robot 108 which is a robot. At this time, in the transport device 107, the panel S transported by the transport robot 108 is imaged by the imaging unit 109 of the transport device 107, and the transport position of the panel S by the transport robot 108 is corrected based on the imaging result. The
ところで、上述のような処理装置１０１，１０４と搬送装置１０７とからなる搬送システムでは、例えば、第１搬出部１０３から搬出される単位時間あたりのパネルＳの数量が、第２搬入部１０５に搬入可能な単位時間あたりのパネルの数量を上回ると、たとえ第１の処理装置１０１が稼働可能な状態であっても、第１搬出部１０３からのパネルＳの搬出を抑えるために、第１の処理装置１０１の待機が余儀なくされる。 By the way, in the transfer system including the processing apparatuses 101 and 104 and the transfer apparatus 107 as described above, for example, the number of panels S carried out from the first carry-out unit 103 is carried into the second carry-in unit 105. If the number of panels per unit time is exceeded, even if the first processing apparatus 101 is in an operable state, the first process is performed in order to prevent the panel S from being carried out from the first carry-out unit 103. The apparatus 101 is forced to wait.
他方、第１搬出部１０３から搬出される単位時間あたりのパネルＳの数量が、第２搬入部１０５に搬入可能な単位時間あたりのパネルＳの数量を下回ると、たとえ第２の処理装置１０４が稼働可能な状態であっても、第１搬出部１０３からパネルＳが搬出されるまで、第２の処理装置１０４の待機が余儀なくされる。このように、第１の処理装置１０１における処理速度と、第２の処理装置１０４における処理速度とが同じでない限り、第１の処理装置１０１と第２の処理装置１０４とのいずれか一方が待機することになる。なお、こうした問題は、上述の搬送ロボットが水平多関節ロボットである場合に限らず、垂直多関節ロボット等、他の搬送ロボットであっても共通するものである。 On the other hand, if the number of panels S per unit time carried out from the first carry-out unit 103 is less than the number of panels S per unit time that can be carried into the second carry-in unit 105, the second processing device 104 is Even in the operable state, the second processing apparatus 104 is forced to wait until the panel S is unloaded from the first unloading unit 103. As described above, as long as the processing speed in the first processing apparatus 101 and the processing speed in the second processing apparatus 104 are not the same, one of the first processing apparatus 101 and the second processing apparatus 104 is on standby. Will do. Such a problem is not limited to the case where the above-described transfer robot is a horizontal articulated robot, but is common to other transfer robots such as a vertical articulated robot.
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置にて処理装置の稼働効率を高めることの可能な搬送装置、搬送装置を備える搬送システム、及び、搬送方法を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of the said situation, and it is possible to improve the operating efficiency of a processing apparatus with the conveying apparatus which conveys the target object carried out from a 1st processing apparatus to a 2nd processing apparatus. It is an object to provide a transport device, a transport system including the transport device, and a transport method.
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
本発明における搬送装置の一態様は、第１の工程の処理を行う第１の処理装置から第２の工程の処理を行う第２の処理装置へ処理の対象物を搬送する搬送ロボットと、前記対象物が収容されるトレイを保持するトレイ保持部と、前記搬送ロボットの動作を制御する制御部とを備え、前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記第１の処理装置から前記トレイへ搬送させる。
Hereinafter, means for solving the above-described problems and the effects thereof will be described.
One aspect of the transfer apparatus according to the present invention includes a transfer robot that transfers an object to be processed from a first processing apparatus that performs a process of a first process to a second processing apparatus that performs a process of a second process, A tray holding unit for holding a tray in which the object is accommodated, and a control unit for controlling the operation of the transfer robot, and the first processing apparatus determines a number of objects to be processed per unit time. The number of objects processed per unit time in the second processing device is the second processing number, and the control is performed when the first processing number is larger than the second processing number. The unit causes the transfer robot to transfer the object from the first processing apparatus to the tray.
本発明における搬送装置の一態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合に、第１の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。 According to one aspect of the transport device of the present invention, when the processing speed of the first processing device exceeds the processing speed of the second processing device, the object is transported from the first processing device to the tray. . Therefore, it is possible to prevent the processing speed of the first processing device from being limited by the processing of the second processing device. As a result, it is possible to increase the operating efficiency of the processing apparatus by the transport device that transports the object carried out of the first processing device to the second processing device.
本発明における搬送装置の他の態様では、前記第２処理数が前記第１処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記トレイから前記第２の処理装置へ搬送させる。 In another aspect of the transport apparatus according to the present invention, when the second processing number is larger than the first processing number, the control unit moves the object from the tray to the second processing apparatus. To transport.
本発明における搬送装置の他の態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を下回る場合に、トレイから第２の処理装置への対象物の搬送が行われる。そのため、第２の処理装置の処理速度が第１の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。 According to another aspect of the transport apparatus of the present invention, when the processing speed of the first processing apparatus is lower than the processing speed of the second processing apparatus, the object is transported from the tray to the second processing apparatus. Is called. Therefore, it is possible to prevent the processing speed of the second processing device from being limited by the processing of the first processing device. As a result, it is possible to increase the operating efficiency of the processing apparatus by the transport device that transports the object carried out of the first processing device to the second processing device.
本発明における搬送装置の他の態様は、前記対象物が収容されているトレイを貯める第１ストッカーと、前記対象物が収容されていないトレイを貯める第２ストッカーと、前記第１ストッカー及び前記第２ストッカーの動作を制御するストッカー制御部とを備え、前記第１ストッカー及び前記第２ストッカーの駆動の態様を制御し、前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、前記ストッカー制御部が、前記第１ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第２ストッカーに該第２ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる。 In another aspect of the transport device according to the present invention, a first stocker that stores a tray in which the object is stored, a second stocker that stores a tray in which the object is not stored, the first stocker, and the first stocker A stocker control unit that controls the operation of the two stockers, controls a driving mode of the first stocker and the second stocker, the first processing number is larger than the second processing number, and the tray holding When an object is stored in a tray, the stocker control unit causes the first stocker to store the tray of the tray holding unit, and the second stocker stores the tray of the second stocker in the tray holding unit. To unload.
本発明における搬送装置の他の態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回り、且つトレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、トレイ保持部のトレイが第１ストッカーに収容され、第２ストッカーの空トレイがトレイ保持部に搬出される。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合において、トレイ保持部のトレイが対象物で満たされて第１の処理装置から対象物が収容され難くなることを抑えることが可能にもなる。
本発明における搬送装置の他の態様では、前記ストッカー制御部が、前記制御部に含まれる。
According to another aspect of the transport apparatus of the present invention, when the processing speed of the first processing apparatus exceeds the processing speed of the second processing apparatus and the object is stored in the tray of the tray holding unit, the tray The tray of the holding unit is accommodated in the first stocker, and the empty tray of the second stocker is carried out to the tray holding unit. Therefore, when the processing speed of the first processing apparatus exceeds the processing speed of the second processing apparatus, the tray of the tray holding unit is filled with the target object, and the target object is difficult to be accommodated from the first processing apparatus. Can also be suppressed.
In another aspect of the transport apparatus according to the present invention, the stocker control unit is included in the control unit.
本発明における搬送装置の他の態様によれば、搬送ロボットの動作を制御するための制御部と、ストッカーの動作を制御するためのストッカー制御部とが各別に搭載される場合と比べて、制御部の搭載される空間を小さくすることができる。 According to another aspect of the transfer apparatus of the present invention, compared with a case where a control unit for controlling the operation of the transfer robot and a stocker control unit for controlling the operation of the stocker are mounted separately. The space where the part is mounted can be reduced.
本発明における搬送装置の他の態様では、前記第２処理数が前記第１処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、前記ストッカー制御部が、前記第２ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第１ストッカーに該第１ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる。 In another aspect of the transport apparatus according to the present invention, when the second processing number is larger than the first processing number and an object is not accommodated in the tray of the tray holding unit, the stocker control unit, The tray of the tray holding unit is accommodated in the second stocker, and the tray of the first stocker is carried out to the tray holding unit by the first stocker.
本発明における搬送装置の他の態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を下回り、且つトレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、トレイ保持部のトレイが第２ストッカーに収容され、第１ストッカーのトレイがトレイ保持部に搬出される。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を下回る場合において、トレイ保持部のトレイから対象物を第２の処理装置へ搬送できなくなることを抑えることが可能にもなる。 According to another aspect of the transport apparatus of the present invention, when the processing speed of the first processing apparatus is lower than the processing speed of the second processing apparatus and no object is stored in the tray of the tray holding unit, The tray of the tray holding unit is accommodated in the second stocker, and the tray of the first stocker is carried out to the tray holding unit. Therefore, when the processing speed of the first processing apparatus is lower than the processing speed of the second processing apparatus, it is possible to suppress the situation where the object cannot be conveyed from the tray of the tray holding unit to the second processing apparatus. Become.
本発明における搬送システムの一態様は、対象物に対して第１の工程の処理を行う第１の処理装置と、前記対象物に対して第２の工程の処理を行う第２の処理装置と、前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ前記対象物を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送装置が、上述した態様の搬送装置である。 One aspect of the transport system according to the present invention includes a first processing device that performs processing of a first step on an object, and a second processing device that performs processing of a second step on the target. A transfer apparatus that transfers the object from the first processing apparatus to the second processing apparatus, and the transfer apparatus is the transfer apparatus according to the above-described aspect.
本発明における搬送システムの一態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合に、第１の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。 According to one aspect of the transport system of the present invention, the object is transported from the first processing device to the tray when the processing speed of the first processing device exceeds the processing speed of the second processing device. . Therefore, it is possible to prevent the processing speed of the first processing device from being limited by the processing of the second processing device. As a result, it is possible to increase the operating efficiency of the processing apparatus by the transport device that transports the object carried out of the first processing device to the second processing device.
本発明における搬送方法の一態様は、第１の工程の処理を行う第１の処理装置から第２の工程の処理を行う第２の処理装置へ処理の対象物を搬送ロボットにより搬送させる搬送方法であって、前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、前記搬送ロボットが前記対象物を前記第１の処理装置からトレイへ搬送する。 One aspect of the transfer method according to the present invention is a transfer method in which an object to be processed is transferred by a transfer robot from a first processing apparatus that performs the process of the first process to a second processing apparatus that performs the process of the second process. The number of objects processed per unit time in the first processing device is defined as a first processing number, and the number of objects processed per unit time in the second processing device is defined as When the second processing number is set and the first processing number is larger than the second processing number, the transfer robot transfers the object from the first processing apparatus to the tray.
