JP5073260B2 - レーザアニール装置及びレーザアニール方法 - Google Patents
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Description
前記第1の特徴のレーザアニール装置において、前記第1手段及び第2手段が、ビームスポットを長尺状に形成すると共に、前記長尺状の短手方向の幅を調整する機能を備えることを第2の特徴とする。
前記レーザアニール方法において、前記第1手段及び第2手段が、ビームスポットを長尺状に形成すると共に、前記長尺状の短手方向の幅を調整する機能を備えることを第6の特徴とする。
<原理説明>
<実施形態の説明>
この実施形態によるレーザアニール装置は、レーザ波長を370nm〜480nmとするレーザビームを照射する第1のレーザ光源と、レーザ波長を640nm〜840nmとするレーザビームを照射する第2のレーザ光源と、前記第1の光源から照射されたレーザビームを所定のスポットサイズをもつ短波長ビームスポットに形成する第1手段と、前記第2の光源から照射されたレーザビームを所定のスポットサイズをもつ長波長ビームスポットに形成する第2手段と、前記第1及び第2手段により形成した短波長ビームスポット及び長波長ビームスポットのピーク間隔を任意の値だけ重ね合わせる第3手段と、前記第3手段により重ね合わせた2波長ビームスポットの内、前記長波長ビームスポットに次いで短波長ビームスポットを被対象物に照射する第4手段を備える様に構成される。
Claims (8)
- 被対象物をレーザ照射により改質するレーザアニール装置であって、レーザ波長を370nm〜480nmとするレーザビームを照射する第1のレーザ光源と、レーザ波長を640nm〜840nmとするレーザビームを照射する第2のレーザ光源と、前記第1の光源から照射されたレーザビームを所定のピーク及びスポットサイズをもつ短波長ビームスポットに形成する第1手段と、前記第2の光源から照射されたレーザビームを所定のピーク及びスポットサイズをもつ長波長ビームスポットに形成する第2手段と、前記短波長ビームスポット及び長波長ビームスポットの光線を、前記短波長ビームスポットのピークと長波長ビームスポットのピークとの間隔が任意の値となるように重ね合わせる第3手段と、前記第3手段により重ね合わせた2波長ビームスポットの内、前記短波長ビームスポットに次いで長波長ビームスポットを被対象物に照射する第4手段を備えたことを特徴とするレーザアニール装置。
- 前記第1手段及び第2手段が、ビームスポットを長尺状に形成すると共に、前記長尺状の短手方向の幅を調整する機能を備えることを特徴とする請求項1記載のレーザアニール装置。
- 前記第3手段が、前記第1及び第2手段により形成した短波長ビームスポット及び長波長ビームスポットのピーク間隔が1um〜10umとなるように光線を重ね合わせることを特徴とする請求項1又は2記載のレーザアニール装置。
- 前記第1及び第2のレーザ光源が、半導体レーザダイオード素子であることを特徴とする請求項1乃至3何れかに記載のレーザアニール装置。
- レーザ波長を370nm〜480nmとするレーザビームを照射する第1のレーザ光源と、レーザ波長を640nm〜840nmとするレーザビームを照射する第2のレーザ光源と、前記第1の光源から照射されたレーザビームを所定のピーク及びスポットサイズをもつ短波長ビームスポットに形成する第1手段と、前記第2の光源から照射されたレーザビームを所定のピーク及びスポットサイズをもつ長波長ビームスポットに形成する第2手段とを備え、被対象物をレーザ照射により改質するレーザアニール方法であって、前記第1及び第2手段により形成した短波長ビームスポット及び長波長ビームスポットの光線を、前記短波長ビームスポットのピークと長波長ビームスポットのピークとの間隔が任意の値となるように重ね合わせ、該重ね合わせた2波長ビームスポットの内、前記短波長ビームスポットに次いで長波長ビームスポットを被対象物に照射することにより、被対象物をレーザ照射により改質することを特徴とするレーザアニール方法。
- 前記第1手段及び第2手段が、ビームスポットを長尺状に形成すると共に、前記長尺状の短手方向の幅を調整する機能を備えることを特徴とする請求項5記載のレーザアニール方法。
- 前記第3手段が、前記第1及び第2手段により形成した短波長ビームスポット及び長波長ビームスポットのピーク間隔が1um〜10umとなるように光線を重ね合わせることを特徴とする請求項5又は6記載のレーザアニール方法。
- 前記第1及び第2のレーザ光源が、半導体レーザダイオード素子であることを特徴とする請求項5乃至7何れかに記載のレーザアニール方法。
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