本発明における搬送方法の一態様によれば、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理速度を上回る場合に、第１の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第１の処理装置の処理速度が第２の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第１の処理装置から搬出される対象物を第２の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。 According to one aspect of the transport method in the present invention, when the processing speed of the first processing device exceeds the processing speed of the second processing device, the object is transported from the first processing device to the tray. . Therefore, it is possible to prevent the processing speed of the first processing device from being limited by the processing of the second processing device. As a result, it is possible to increase the operating efficiency of the processing apparatus by the transport device that transports the object carried out of the first processing device to the second processing device.
本発明の搬送装置、搬送システム、及び搬送方法を具体化した一実施形態について、図１〜図７を参照して説明する。まず、搬送システムの全体構成及び動作について図１を参照して説明する。 An embodiment embodying a transfer device, a transfer system, and a transfer method of the present invention will be described with reference to FIGS. First, the overall configuration and operation of the transport system will be described with reference to FIG.
［搬送システムの全体構成及び動作］
図１に示されるように、搬送システムは、第１の処理装置１０と、第２の処理装置２０と、搬送装置３０とを有している。第１の処理装置１０を構成する第１処理部１１は、第１搬入部１２から搬入された対象物としてのパネルＳに対して半導体チップを搭載する処理である第１の工程の処理としてのＣＯＧ処理（ＣｈｉｐＯｎＧｌａｓｓ）を行い、ＣＯＧ処理の施されたパネルＳを第１搬出部１３から搬出させる。第１の処理装置１０を構成する第１制御装置１４は、第１処理部１１を構成する各部に対し駆動の態様を制御するための制御信号を出力する。
[Overall configuration and operation of transport system]
As illustrated in FIG. 1, the transport system includes a first processing device 10, a second processing device 20, and a transport device 30. The 1st processing part 11 which constitutes the 1st processing device 10 as processing of the 1st process which is processing which mounts a semiconductor chip on panel S as a subject carried in from the 1st carrying-in part 12 is carried out. A COG process (Chip On Glass) is performed, and the panel S subjected to the COG process is unloaded from the first unloading unit 13. The first control device 14 configuring the first processing device 10 outputs a control signal for controlling the driving mode to each unit configuring the first processing unit 11.
第２の処理装置２０を構成する第２処理部２１は、第２搬入部２２から搬入されるパネルＳにフレキシブル基板を貼り付ける処理である第２の工程の処理としてのＦＯＧ処理（ＦｉｌｍＯｎＧｌａｓｓ）を行い、ＦＯＧ処理の施されたパネルＳを第２搬出部２３から搬出させる。第２の処理装置２０を構成する第２制御装置２４は、第２処理部２１を構成する各部に対し駆動の態様を制御するための制御信号を出力する。 The second processing unit 21 constituting the second processing apparatus 20 performs FOG processing (FilmOnGlass) as processing of the second step, which is processing of attaching a flexible substrate to the panel S carried in from the second carry-in unit 22. The panel S subjected to the FOG process is carried out from the second carry-out unit 23. The second control device 24 configuring the second processing device 20 outputs a control signal for controlling the driving mode to each unit configuring the second processing unit 21.
搬送装置３０を構成する搬送部３１は、第１処理部１１と第２処理部２１との間に配置され、また、搬送部３１を構成する搬送ステージ３１Ｓには、第１搬出部１３から搬出されるパネルＳを第２搬入部２２や搬送ステージ３１Ｓ上の各部へ搬送する搬送ロボット３２が搭載されている。 The transport unit 31 configuring the transport device 30 is disposed between the first processing unit 11 and the second processing unit 21, and is transported from the first unloading unit 13 to the transport stage 31 </ b> S configuring the transport unit 31. A transfer robot 32 is mounted to transfer the panel S to be transferred to each part on the second carry-in unit 22 and the transfer stage 31S.
搬送ステージ３１Ｓにおいて搬送ロボット３２よりも第１搬出部１３側には、搬送ロボット３２によって搬送されているパネルＳを撮像する撮像装置３３が搭載されている。また、搬送ステージ３１Ｓにおいて搬送ロボット３２に対する撮像装置３３側とは反対側には、第１トレイ保持部３４、第２トレイ保持部３５、第１ストッカー３６、及び第２ストッカー３７が搭載され、さらに第１搬送機構ＴＲ１、第２搬送機構ＴＲ２、及び第３搬送機構ＴＲ３が搭載されている。搬送装置３０を構成する制御部及びストッカー制御部としての搬送制御装置４１は、搬送部３１を構成するこれらの各部に対し駆動の態様、言い換えれば動作を制御するための制御信号を出力する。 An imaging device 33 that images the panel S being transported by the transport robot 32 is mounted on the transport stage 31S closer to the first unloading unit 13 than the transport robot 32 is. A first tray holding unit 34, a second tray holding unit 35, a first stocker 36, and a second stocker 37 are mounted on the conveyance stage 31S on the opposite side of the conveyance robot 32 from the imaging device 33 side. A first transport mechanism TR1, a second transport mechanism TR2, and a third transport mechanism TR3 are mounted. The transport control device 41 serving as a control unit and a stocker control unit constituting the transport device 30 outputs a drive signal, in other words, a control signal for controlling the operation, to each of the parts constituting the transport unit 31.
第１トレイ保持部３４は、１枚のトレイ３０Ｔを搬送ステージ３１Ｓ上で保持する部分であって、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔには、搬送ロボット３２による作業が行われる。例えば、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔには、第１搬出部１３から搬出されたパネルＳが搬送ロボット３２によって搬送され、これによりパネルＳがトレイ３０Ｔに回収される。また、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔに対しては、トレイ３０Ｔに収容されたパネルＳが搬送ロボット３２によって搬送され、これにより、第２搬入部２２にパネルＳが供給される。なお、トレイ３０Ｔには、１つのパネルＳを収容するパネル収容部が複数形成されている。 The first tray holding unit 34 is a part that holds one tray 30T on the transfer stage 31S, and the transfer robot 32 performs an operation on the tray 30T held by the first tray holding unit 34. For example, the panel S carried out from the first carry-out unit 13 is carried to the tray 30T held by the first tray holding unit 34 by the carrying robot 32, and thereby the panel S is collected in the tray 30T. In addition, the panel S accommodated in the tray 30T is transported by the transport robot 32 to the tray 30T held by the first tray holding unit 34, whereby the panel S is supplied to the second carry-in unit 22. . The tray 30T is formed with a plurality of panel accommodating portions that accommodate one panel S.
第２トレイ保持部３５は、これもまた１枚のトレイ３０Ｔを搬送ステージ３１Ｓ上で保持する部分であって、第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔに対する搬送ロボット３２による作業が行われない。そして、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔとは異なり、第２トレイ保持部３５に保持されるトレイ３０Ｔには、パネルＳが収容されない。 The second tray holding unit 35 is also a part that holds one tray 30T on the transfer stage 31S, and the transfer robot 32 performs an operation on the tray 30T held by the second tray holding unit 35. Absent. Unlike the tray 30T held by the first tray holding unit 34, the panel S is not accommodated in the tray 30T held by the second tray holding unit 35.
第１ストッカー３６は、搬送ステージ３１Ｓ上において複数のトレイ３０Ｔを貯める部分であって、貯められた複数のトレイ３０Ｔを１枚ずつ搬出することで、第１トレイ保持部３４へトレイ３０Ｔを供給する。また、第１ストッカー３６は、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔを１枚ずつ収容し、これにより、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔを回収する。 The first stocker 36 is a portion that stores the plurality of trays 30T on the transport stage 31S, and supplies the tray 30T to the first tray holding unit 34 by carrying out the stored plurality of trays 30T one by one. . Further, the first stocker 36 accommodates the trays 30T held by the first tray holding unit 34 one by one, thereby collecting the trays 30T of the first tray holding unit 34.
第２ストッカー３７は、搬送ステージ３１Ｓ上において複数のトレイ３０Ｔを貯める部分であって、貯められた複数のトレイ３０Ｔを１枚ずつ搬出することで第２トレイ保持部３５にトレイ３０Ｔを供給する。また、第２ストッカー３７は、第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔを１枚ずつ収容し、これにより第２トレイ保持部３５のトレイ３０Ｔを回収する。 The second stocker 37 is a portion that stores the plurality of trays 30T on the transport stage 31S, and supplies the tray 30T to the second tray holding unit 35 by carrying out the stored plurality of trays 30T one by one. Further, the second stocker 37 accommodates the trays 30T held by the second tray holding unit 35 one by one, thereby collecting the trays 30T of the second tray holding unit 35.
第１搬送機構ＴＲ１は、トレイ３０Ｔを搬送する搬送機構であって、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔを第２トレイ保持部３５に搬入し、また第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔを第１トレイ保持部３４に搬入する。 The first transport mechanism TR1 is a transport mechanism that transports the tray 30T, and carries the tray 30T held by the first tray holding unit 34 into the second tray holding unit 35 and holds it by the second tray holding unit 35. The tray 30 </ b> T is carried into the first tray holder 34.
第２搬送機構ＴＲ２は、トレイ３０Ｔを搬送する搬送機構であって、第１ストッカー３６に貯められたトレイ３０Ｔを第１トレイ保持部３４に搬送することで、第１トレイ保持部３４に対するトレイ３０Ｔの供給を行う。また、第２搬送機構ＴＲ２は、第１トレイ保持部３４に保持されたトレイ３０Ｔを第１ストッカー３６に搬送することで、第１ストッカー３６へのトレイ３０Ｔの回収を行う。 The second transport mechanism TR2 is a transport mechanism that transports the tray 30T, and transports the tray 30T stored in the first stocker 36 to the first tray holding unit 34, whereby the tray 30T with respect to the first tray holding unit 34 is transported. Supply. The second transport mechanism TR2 collects the tray 30T to the first stocker 36 by transporting the tray 30T held by the first tray holder 34 to the first stocker 36.
第３搬送機構ＴＲ３は、トレイ３０Ｔを搬送する搬送機構であって、第２ストッカー３７に貯められたトレイ３０Ｔを第２トレイ保持部３５に搬送することで、第２トレイ保持部３５に対するトレイ３０Ｔの供給を行う。また、第２搬送機構ＴＲ２は、第２トレイ保持部３５に保持されたトレイ３０Ｔを第２ストッカー３７に搬送することで、第２ストッカー３７へのトレイ３０Ｔの回収を行う。 The third transport mechanism TR3 is a transport mechanism that transports the tray 30T. The third transport mechanism TR3 transports the tray 30T stored in the second stocker 37 to the second tray holding unit 35, whereby the tray 30T with respect to the second tray holding unit 35 is transported. Supply. In addition, the second transport mechanism TR <b> 2 collects the tray 30 </ b> T to the second stocker 37 by transporting the tray 30 </ b> T held by the second tray holding unit 35 to the second stocker 37.
［搬送システムの電気的構成］
以下、上述した搬送システムの電気的構成について、図２を参照して説明する。搬送システムに備えられた第１制御装置１４、第２制御装置２４、及び搬送制御装置４１の各々は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。
このうち搬送制御装置４１は、主制御部４２、副制御部４３、記憶部４４、モーター駆動用入出力部４５、及び通信用入出力部４６を有している。
[Electric configuration of transport system]
Hereinafter, the electrical configuration of the above-described transport system will be described with reference to FIG. Each of the first control device 14, the second control device 24, and the transport control device 41 provided in the transport system includes a central processing unit (CPU), a nonvolatile memory (ROM), and a volatile memory (RAM). It is mainly composed of a microcomputer.
Among these, the transport control device 41 includes a main control unit 42, a sub-control unit 43, a storage unit 44, a motor drive input / output unit 45, and a communication input / output unit 46.
主制御部４２は、記憶部４４に記憶された搬送プログラムを解釈し、搬送プログラムに基づく搬送ロボット３２の軌道を生成する。また、主制御部４２は、各モーターに対する位置指令を生成し、この位置指令を副制御部４３に出力する。 The main control unit 42 interprets the transfer program stored in the storage unit 44 and generates a trajectory of the transfer robot 32 based on the transfer program. Further, the main control unit 42 generates a position command for each motor and outputs the position command to the sub-control unit 43.
副制御部４３は、主制御部４２から入力された位置指令と、各モーターに接続された回転検出器からのフィードバック信号とに基づいて電流指令を生成し、この電流指令に基づくＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部４５に出力する。 The sub control unit 43 generates a current command based on the position command input from the main control unit 42 and the feedback signal from the rotation detector connected to each motor, and generates a PWM signal based on the current command. And output to the motor drive input / output unit 45.
記憶部４４には、搬送装置３０を駆動するための搬送プログラムが記憶され、搬送プログラムには、例えば、搬送ロボット３２のエンドエフェクターを駆動するためのピックプログラム、及び搬送ロボット３２のアームを駆動するためのアーチプログラム等が含まれる。また、搬送プログラムには、例えば、第１搬送機構ＴＲ１を駆動するためのモーター、第２搬送機構ＴＲ２を駆動するためのモーター、第３搬送機構ＴＲ３を駆動するためのモーターの各々を所定の順序で駆動するためのトレイ搬送プログラムが含まれている。さらに、搬送プログラムには、搬送装置３０にて行われる動作のモードを選択するためのモード選択プログラムが含まれている。 The storage unit 44 stores a transfer program for driving the transfer device 30, and the transfer program drives, for example, a pick program for driving the end effector of the transfer robot 32 and an arm of the transfer robot 32. Arch program etc. are included. The transport program includes, for example, a motor for driving the first transport mechanism TR1, a motor for driving the second transport mechanism TR2, and a motor for driving the third transport mechanism TR3 in a predetermined order. A tray transport program for driving with is included. Further, the transport program includes a mode selection program for selecting a mode of operation performed in the transport device 30.
また、記憶部４４は、パネル数量データ記憶部４４Ａ及びトレイ数量データ記憶部４４Ｂを有している。パネル数量データ記憶部４４Ａには、トレイ３０Ｔに収容されているパネルＳの数量に関するデータがトレイ３０Ｔごとに記憶され、他方、トレイ数量データ記憶部４４Ｂには、空きトレイ３０Ｔの数量に関するデータが記憶されている。 The storage unit 44 includes a panel quantity data storage unit 44A and a tray quantity data storage unit 44B. The panel quantity data storage unit 44A stores data relating to the quantity of the panels S accommodated in the tray 30T for each tray 30T, while the tray quantity data storage unit 44B stores data relating to the quantity of the empty tray 30T. Has been.
モーター駆動用入出力部４５には、各モーターを回転駆動させるモーター駆動部５１〜５４が接続されている。モーター駆動部５１〜５４の各々には、搬送ロボット３２を駆動するロボットモーター３２Ｍ、第１搬送機構ＴＲ１を駆動するモーター、第２搬送機構ＴＲ２を駆動するモーター、及び第３搬送機構ＴＲ３を駆動するモーターが、一対一で順に接続されている。モーター駆動用入出力部４５は、副制御部４３から入力されたＰＷＭ信号を各モーター駆動部５１〜５４に出力し、各モーター駆動部５１〜５４は、入力されたＰＷＭ信号に基づいて各モーターの駆動電流を生成して各モーターに供給する。また、モーター駆動用入出力部４５には、各モーターの回転検出器が接続され、この回転検出器からのフィードバック信号が入力される。 The motor driving input / output unit 45 is connected to motor driving units 51 to 54 that rotate and drive each motor. Each of the motor driving units 51 to 54 drives a robot motor 32M that drives the transfer robot 32, a motor that drives the first transfer mechanism TR1, a motor that drives the second transfer mechanism TR2, and a third transfer mechanism TR3. The motors are connected one by one in order. The motor drive input / output unit 45 outputs the PWM signal input from the sub-control unit 43 to each motor drive unit 51-54, and each motor drive unit 51-54 receives each motor based on the input PWM signal. Is generated and supplied to each motor. The motor drive input / output unit 45 is connected to a rotation detector of each motor, and a feedback signal is input from the rotation detector.
通信用入出力部４６には、上述の第１の処理装置１０に搭載された第１制御装置１４と、同じく上述の第２の処理装置２０に搭載された第２制御装置２４とが接続されている。このうち、第１制御装置１４は、第１搬出部１３に回収されるべきパネルＳがあるときに、回収開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。また、第１制御装置１４は、第１処理部１１におけるＣＯＧ処理が停止したときに、ＣＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。他方、第２制御装置２４は、第２の処理装置２０の第２搬入部２２に部品を供給する必要があるときに、供給開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。また、第２制御装置２４は、第２処理部２１におけるＦＯＧ処理が停止したときに、ＦＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。通信用入出力部４６は、第１制御装置１４及び第２制御装置２４から入力された各種の信号に処理を行って処理結果を出力し、主制御部４２がその処理結果を取得する。 The communication input / output unit 46 is connected to the first control device 14 mounted on the first processing device 10 and the second control device 24 mounted on the second processing device 20. ing. Among these, the first control device 14 generates a collection start signal and outputs it to the communication input / output unit 46 when there is a panel S to be collected in the first carry-out unit 13. Further, the first control device 14 generates a COG process stop signal and outputs it to the communication input / output unit 46 when the COG process in the first processing unit 11 stops. On the other hand, the second control device 24 generates a supply start signal and outputs it to the communication input / output unit 46 when it is necessary to supply components to the second carry-in unit 22 of the second processing device 20. Further, when the FOG process in the second processing unit 21 is stopped, the second control device 24 generates an FOG process stop signal and outputs it to the communication input / output unit 46. The communication input / output unit 46 processes various signals input from the first control device 14 and the second control device 24 and outputs processing results, and the main control unit 42 acquires the processing results.
［動作モード選択処理］
次に、上述した搬送装置３０にて行われる動作のモードを選択するときに、主制御部４２にて行われる動作モード選択処理の手順について、図３を参照して説明する。なお、動作モード選択処理とは、第１の処理装置１０からのＣＯＧ処理停止信号、及び第２の処理装置２０からのＦＯＧ処理停止信号のいずれかが、通信用入出力部４６を介して主制御部４２に入力されたときに行われる割り込み処理である。そして、動作モード選択処理では、搬送制御装置４１によって搬送装置３０の動作モードとして、パネル供給モード及びパネル回収モードのいずれかが選択される。また、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０の両方が稼働しているときには、搬送制御装置４１は、通常搬送モードでの動作を継続して選択している。
[Operation mode selection processing]
Next, the procedure of the operation mode selection process performed by the main control unit 42 when selecting the mode of the operation performed by the transfer device 30 will be described with reference to FIG. In the operation mode selection process, either the COG process stop signal from the first processing apparatus 10 or the FOG process stop signal from the second processing apparatus 20 is transmitted via the communication input / output unit 46. This is an interrupt process performed when input to the control unit 42. In the operation mode selection process, the transport control device 41 selects either the panel supply mode or the panel collection mode as the operation mode of the transport device 30. Further, when both the first processing device 10 and the second processing device 20 are operating, the transport control device 41 continues to select the operation in the normal transport mode.
通信用入出力部４６から上述の停止信号のいずれかが入力されると、主制御部４２は搬送装置データの読み出しを行う（ステップＳ１１）。このステップＳ１１では、主制御部４２が、搬送ステージ３１Ｓ上のトレイ３０Ｔに収容されているパネルＳの数量をパネル数量データ記憶部４４Ａから読み出し、また、搬送ステージ３１Ｓ上の空きトレイ３０Ｔの数量をトレイ数量データ記憶部４４Ｂから読み出す。なお、搬送装置データとは、こうしたパネルＳの数量に関するデータ及びトレイ３０Ｔの数量に関するデータであり、パネル供給モード及びパネル回収モードのいずれかによって処理が行われるごとに更新されるデータである。 When any of the above-described stop signals is input from the communication input / output unit 46, the main control unit 42 reads the transfer device data (step S11). In this step S11, the main control unit 42 reads the number of panels S accommodated in the tray 30T on the transport stage 31S from the panel quantity data storage unit 44A, and also determines the number of empty trays 30T on the transport stage 31S. Read from the tray quantity data storage unit 44B. The transport device data is data regarding the quantity of the panel S and data regarding the quantity of the tray 30T, and is updated every time processing is performed in either the panel supply mode or the panel collection mode.
そして、主制御部４２は、第２の処理装置２０と第１の処理装置１０とのいずれが停止しているのかを通信用入出力部４６に入力された停止信号から判断する（ステップＳ１２、ステップＳ１３）。そして、主制御部４２が、第２の処理装置２０と第１の処理装置１０との両方が停止していると判断すると（ステップＳ１２：ＹＥＳ、ステップＳ１３：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。なお、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０とが稼働することで通常搬送モードが選択される場合には、第１の処理装置１０にて単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を第１処理数とし、第２の処理装置２０にて単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を第２処理数とするとき、第１処理数と第２処理数とが略同一である。つまり、第１の処理装置１０の処理速度と第２の処理装置２０の処理速度とが略同一である。 Then, the main control unit 42 determines which one of the second processing device 20 and the first processing device 10 is stopped from the stop signal input to the communication input / output unit 46 (step S12, Step S13). When the main control unit 42 determines that both the second processing device 20 and the first processing device 10 are stopped (step S12: YES, step S13: YES), the main control unit 42 The operation mode selection process is terminated without changing the operation mode from the normal transport mode. In addition, when the normal transport mode is selected by operating the first processing apparatus 10 and the second processing apparatus 20, the panel S processed per unit time by the first processing apparatus 10 is selected. When the quantity is the first processing number and the number of panels S processed per unit time in the second processing device 20 is the second processing number, the first processing number and the second processing number are substantially the same. is there. That is, the processing speed of the first processing device 10 and the processing speed of the second processing device 20 are substantially the same.
また、主制御部４２は、第１の処理装置１０が停止し、且つ、第２の処理装置２０が稼働していると判断すると（ステップＳ１２：ＹＥＳ、ステップＳ１３：ＮＯ）、主制御部４２は、先に読み出した搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上のトレイ３０Ｔに回収されたパネルＳがあるか否かを判断する（ステップＳ１４）。ここで、回収されたパネルＳがない場合には（ステップＳ１４：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、回収されたパネルＳがある場合には（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル供給モードに変更する（ステップＳ１５）。このように、パネル供給モードが選択されるときには、第２の処理装置２０での第２処理数が、第１の処理装置１０での第１処理数よりも大きい。つまり、第２の処理装置２０の処理速度が第１の処理装置１０の処理速度よりも大きい。 When the main control unit 42 determines that the first processing device 10 is stopped and the second processing device 20 is operating (step S12: YES, step S13: NO), the main control unit 42 Determines whether or not there is a panel S collected in the tray 30T on the transport stage 31S from the previously read transport device data (step S14). Here, when there is no collected panel S (step S14: NO), the main control unit 42 ends the operation mode selection process without changing the operation mode from the normal transport mode. On the other hand, when there is a recovered panel S (step S14: YES), the main control unit 42 changes the operation mode from the normal transport mode to the panel supply mode (step S15). Thus, when the panel supply mode is selected, the second processing number in the second processing device 20 is larger than the first processing number in the first processing device 10. That is, the processing speed of the second processing device 20 is higher than the processing speed of the first processing device 10.
そして、主制御部４２は、第１の処理装置１０が稼働していると判断すると（ステップＳ１２：ＮＯ）、主制御部４２は、先に読み出した搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上に空きトレイ３０Ｔがあるか否かを判断する（ステップＳ１６）。ここで、空きトレイ３０Ｔがない場合には（ステップＳ１６：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、空きトレイ３０Ｔがある場合には（ステップＳ１６：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル回収モードに変更する（ステップＳ１７）。なお、空きトレイ３０Ｔとは、トレイ３０Ｔに形成されたパネル収容部にパネルＳが収容されていないトレイ３０Ｔのことである。このように、パネル回収モードが選択されるときには、第１の処理装置１０での第１処理数が、第２の処理装置２０での第２処理数よりも大きい。つまり、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度よりも大きい。 When the main control unit 42 determines that the first processing apparatus 10 is operating (step S12: NO), the main control unit 42 uses an empty tray on the transfer stage 31S from the transfer device data read out earlier. It is determined whether there is 30T (step S16). Here, when there is no empty tray 30T (step S16: NO), the main control unit 42 ends the operation mode selection process without changing the operation mode from the normal transport mode. On the other hand, when there is an empty tray 30T (step S16: YES), the main control unit 42 changes the operation mode from the normal transport mode to the panel collection mode (step S17). The empty tray 30T is a tray 30T in which the panel S is not accommodated in the panel accommodating portion formed on the tray 30T. Thus, when the panel collection mode is selected, the first processing number in the first processing apparatus 10 is larger than the second processing number in the second processing apparatus 20. That is, the processing speed of the first processing device 10 is higher than the processing speed of the second processing device 20.
［搬送システムの作用］
次に、搬送システムにて行われるパネルＳ及びトレイ３０Ｔの搬送態様について図４〜図６を参照して説明する。なお、以下では、搬送装置３０の動作モードが上述した通常搬送モードである場合、パネル回収モードである場合、及び、パネル供給モードである場合の搬送態様について順に説明する。
[Operation of transport system]
Next, the conveyance mode of the panel S and the tray 30T performed in the conveyance system will be described with reference to FIGS. In the following, the transport modes when the operation mode of the transport device 30 is the normal transport mode described above, the panel collection mode, and the panel supply mode will be described in order.
［通常搬送モード］
搬送装置３０での動作モードが通常搬送モードに選択されている場合、第１の処理装置１０にてＣＯＧ処理の行われたパネルＳが、第１搬出部１３における搬送ロボット３２の動作範囲に進入すると、第１制御装置１４が、回収開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。そして、通信用入出力部４６が、回収開始信号に基づき生成した回収すべきパネルＳがあることを示す信号を主制御部４２に出力する。これにより、主制御部４２がロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して副制御部４３に出力し、副制御部４３が位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部４５に出力する。次いで、モーター駆動用入出力部４５がモーター駆動部５１にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部５１がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成してロボットモーター３２Ｍに出力する。
[Normal transport mode]
When the operation mode of the transfer device 30 is selected as the normal transfer mode, the panel S subjected to the COG process in the first processing device 10 enters the operation range of the transfer robot 32 in the first carry-out unit 13. Then, the first control device 14 generates a collection start signal and outputs it to the communication input / output unit 46. Then, the communication input / output unit 46 outputs a signal indicating that there is a panel S to be collected generated based on the collection start signal to the main control unit 42. As a result, the main control unit 42 generates a position command for the robot motor 32M and outputs it to the sub-control unit 43. The sub-control unit 43 generates a PWM signal from the current command generated based on the position command and the feedback signal. Output to the motor drive input / output unit 45. Next, the motor drive input / output unit 45 outputs a PWM signal to the motor drive unit 51, and the motor drive unit 51 generates a drive current based on the PWM signal and outputs it to the robot motor 32M.
これにより、ロボットモーター３２Ｍが駆動され、図４（ａ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１搬出部１３のパネルＳ上に移動し、パネルＳを保持する。 As a result, the robot motor 32M is driven, and the end effector of the transport robot 32 moves onto the panel S of the first carry-out unit 13 and holds the panel S, as shown in FIG.
また、第２搬入部２２に対するパネルＳの搬入が必要になると、第２制御装置２４が、供給開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。そして、通信用入出力部４６が、供給開始信号に基づき生成したパネルＳの供給を開始すべきことを示す信号を主制御部４２に出力し、これにより、主制御部４２がロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。 Further, when the panel S needs to be carried into the second carry-in unit 22, the second control device 24 generates a supply start signal and outputs it to the communication input / output unit 46. Then, the communication input / output unit 46 outputs a signal indicating that the supply of the panel S generated based on the supply start signal should be started to the main control unit 42, whereby the main control unit 42 outputs the signal to the robot motor 32 </ b> M. A position command is generated and output, and the motor drive unit 51 drives the robot motor 32M based on the position command.
その結果、図４（ｂ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第２搬入部２２上に移動し、パネルＳの保持を解除して第２搬入部２２上にパネルＳを載置する。 As a result, as shown in FIG. 4B, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the second carry-in portion 22 while holding the panel S, releases the hold of the panel S, and moves into the second carry-in. The panel S is placed on the part 22.
こうした通常搬送モードでは、搬送ロボット３２による第１搬出部１３から第２搬入部２２へのパネルＳの搬送が繰り返し行われる。なお、通常搬送モードにて第１搬出部１３から第２搬入部２２へのパネルＳの搬送にかかる時間は、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０にてパネルＳの処理にかかる時間と比べて、無視できる程度に小さい。そのため、搬送システムにおいて、第１の処理装置１０での処理、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間での搬送、及び第２の処理装置２０での処理にかかる時間は、各処理装置１０，２０にて処理にかかる時間の和と見なすことができる。 In such a normal transfer mode, the transfer of the panel S from the first carry-out unit 13 to the second carry-in unit 22 by the transfer robot 32 is repeatedly performed. Note that the time required for transporting the panel S from the first carry-out unit 13 to the second carry-in unit 22 in the normal transport mode is related to the processing of the panel S by the first processing device 10 and the second processing device 20. Compared to time, it is negligibly small. Therefore, in the transfer system, the time required for the processing in the first processing apparatus 10, the transfer between the first processing apparatus 10 and the second processing apparatus 20, and the processing in the second processing apparatus 20 is as follows. It can be regarded as the sum of the time required for processing in each of the processing devices 10 and 20.
［パネル回収モード］
搬送装置３０での動作モードがパネル回収モードに選択されている場合、第２の処理装置２０にて処理エラーが発生し、第２の処理装置２０が停止している。そのため、第２制御装置２４が、ＦＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力し、第２の処理装置２０が停止していることを示す信号が通信用入出力部４６から主制御部４２に入力されている。
[Panel collection mode]
When the operation mode of the transport device 30 is selected as the panel collection mode, a processing error has occurred in the second processing device 20, and the second processing device 20 is stopped. Therefore, the second control device 24 generates an FOG processing stop signal and outputs it to the communication input / output unit 46, and a signal indicating that the second processing device 20 is stopped is sent from the communication input / output unit 46. Input to the main control unit 42.
ここで、第１の処理装置１０にてＣＯＧ処理の行われたパネルＳが、第１搬出部１３における搬送ロボット３２の動作範囲に進入すると、第１制御装置１４が、回収開始信号を生成して通信用入出力部４６に出力する。そして、回収するべきパネルＳがあることを示す信号が通信用入出力部４６から主制御部４２に入力され、主制御部４２がロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。 Here, when the panel S on which the COG process is performed in the first processing apparatus 10 enters the operation range of the transport robot 32 in the first carry-out unit 13, the first control apparatus 14 generates a recovery start signal. To the communication input / output unit 46. Then, a signal indicating that there is a panel S to be collected is input from the communication input / output unit 46 to the main control unit 42, and the main control unit 42 generates and outputs a position command for the robot motor 32M. 51 drives the robot motor 32M based on this position command.
これにより、図５（ａ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１搬出部１３のパネルＳ上に移動し、パネルＳを保持する。そして、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔ上に移動し、パネルＳの保持を解除してトレイ３０ＴにパネルＳを載置する。こうした第１搬出部１３からトレイ３０ＴへのパネルＳの搬送が、トレイ３０Ｔに形成されたパネル収容部の全てにパネルＳが収容されるまで繰り返し行われる。 Thereby, as shown in FIG. 5A, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the panel S of the first carry-out unit 13 and holds the panel S. Then, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the tray 30T of the first tray holding unit 34 while holding the panel S, releases the holding of the panel S, and places the panel S on the tray 30T. The transport of the panel S from the first carry-out portion 13 to the tray 30T is repeatedly performed until the panel S is accommodated in all the panel accommodating portions formed on the tray 30T.
そして、トレイ３０Ｔのパネル収容部の全てにパネルＳが収容されると、主制御部４２は第２搬送機構ＴＲ２のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５３がこの位置指令に基づいて第２搬送機構ＴＲ２のモーターを駆動する。 When the panel S is accommodated in all the panel accommodating portions of the tray 30T, the main control unit 42 generates and outputs a position command for the motor of the second transport mechanism TR2, and the motor driving unit 53 responds to this position command. Based on this, the motor of the second transport mechanism TR2 is driven.
これにより、図５（ｂ）に示されるように、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔが、第１ストッカー３６に回収される。このとき、新たに第１ストッカー３６に貯められるトレイ３０Ｔは、第１ストッカー３６に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目となるように回収される。 Thereby, as shown in FIG. 5B, the tray 30 </ b> T of the first tray holding unit 34 is collected by the first stocker 36. At this time, the tray 30T newly stored in the first stocker 36 is collected so as to be the first stage counted from the transport stage 31S side in the plurality of trays 30T accommodated in the first stocker 36.
こうしてトレイ３０Ｔの回収が行われると、主制御部４２は第１搬送機構ＴＲ１のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５２がこの位置指令に基づいて第１搬送機構ＴＲ１のモーターを駆動する。これにより、図５（ｃ）に示されるように、第２トレイ保持部３５のトレイ３０Ｔが、第１トレイ保持部３４に搬送される。 When the tray 30T is collected in this way, the main control unit 42 generates and outputs a position command for the motor of the first transport mechanism TR1, and the motor drive unit 52 generates a motor for the first transport mechanism TR1 based on the position command. Drive. Thereby, as shown in FIG. 5C, the tray 30 </ b> T of the second tray holding unit 35 is conveyed to the first tray holding unit 34.
そして、主制御部４２は第３搬送機構ＴＲ３のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５４がこの位置指令に基づいて第３搬送機構ＴＲ３のモーターを駆動する。これにより、図５（ｃ）に示されるように、第２ストッカー３７のトレイ３０Ｔが、第２トレイ保持部３５に供給される。このとき、第２トレイ保持部３５に供給されるトレイ３０Ｔは、第２ストッカー３７に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目のトレイ３０Ｔである。 Then, the main control unit 42 generates and outputs a position command for the motor of the third transport mechanism TR3, and the motor drive unit 54 drives the motor of the third transport mechanism TR3 based on this position command. As a result, as shown in FIG. 5C, the tray 30 </ b> T of the second stocker 37 is supplied to the second tray holding unit 35. At this time, the tray 30 </ b> T supplied to the second tray holding unit 35 is the first tray 30 </ b> T counted from the conveyance stage 31 </ b> S side in the plurality of trays 30 </ b> T accommodated in the second stocker 37.
パネル回収モードでは、こうした一連の処理が、第２の処理装置２０での処理が再開されるまで、あるいは、第１搬送部１３からのパネルＳの搬出が終了するまで、またあるいは、全てのトレイ３０ＴにパネルＳが収容されるまで繰り返される。そして、第２の処理装置２０での処理が再開されると、パネルＳの収容されたトレイ３０Ｔが第１ストッカー３６に貯められた状態で通常搬送モードでのパネルＳの搬送が行われる。 In the panel collection mode, such a series of processes is performed until the process in the second processing apparatus 20 is restarted, until the panel S is unloaded from the first transport unit 13, or all the trays. The process is repeated until the panel S is accommodated in 30T. When the processing in the second processing device 20 is resumed, the panel S is transported in the normal transport mode in a state where the tray 30T in which the panel S is stored is stored in the first stocker 36.
［パネル供給モード］
搬送装置３０での動作モードがパネル供給モードに選択されている場合、第２の処理装置２０での処理が再開され、第１の処理装置１０がパネルＳの供給待ちの状態になっている、あるいは、第１の処理装置１０での処理が停止している。そのため、第１制御装置１４は供給待ち信号若しくはＣＯＧ処理停止信号を生成して通信用入出力部４６に出力し、供給待ちの状態になっている若しくはＣＯＧ処理が停止していることを示す信号が通信用入出力部４６から主制御部４２に入力されている。
[Panel supply mode]
When the operation mode in the transport device 30 is selected as the panel supply mode, the processing in the second processing device 20 is resumed, and the first processing device 10 is in a state of waiting for supply of the panel S. Or the process in the 1st processing apparatus 10 has stopped. Therefore, the first control device 14 generates a supply waiting signal or a COG processing stop signal and outputs it to the communication input / output unit 46 to indicate that the supply waiting state or the COG processing is stopped. Is input from the communication input / output unit 46 to the main control unit 42.
これにより、主制御部４２はロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。その結果、図６（ａ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔ上に移動し、トレイ３０Ｔ上のパネルＳを保持する。そして、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第２搬入部２２上に移動し、パネルＳの保持を解除して第２搬入部２２上にパネルＳを載置する。 Thus, the main control unit 42 generates and outputs a position command for the robot motor 32M, and the motor driving unit 51 drives the robot motor 32M based on the position command. As a result, as shown in FIG. 6A, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the tray 30T of the first tray holding unit 34 and holds the panel S on the tray 30T. Then, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the second carry-in unit 22 while holding the panel S, releases the hold of the panel S, and places the panel S on the second carry-in unit 22.
そして、主制御部４２は第３搬送機構ＴＲ３のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５４がこの位置指令に基づいて第３搬送機構ＴＲ３のモーターを駆動する。 Then, the main control unit 42 generates and outputs a position command for the motor of the third transport mechanism TR3, and the motor drive unit 54 drives the motor of the third transport mechanism TR3 based on this position command.
これにより、図６（ａ）に示されるように、第２トレイ保持部３５に保持されている空きトレイ３０Ｔが第２ストッカー３７に回収される。このとき、新たに第１ストッカー３６に貯められるトレイ３０Ｔは、第１ストッカー３６に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目となるように回収される。 Thereby, as shown in FIG. 6A, the empty tray 30 </ b> T held in the second tray holding unit 35 is collected in the second stocker 37. At this time, the tray 30T newly stored in the first stocker 36 is collected so as to be the first stage counted from the transport stage 31S side in the plurality of trays 30T accommodated in the first stocker 36.
続いて、主制御部４２は第１搬送機構ＴＲ１のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５２がこの位置指令に基づいて第１搬送機構ＴＲ１のモーターを駆動する。これにより、図６（ｂ）に示されるように、第１トレイ保持部３４に保持されている空きトレイ３０Ｔが第２トレイ保持部３５に搬入される。 Subsequently, the main control unit 42 generates and outputs a position command for the motor of the first transport mechanism TR1, and the motor drive unit 52 drives the motor of the first transport mechanism TR1 based on the position command. Thereby, as shown in FIG. 6B, the empty tray 30 </ b> T held in the first tray holding unit 34 is carried into the second tray holding unit 35.
そして、主制御部４２は第２搬送機構ＴＲ２のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５３がこの位置指令に基づいて第２搬送機構ＴＲ２のモーターを駆動する。 The main control unit 42 generates and outputs a position command for the motor of the second transport mechanism TR2, and the motor drive unit 53 drives the motor of the second transport mechanism TR2 based on the position command.
これにより、図６（ｂ）に示されるように、パネルＳが収容された状態で第１ストッカー３６に貯められたトレイ３０Ｔが、第１トレイ保持部３４に搬入される。このとき、第１トレイ保持部３４に搬入されるトレイ３０Ｔは、第１ストッカー３６に収容された複数のトレイ３０Ｔにおける搬送ステージ３１Ｓ側から数えて１段目のトレイ３０Ｔである。 Thereby, as shown in FIG. 6B, the tray 30 </ b> T stored in the first stocker 36 in a state where the panel S is accommodated is carried into the first tray holding portion 34. At this time, the tray 30T carried into the first tray holding unit 34 is the first tray 30T counted from the transport stage 31S side of the plurality of trays 30T accommodated in the first stocker 36.
そして、主制御部４２はロボットモーター３２Ｍに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部５１がこの位置指令に基づいてロボットモーター３２Ｍを駆動する。これにより、図６（ｃ）に示されるように、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔに収容されたパネルＳ上に移動し、パネルＳを保持する。そして、搬送ロボット３２のエンドエフェクターが、パネルＳを保持した状態で第２搬入部２２上に移動し、パネルＳの保持を解除して第２搬入部２２上にパネルＳを載置する。 The main control unit 42 generates and outputs a position command for the robot motor 32M, and the motor driving unit 51 drives the robot motor 32M based on the position command. As a result, as shown in FIG. 6C, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the panel S accommodated in the tray 30 </ b> T of the first tray holding unit 34 and holds the panel S. Then, the end effector of the transfer robot 32 moves onto the second carry-in unit 22 while holding the panel S, releases the hold of the panel S, and places the panel S on the second carry-in unit 22.
そして、上述したパネル回収モードによって第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔ及び第１ストッカー３６のトレイ３０Ｔに収容された全てのパネルＳが第２搬入部２２に搬入されると、搬送装置３０は、第１搬出部１３から新たなパネルＳが搬出されるまで待機する。なお、第１搬出部１３からパネルＳが搬出されたときには、搬送装置３０は、上述した通常搬送モードにてパネルＳの搬送を行う。 When all the panels S accommodated in the tray 30T of the first tray holding unit 34 and the tray 30T of the first stocker 36 are carried into the second carry-in unit 22 in the panel collection mode described above, the transport device 30 is Wait until a new panel S is unloaded from the first unloading unit 13. Note that when the panel S is unloaded from the first unloading unit 13, the transfer device 30 transfers the panel S in the normal transfer mode described above.
以上説明した実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）第２の処理装置２０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回る場合に、主制御部４２がパネル回収モードを選択し、これにより、搬送ロボット３２が第１の処理装置１０からトレイ３０ＴへのパネルＳの搬送を行うことで、トレイ３０ＴへのパネルＳの回収が行われる。そのため、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理によって律速されることが抑えられる。その結果、第１の処理装置１０から搬出されるパネルＳを第２の処理装置２０へ搬送する搬送装置３０によって処理装置１０，２０の稼働効率を高めることが可能となる。
According to the embodiment described above, the effects listed below can be obtained.
(1) When the processing speed of the first processing device 10 exceeds the processing speed of the second processing device 20 due to the stop of the second processing device 20, the main control unit 42 selects the panel collection mode, thereby The transport robot 32 transports the panel S from the first processing apparatus 10 to the tray 30T, whereby the collection of the panel S onto the tray 30T is performed. Therefore, it is possible to prevent the processing speed of the first processing device 10 from being limited by the processing of the second processing device 20. As a result, the operation efficiency of the processing devices 10 and 20 can be increased by the transport device 30 that transports the panel S carried out from the first processing device 10 to the second processing device 20.
（２）第１の処理装置１０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を下回る場合に、主制御部４２がパネル供給モードを選択し、搬送ロボット３２が、トレイ３０Ｔから第２の処理装置２０へのパネルＳの搬送を行うことによって、第２の処理装置２０へのパネルＳの供給が行われる。そのため、第２の処理装置２０の処理速度が第１の処理装置１０の処理によって律速されることが抑えられる。その結果、第１の処理装置１０から搬出されるパネルＳを第２の処理装置２０へ搬送する搬送装置３０によって処理装置１０，２０の稼働効率を高めることが可能となる。 (2) When the processing speed of the first processing apparatus 10 is lower than the processing speed of the second processing apparatus 20 due to the stop of the first processing apparatus 10, the main control unit 42 selects the panel supply mode, and the transfer robot 32 carries the panel S from the tray 30T to the second processing apparatus 20, whereby the panel S is supplied to the second processing apparatus 20. For this reason, the processing speed of the second processing device 20 is prevented from being limited by the processing of the first processing device 10. As a result, the operation efficiency of the processing devices 10 and 20 can be increased by the transport device 30 that transports the panel S carried out from the first processing device 10 to the second processing device 20.
（３）第２の処理装置２０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回り、且つ第１トレイ保持部３４のトレイ３０ＴにパネルＳが収容された場合に、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔが第１ストッカー３６に収容されることで、トレイ３０Ｔが第１ストッカー３６に回収される。加えて、第２ストッカー３７の空きトレイ３０Ｔが、第２トレイ保持部３５を介して第１トレイ保持部３４に搬出されることで、第１トレイ保持部３４にトレイ３０Ｔが供給される。そのため、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回る場合において、第１トレイ保持部３４のトレイ３０ＴがパネルＳで満たされることで第１の処理装置１０からパネルＳが回収され難くなることを抑えられる。 (3) The processing speed of the first processing apparatus 10 exceeds the processing speed of the second processing apparatus 20 by stopping the second processing apparatus 20, and the panel S is accommodated in the tray 30T of the first tray holding unit 34. In this case, the tray 30T of the first tray holding unit 34 is accommodated in the first stocker 36, whereby the tray 30T is collected by the first stocker 36. In addition, the empty tray 30T of the second stocker 37 is carried out to the first tray holding unit 34 via the second tray holding unit 35, whereby the tray 30T is supplied to the first tray holding unit 34. Therefore, when the processing speed of the first processing apparatus 10 exceeds the processing speed of the second processing apparatus 20, the tray 30 </ b> T of the first tray holding unit 34 is filled with the panel S so that the first processing apparatus 10 It is possible to prevent the panel S from being easily collected.
（４）第１の処理装置１０の停止によって第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を下回り、且つ第２トレイ保持部３５のトレイ３０ＴにパネルＳが収容されていない場合に、第２トレイ保持部３５のトレイ３０Ｔが第２ストッカー３７に収容されることで、トレイ３０Ｔが第２ストッカー３７に回収される。加えて、第１ストッカー３６のトレイ３０Ｔが第１トレイ保持部３４に搬出されることで、第１トレイ保持部３４にトレイ３０Ｔが供給される。そのため、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を下回る場合において、第１トレイ保持部３４のトレイ３０Ｔから第２の処理装置２０へパネルＳを供給できなくなることを抑えられる。 (4) When the first processing apparatus 10 is stopped, the processing speed of the first processing apparatus 10 is lower than the processing speed of the second processing apparatus 20, and the panel S is accommodated in the tray 30 </ b> T of the second tray holding unit 35. If not, the tray 30T of the second tray holding unit 35 is accommodated in the second stocker 37, whereby the tray 30T is collected in the second stocker 37. In addition, the tray 30T of the first stocker 36 is carried out to the first tray holding unit 34, whereby the tray 30T is supplied to the first tray holding unit 34. Therefore, when the processing speed of the first processing apparatus 10 is lower than the processing speed of the second processing apparatus 20, the panel S cannot be supplied from the tray 30T of the first tray holding unit 34 to the second processing apparatus 20. Can be suppressed.
（５）搬送ロボット３２の動作の制御と、第１ストッカー３６及び第２ストッカー３７の動作の制御との両方が単一の搬送制御装置４１によって制御される。そのため、搬送ロボット３２の動作を制御するための制御装置と、ストッカー３６，３７の動作を制御するための制御装置とが各別に搭載される場合と比べて、制御装置の搭載される空間を小さくすることができる。 (5) Both the control of the operation of the transfer robot 32 and the control of the operations of the first stocker 36 and the second stocker 37 are controlled by the single transfer control device 41. Therefore, the space in which the control device is mounted is made smaller compared to the case where the control device for controlling the operation of the transfer robot 32 and the control device for controlling the operation of the stockers 36 and 37 are separately mounted. can do.
なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・上述の実施形態は、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０のいずれかが停止することによって、稼働中の処理装置における処理速度が相対的に大きくなる場合に、動作モードが変更される構成であって、動作モード選択処理は、いずれかの処理装置１０，２０の停止時に行われる割り込み処理としている。こうした構成に限らず、稼働中の処理装置１０，２０における単位時間あたりの処理速度に基づいて動作モードが変更される構成であってもよく、この場合、動作モード選択処理は、所定の周期で行うようにすればよい。以下、こうした動作モード選択処理の手順について図７を参照して説明する。
The embodiment described above can be implemented with appropriate modifications as follows.
-In the above-described embodiment, when one of the first processing device 10 and the second processing device 20 stops, the operation mode is changed when the processing speed of the processing device in operation is relatively increased. In this configuration, the operation mode selection process is an interrupt process performed when any of the processing devices 10 and 20 is stopped. Not only such a configuration but also a configuration in which the operation mode is changed based on the processing speed per unit time in the processing apparatuses 10 and 20 in operation, and in this case, the operation mode selection process is performed at a predetermined cycle. You just have to do it. Hereinafter, the procedure of such an operation mode selection process will be described with reference to FIG.
図７に示されるように、主制御部４２は、まず、搬送装置データの読み出しを行う（ステップＳ２１）。このステップＳ２１では、主制御部４２が、上述したパネルＳの数量に関するデータとトレイ３０Ｔの数量に関するデータとに加えて、第１の処理装置１０において単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量である処理数Ｎ１と、第２の処理装置２０において単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量である処理数Ｎ２とを記憶部４４から読み出す。 As shown in FIG. 7, the main control unit 42 first reads the transfer device data (step S <b> 21). In step S21, the main control unit 42 uses the number of panels S processed per unit time in the first processing apparatus 10 in addition to the data related to the number of panels S and the data related to the number of trays 30T. A certain processing number N1 and a processing number N2, which is the number of panels S processed per unit time in the second processing device 20, are read from the storage unit 44.
なお、処理数Ｎ１，Ｎ２は、第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０の各々において単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量が計測されたものであってもよいし、各処理装置１０，２０での処理条件から推定されたものであってもよい。また、第１制御装置１４及び第２制御装置２４は、処理数Ｎ１，Ｎ２を所定の周期で算出して搬送制御装置４１の通信用入出力部４６に算出結果を出力し、主制御部４２は、通信用入出力部４６から取得した処理数Ｎ１，Ｎ２を記憶部４４に出力する。 The processing numbers N1 and N2 may be obtained by measuring the number of panels S processed per unit time in each of the first processing apparatus 10 and the second processing apparatus 20, It may be estimated from the processing conditions in the apparatuses 10 and 20. In addition, the first control device 14 and the second control device 24 calculate the processing numbers N1 and N2 at a predetermined cycle, and output the calculation result to the communication input / output unit 46 of the transport control device 41, and the main control unit 42 Outputs the processing numbers N <b> 1 and N <b> 2 acquired from the communication input / output unit 46 to the storage unit 44.
そして、主制御部４２は、処理数Ｎ１から処理数Ｎ２を引いた差と所定の閾値Ｎａ，Ｎｂとの関係を判断する（ステップＳ２２、ステップＳ２３）。上述した差が閾値Ｎａ以下であり（ステップＳ２２：ＮＯ）、且つ、閾値Ｎｂ以上であるときには（ステップＳ２３：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。なお、第１搬出部１３から第２搬入部２２までの１つのパネルＳの搬送にかかる時間は、一般に、第１の処理装置１０で１つのパネルＳの処理に要する時間や第２の処理装置２０で１つのパネルＳの処理に要する時間と比べて十分に短いため、閾値Ｎａ及び閾値Ｎｂはそれぞれ「０」に設定される。 Then, the main control unit 42 determines the relationship between the difference obtained by subtracting the processing number N2 from the processing number N1 and the predetermined threshold values Na and Nb (steps S22 and S23). When the above-described difference is not more than the threshold value Na (step S22: NO) and not less than the threshold value Nb (step S23: NO), the main control unit 42 does not change the operation mode from the normal transport mode. The selection process ends. Note that the time required for transporting one panel S from the first carry-out unit 13 to the second carry-in unit 22 is generally the time required for processing one panel S in the first processing device 10 or the second processing device. The threshold value Na and the threshold value Nb are each set to “0” since the time required for processing one panel S at 20 is sufficiently short.
他方、主制御部４２は、上述の差が閾値Ｎａ以下、且つ閾値Ｎｂより小さい、つまり、第２の処理装置２０の処理速度が第１の処理装置１０の処理速度を上回っていると判断すると（ステップＳ２２：ＮＯ、ステップＳ２３：ＹＥＳ）、主制御部４２は、搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上のトレイ３０Ｔに回収されたパネルＳがあるか否かを判断する（ステップＳ２４）。ここで、回収されたパネルＳがない場合には（ステップＳ２４：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、回収されたパネルＳがある場合には（ステップＳ２４：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル供給モードに変更し（ステップＳ２５）、動作モード選択処理を終了する。 On the other hand, the main control unit 42 determines that the above-described difference is equal to or smaller than the threshold value Na and smaller than the threshold value Nb, that is, the processing speed of the second processing device 20 exceeds the processing speed of the first processing device 10. (Step S22: NO, Step S23: YES), the main control unit 42 determines whether or not there is a panel S collected on the tray 30T on the transport stage 31S from the transport device data (Step S24). If there is no collected panel S (step S24: NO), the main control unit 42 ends the operation mode selection process without changing the operation mode from the normal transport mode. On the other hand, if there is a recovered panel S (step S24: YES), the main control unit 42 changes the operation mode from the normal transport mode to the panel supply mode (step S25), and ends the operation mode selection process. .
そして、主制御部４２は、上述の差が閾値Ｎａよりも大きい、つまり、第１の処理装置１０の処理速度が第２の処理装置２０の処理速度を上回っていると判断すると（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、主制御部４２は、搬送装置データから搬送ステージ３１Ｓ上に空きトレイ３０Ｔがあるか否かを判断する（ステップＳ２６）。ここで、空きトレイ３０Ｔがない場合には（ステップＳ２６：ＮＯ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、空きトレイ３０Ｔがある場合には（ステップＳ２６：ＹＥＳ）、主制御部４２は、動作モードを通常搬送モードからパネル回収モードに変更し（ステップＳ２７）、動作モード選択処理を終了する。 Then, the main control unit 42 determines that the above difference is larger than the threshold value Na, that is, the processing speed of the first processing device 10 exceeds the processing speed of the second processing device 20 (step S22: YES), the main control unit 42 determines whether or not there is an empty tray 30T on the transport stage 31S from the transport device data (step S26). Here, when there is no empty tray 30T (step S26: NO), the main control unit 42 ends the operation mode selection process without changing the operation mode from the normal transport mode. On the other hand, when there is an empty tray 30T (step S26: YES), the main control unit 42 changes the operation mode from the normal transport mode to the panel collection mode (step S27), and ends the operation mode selection process.
・上述の搬送システムでは、搬送ロボット３２によって、第１搬出部１３からパネルＳが搬出されないと第１の処理装置１０が待機状態となり、他方、第２搬入部２２にパネルＳが搬入されないと第２の処理装置２０が待機状態となる。ここで、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間での単位時間あたりに処理されるパネルＳの数量を処理数Ｎｔとする。また、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間で１つのパネルＳの搬送にかかる時間が、各処理装置１０，２０で１つのパネルＳの処理にかかる時間と比べて無視できない程度の長さであるとする。 In the above-described transfer system, the first processing apparatus 10 is in a standby state unless the panel S is unloaded from the first unloading unit 13 by the transfer robot 32, and on the other hand, if the panel S is not loaded into the second unloading unit 22 The second processing device 20 enters a standby state. Here, the number of panels S processed per unit time between the first processing device 10 and the second processing device 20 is defined as the processing number Nt. In addition, the time taken to transfer one panel S between the first processing device 10 and the second processing device 20 is ignored compared to the time taken to process one panel S in each processing device 10, 20. It is assumed that the length is not possible.
この場合、第１速度Ｖ１が、搬送速度Ｖｔと第２速度Ｖ２との和よりも大きくなると、第１の処理装置１０での処理の終了時に第１搬出部１３からパネルＳが搬出されなくなり、第１の処理装置１０に待機時間が発生することになる。他方、第２速度Ｖ２が、第１速度Ｖ１と搬送速度Ｖｔとの和よりも大きくなると、第２の処理装置２０での処理が開始できるときに第２搬入部２２にパネルＳが搬入されなくなり、第２の処理装置２０に待機時間が発生することになる。 In this case, when the first speed V1 is greater than the sum of the transport speed Vt and the second speed V2, the panel S is not unloaded from the first unloading unit 13 at the end of the process in the first processing apparatus 10, A waiting time occurs in the first processing apparatus 10. On the other hand, when the second speed V2 becomes larger than the sum of the first speed V1 and the transport speed Vt, the panel S is not carried into the second carry-in section 22 when the processing in the second processing device 20 can be started. Therefore, a waiting time occurs in the second processing device 20.
そこで、上述した通常搬送モードにてパネルＳの搬送が行われるためには、第１速度Ｖ１、第２速度Ｖ２、及び搬送速度Ｖｔの間に以下の関係が成り立つことが必要とされる。
Ｖ２−Ｖｔ≦Ｖ１≦Ｖ２＋Ｖｔ
Therefore, in order for the panel S to be transported in the normal transport mode described above, the following relationship needs to be established among the first speed V1, the second speed V2, and the transport speed Vt.
V2−Vt ≦ V1 ≦ V2 + Vt
したがって、搬送時間が無視できない程度に長い場合には、図７に示される閾値ＮａをＶｔとし、第１速度Ｖ１から第２速度Ｖ２を引いた差が、搬送速度Ｖｔよりも大きいときには、動作モードをパネル回収モードに変更するか否かの判断を行うようにすればよい。また、閾値Ｎｂを−Ｖｔとし、第１速度Ｖ１から第２速度Ｖ２を引いた差が、−Ｖｔよりも小さいときには、動作モードをパネル供給モードに変更するか否かの判断を行うようにすればよい。 Therefore, if the transport time is long enough to be ignored, the threshold value Na shown in FIG. 7 is set to Vt, and the difference between the first speed V1 and the second speed V2 is greater than the transport speed Vt, the operation mode Whether or not to change to the panel collection mode may be determined. When the difference between the first speed V1 and the second speed V2 is smaller than -Vt with the threshold value Nb set to -Vt, it is determined whether or not to change the operation mode to the panel supply mode. That's fine.
・主制御部４２は、通信用入出力部４６を介して上述の処理数Ｎ１及び処理数Ｎ２を所定の周期で取得し、上述の差が閾値Ｎａよりも大きいときに、図７に示されるステップ２４及びステップＳ２５の処理、つまり、パネル回収モードを選択するか否かを判断する割り込み処理を行ってもよい。 The main control unit 42 acquires the above-described processing number N1 and the processing number N2 at a predetermined cycle via the communication input / output unit 46, and when the above-described difference is larger than the threshold value Na, FIG. Processing of step 24 and step S25, that is, interrupt processing for determining whether or not to select the panel collection mode may be performed.
・主制御部４２は、通信用入出力部４６を介して上述の処理数Ｎ１及び処理数Ｎ２を所定の周期で取得し、上述の差が閾値Ｎｂよりも小さいときに、図７に示されるステップ２６及びステップＳ２７の処理、つまり、パネル供給モードを選択するか否かを判断する割り込み処理を行ってもよい。 The main control unit 42 acquires the above-described processing number N1 and the processing number N2 at a predetermined cycle via the communication input / output unit 46, and when the above-described difference is smaller than the threshold value Nb, it is shown in FIG. Processing of step 26 and step S27, that is, interrupt processing for determining whether or not to select the panel supply mode may be performed.
・第２の処理装置２０での処理速度が、第１の処理装置１０での処理速度を上回り、且つ、トレイ３０ＴにパネルＳが収容されていても、トレイ３０Ｔから第２搬入部２２へのパネルＳの搬入を行わなくともよい。こうした構成であっても、上記（１）、（３）、及び（４）に準じた効果を得ることができる。 Even if the processing speed in the second processing device 20 exceeds the processing speed in the first processing device 10 and the panel S is accommodated in the tray 30T, the tray 30T can transfer the second loading unit 22 to the second loading unit 22. It is not necessary to carry in the panel S. Even if it is such a structure, the effect according to said (1), (3) and (4) can be acquired.
・第１ストッカー３６、及び第２ストッカー３７を割愛してもよい。こうした構成であっても、上記（１）、（２）、及び（４）に準じた効果を得ることができる。
・パネル回収モードでは、トレイ３０Ｔに対するパネルＳの収容、パネルＳが収容されたトレイ３０Ｔの回収、及び空トレイ３０Ｔの供給が行われるようにしたが、トレイ３０Ｔに対するパネルＳの収容のみを行い、トレイ３０Ｔの回収と空トレイ３０Ｔの供給とはパネル回収モードの終了後に行うようにしてもよい。こうした構成であっても、上記（１）、（２）、及び（４）に準じた効果が得られるとともに、１回のパネル回収モードでの搬送によって１枚のトレイ３０Ｔに対してパネルＳが収容できる分だけ、処理装置１０，２０の稼働効率を高めることは可能である。
The first stocker 36 and the second stocker 37 may be omitted. Even if it is such a structure, the effect according to said (1), (2), and (4) can be acquired.
In the panel collection mode, the panel S is accommodated in the tray 30T, the tray 30T in which the panel S is accommodated, and the empty tray 30T is supplied, but only the panel S is accommodated in the tray 30T. The collection of the tray 30T and the supply of the empty tray 30T may be performed after the panel collection mode ends. Even with such a configuration, the effects according to the above (1), (2), and (4) can be obtained, and the panel S can be mounted on one tray 30T by one transport in the panel collection mode. It is possible to increase the operating efficiency of the processing apparatuses 10 and 20 by the amount that can be accommodated.
・パネル供給モードでは、トレイ３０ＴからのパネルＳの供給、空トレイ３０Ｔの回収、及びパネルＳを保持したトレイ３０Ｔの供給が行われるようにしたが、トレイ３０Ｔからのパネルの供給のみを行い、空トレイ３０Ｔの回収、及びトレイ３０Ｔの供給とはパネル供給モードの終了後に行うようにしてもよい。こうした構成であっても、上記（１）、〜（３）に準じた効果が得られるとともに、１回のパネル供給モードでの搬送によって１枚のトレイ３０Ｔに収容されたパネルＳを供給できる分だけ、処理装置１０，２０の稼働効率を高めることは可能である。 In the panel supply mode, the panel S is supplied from the tray 30T, the empty tray 30T is collected, and the tray 30T holding the panel S is supplied, but only the panel is supplied from the tray 30T. The collection of the empty tray 30T and the supply of the tray 30T may be performed after the panel supply mode ends. Even if it is such a structure, the effect according to said (1)-(3) can be acquired, and the panel S accommodated in one tray 30T can be supplied by conveyance in one panel supply mode. Only the operating efficiency of the processing devices 10 and 20 can be increased.
・搬送ロボット３２の動作を制御する制御部と、第１ストッカー３６及び第２ストッカー３７の動作を制御するストッカー制御部とを単一の搬送制御装置４１として具体化したが、制御部とストッカー制御部とを互いに異なる２つの制御装置として具体化してもよい。 The control unit that controls the operation of the transfer robot 32 and the stocker control unit that controls the operation of the first stocker 36 and the second stocker 37 are embodied as a single transfer control device 41. The unit may be embodied as two different control devices.
・第１の処理装置１０にて行われる処理と、第２の処理装置２０にて行われる処理とは、ＣＯＧ処理とＦＯＧ処理とに限らない。要は、対象物であるパネルＳに対して所定の処理を行う装置であって、第１の処理装置１０にて前工程の処理が行われ、且つ、第２の処理装置にて後工程の処理が行われれば、各処理装置１０にて行われる処理の種類は任意に変更可能である。 -The process performed in the 1st processing apparatus 10 and the process performed in the 2nd processing apparatus 20 are not restricted to a COG process and a FOG process. In short, it is an apparatus that performs a predetermined process on the panel S that is the object, and the first processing apparatus 10 performs the process of the previous process, and the second process apparatus performs the process of the subsequent process. If processing is performed, the type of processing performed in each processing device 10 can be arbitrarily changed.
・第１の処理装置１０及び第２の処理装置２０は、パネルＳに対して同一の処理を行う処理装置であってもよい。
・第１トレイ保持部３４及び第２トレイ保持部３５のいずれかが割愛された構成であってもよい。
The first processing device 10 and the second processing device 20 may be processing devices that perform the same processing on the panel S.
-The structure by which either the 1st tray holding | maintenance part 34 and the 2nd tray holding | maintenance part 35 were omitted may be sufficient.
・第１ストッカー３６及び第２ストッカー３７の少なくとも１つが割愛された構成であってもよい。
・搬送システムでの搬送対象は、上述したパネルＳに限らず、第１の処理装置１０と第２の処理装置２０との間に配置された搬送装置３０によって搬送される対象物であればよい。
-The structure by which at least 1 of the 1st stocker 36 and the 2nd stocker 37 was omitted may be sufficient.
The conveyance target in the conveyance system is not limited to the above-described panel S, and may be any object that is conveyed by the conveyance device 30 disposed between the first processing device 10 and the second processing device 20. .
１０…第１の処理装置、１１…第１処理部、１２…第１搬入部、１３…第１搬出部、１４…第１制御装置、２０…第２の処理装置、２１…第２処理部、２２…第２搬入部、２３…第２搬出部、２４…第２制御装置、３０…搬送装置、３０Ｔ…トレイ、３１…搬送部、３１Ｓ…搬送ステージ、３２…搬送ロボット、３２Ｍ…ロボットモーター、３３…撮像装置、３４…第１トレイ保持部、３５…第２トレイ保持部、３６…第１ストッカー、３７…第２ストッカー、４１…搬送制御装置、４２…主制御部、４３…副制御部、４４…記憶部、４４Ａ…パネル数量データ記憶部、４４Ｂ…トレイ数量データ記憶部、４５…モーター用入出力部、４６…通信用入出力部、Ｓ…パネル、ＴＲ１…第１搬送機構、ＴＲ２…第２搬送機構、ＴＲ３…第３搬送機構。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... 1st processing apparatus, 11 ... 1st processing part, 12 ... 1st carrying-in part, 13 ... 1st carrying-out part, 14 ... 1st control apparatus, 20 ... 2nd processing apparatus, 21 ... 2nd processing part , 22 ... 2nd carrying-in part, 23 ... 2nd carrying-out part, 24 ... 2nd control apparatus, 30 ... Conveying device, 30T ... Tray, 31 ... Conveying part, 31S ... Conveying stage, 32 ... Conveying robot, 32M ... Robot motor , 33 ... Imaging device, 34 ... First tray holding unit, 35 ... Second tray holding unit, 36 ... First stocker, 37 ... Second stocker, 41 ... Conveyance control device, 42 ... Main control unit, 43 ... Sub-control 44, storage unit, 44A, panel quantity data storage unit, 44B, tray quantity data storage unit, 45 ... motor input / output unit, 46 ... communication input / output unit, S ... panel, TR1, first transport mechanism, TR2 ... second transport mechanism, TR3 ... third transport machine .
Claims (7)
前記対象物が収容されるトレイを保持するトレイ保持部と、
前記搬送ロボットの動作を制御する制御部とを備え、
前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、
前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、
前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、
前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記第１の処理装置から前記トレイへ搬送させることを特徴とする搬送装置。 A transport robot that transports an object to be processed from a first processing device that performs processing of the first step to a second processing device that performs processing of the second step;
A tray holding unit for holding a tray in which the object is stored;
A control unit for controlling the operation of the transfer robot,
The number of objects processed per unit time in the first processing device is defined as the first processing number,
The number of objects processed per unit time in the second processing device is the second processing number,
When the first processing number is larger than the second processing number,
The said control part makes the said conveyance robot convey the said target object from the said 1st processing apparatus to the said tray, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.
前記制御部が、
前記搬送ロボットに前記対象物を前記トレイから前記第２の処理装置へ搬送させる
請求項１に記載の搬送装置。 When the second processing number is larger than the first processing number,
The control unit is
The transport apparatus according to claim 1, wherein the transport robot transports the object from the tray to the second processing apparatus.
前記対象物が収容されていないトレイを貯める第２ストッカーと、
前記第１ストッカー及び前記第２ストッカーの動作を制御するストッカー制御部とを備え、
前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、
前記ストッカー制御部が、
前記第１ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、
前記第２ストッカーに該第２ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる
請求項１又は２に記載の搬送装置。 A first stocker for storing a tray in which the object is stored;
A second stocker for storing a tray in which the object is not stored;
A stocker control unit for controlling operations of the first stocker and the second stocker,
When the first processing number is larger than the second processing number and an object is stored in the tray of the tray holding unit,
The stocker control unit
The first stocker accommodates the tray holding portion tray,
The transport apparatus according to claim 1, wherein the second stocker causes the tray of the second stocker to be carried out to the tray holding unit.
請求項３に記載の搬送装置。 The transport apparatus according to claim 3, wherein the stocker control unit is included in the control unit.
前記ストッカー制御部が、
前記第２ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、
前記第１ストッカーに該第１ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる
請求項３又は４に記載の搬送装置。 When the second processing number is larger than the first processing number and no object is stored in the tray of the tray holding unit,
The stocker control unit
The second stocker accommodates the tray holding portion tray,
The transport device according to claim 3 or 4, wherein the first stocker causes the tray of the first stocker to be carried out to the tray holding unit.
前記対象物に対して第２の工程の処理を行う第２の処理装置と、
前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ前記対象物を搬送する搬送装置とを備え、
前記搬送装置が、請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送装置である
ことを特徴とする搬送システム。 A first processing apparatus that performs a first process on an object;
A second processing device for performing a second process on the object;
A transport device that transports the object from the first processing device to the second processing device;
The said conveying apparatus is a conveying apparatus as described in any one of Claims 1-5. The conveying system characterized by the above-mentioned.
前記第１の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第１処理数とし、
前記第２の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第２処理数とし、
前記第１処理数が前記第２処理数よりも大きい場合に、
前記搬送ロボットが前記対象物を前記第１の処理装置からトレイへ搬送する
ことを特徴とする搬送方法。 A transport method for transporting an object to be processed by a transport robot from a first processing apparatus that performs processing of a first process to a second processing apparatus that performs processing of a second process,
The number of objects processed per unit time in the first processing device is defined as the first processing number,
The number of objects processed per unit time in the second processing device is the second processing number,
When the first processing number is larger than the second processing number,
The transfer method, wherein the transfer robot transfers the object from the first processing apparatus to a tray.
Priority Applications (1)
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| JP2011270416A JP2013122969A (en) | 2011-12-09 | 2011-12-09 | Transporting device, transporting system and transporting method |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018147016A1 (en) * | 2017-02-09 | 2018-08-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | Conveyance system |
-
2011
- 2011-12-09 JP JP2011270416A patent/JP2013122969A/en active Pending
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| WO2018147016A1 (en) * | 2017-02-09 | 2018-08-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | Conveyance system |
| CN110291029A (en) * | 2017-02-09 | 2019-09-27 | 日本电产三协株式会社 | Handling system |
| TWI753999B (en) * | 2017-02-09 | 2022-02-01 | 日商日本電產三協股份有限公司 | Handling system |
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