JP5071294B2 - チューナブルフィルタ、光源装置およびスペクトル分布測定装置 - Google Patents
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Description
20 出力光
11、12、211、212、221、222 直線偏光
21、22 反射光
100 チューナブルフィルタ
101 光源部
110 ビームディスプレーサ
120 光学系
122、126、140 光学素子
124 スリット部材
130 波長分散型分光部
150 反射型空間変調部
151 液晶素子
152 液晶素子アレイ
154 液晶素子アレイ駆動部
162 往路用ダブルフレネルロムプリズム
164 復路用ダブルフレネルロムプリズム
200、201 光源装置
Claims (21)
- 入射された平行光束を、互いに偏光方向が直交し且つ互いに間隔をおいて平行に進行する一対の直線偏光に分岐して出射するビームディスプレーサと、
前記一対の直線偏光の各々を互いに異なる領域に入射させて、波長に応じて分光された前記一対の直線偏光のそれぞれを互いに平行な分光面に一対の分光として展開する波長分散型分光部と、
前記波長分散型分光部の出射面に一方の焦点を有し、前記一対の分光が入射されて波長毎に他方の焦点に収束させる光学素子と、
前記光学素子の前記他方の焦点を含む焦点面に配されて、前記一対の分光の偏光状態を波長帯域毎に変調しつつ反射する反射型空間変調部と、
を備え、
前記光学素子は、前記反射型空間変調部が反射した前記一対の反射光を前記波長分散型分光部に再入射させ、
前記波長分散型分光部は、前記一対の反射光をそれぞれ合波して一対の平行光束を出射し、
前記ビームディスプレーサは、前記一対の平行光束が再入射され、前記一対の平行光束を互いに偏光方向が直交し且つ互いに間隔をおいて平行に進行する2対の直線偏光に分岐し、更に、分岐された2対の直線偏光のうち、前記一対の平行光束のそれぞれにおける前記ビームディスプレーサから出射された前記一対の直線偏光の偏光方向と直交する偏光方向を有する直線偏光を、重畳して出射させる
チューナブルフィルタ。 - 前記ビームディスプレーサから出射されて前記波長分散型分光部に入射する前記一対の直線偏光の一方の光路上に配され、当該一方の偏光方向を90度回転させる往路用偏光面回転素子と、
前記波長分散型分光部から出射されて前記ビームディスプレーサに再入射する前記一対の平行光束の光路上に配され、前記反射型空間変調部において変調後の楕円偏光の楕円軸方向を90度回転させる復路用偏光面回転素子と、
を更に備える請求項1に記載のチューナブルフィルタ。 - 前記ビームディスプレーサから出射されて前記波長分散型分光部に入射する前記一対の直線偏光の各々の偏光方向は、前記波長分散型分光部の波長分散方向に対して互いに等しい角度をなす請求項1または請求項2に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記反射型空間変調部は、
前記焦点面の上に直線的に配列されて、前記分光の偏光状態を波長帯域毎に変調する複数の液晶素子と、
外部からの駆動信号に応じて前記液晶素子の各々の変調量を個別に変化させる液晶素子ドライバと
を含む請求項1から請求項3までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。 - 前記ビームディスプレーサは、前記光学素子の光軸からはずれた領域に前記一対の分光を入射する、請求項1から請求項4までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。
- 前記ビームディスプレーサは、複屈折結晶からなる請求項1から請求項5までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。
- 前記ビームディスプレーサおよび前記波長分散型分光部の間に配され、
前記一対の直線偏光を収束させる焦点を有する光学系と、
前記光学系の焦点の周囲に生じる迷光を遮断するスリットと、
を更に備える請求請1から請求項6のいずれかに記載のチューナブルフィルタ。 - 請求項1から請求項7までのいずれかに記載のチューナブルフィルタと、
スペクトル分布を有する出射光を前記チューナブルフィルタに入射させる光源部と
を備える光源装置。 - 前記光源部は、スーパコンティニュアム光源である請求項8に記載の光源装置。
- 請求項1から請求項7までのいずれかに記載のチューナブルフィルタと、
前記チューナブルフィルタからの出射光を測定する光量測定部と
を備え、
前記反射型空間変調部により変調された波長領域と、前記光量測定部により測定された出射光の強度とに基づいて、前記チューナブルフィルタに入射された入射光のスペクトル分布を測定するスペクトル分布測定装置。 - 入射された平行光束を、互いに偏光方向が直交し且つ互いに間隔をおいて平行に進行する一対の直線偏光に分岐して出射する入射側偏光分岐素子と、
前記一対の直線偏光の各々を互いに異なる領域に入射させて、波長に応じて分光された前記一対の直線偏光のそれぞれを互いに平行な分光面に一対の分光として展開する波長分散型分光部と、
前記波長分散型分光部の出射面に一方の焦点を有し、前記一対の分光を入射されて波長毎に他方の焦点に収束させる入射側光学素子と、
前記入射側光学素子の前記他方の焦点を含む焦点面に配されて、前記一対の分光の偏光状態を波長帯域毎に変調しつつ透過する透過型空間変調部と、
前記透過型空間変調部の出射面に一方の焦点を有し、前記透過型空間変調部の出射光を平行に進行する一対の分光にする出射側光学素子と、
前記一対の分光の各々を合波して一対の平行光束にする合波部と、
前記一対の平行光束を入射されて、前記一対の平行光束を互いに偏光方向が直交し且つ互いに間隔をおいて平行に進行する2対の直線偏光に分岐し、更に、分岐された2対の直線偏光のうち、前記一対の平行光束のそれぞれにおける前記入射側偏光分岐素子から出射された前記一対の直線偏光の偏光方向と直交する偏光方向を有する直線偏光を、重畳して出射させる出射側偏光分岐素子と
を備えるチューナブルフィルタ。 - 前記入射側偏光分岐素子から出射されて前記波長分散型分光部に入射する前記一対の直線偏光の一方の光路上に配され、当該一方の偏光方向を90度回転させる入射側偏光面回転素子と、
前記合波部から出射されて前記出射側偏光分岐素子に入射する前記一対の平行光束の光路上に配され、前記透過型空間変調部において変調後の楕円偏光の楕円軸方向を90度回転させる出射側偏光面回転素子と、
を更に備える請求項11に記載のチューナブルフィルタ。 - 前記入射側偏光分岐素子から出射されて前記波長分散型分光部に入射する前記一対の直線偏光の各々の偏光方向は、前記波長分散型分光部の波長分散方向に対して互いに等しい角度をなす請求項11または請求項12に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記透過型空間変調部は、
前記焦点面の上に直線的に配列されて、前記分光の偏光状態を波長帯域毎に変調する複数の液晶素子と、
外部からの駆動信号に応じて前記液晶素子の各々の変調量を個別に変化させる液晶素子ドライバと
を含む請求項11から請求項13までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。 - 前記入射側光学素子は、当該光学素子の光軸からはずれた領域に前記一対の分光を入射される、請求項11から請求項14までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。
- 前記入射側偏光分岐素子は、複屈折結晶からなる請求項11から請求項15までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。
- 前記出射側偏光分岐素子は、複屈折結晶からなる請求項11から請求項16までのいずれかに記載のチューナブルフィルタ。
- 前記入射側偏光分岐素子および前記波長分散型分光部の間に配され、
前記一対の直線偏光を収束させる焦点を有する光学系と、
前記光学系の焦点の周囲に生じる迷光を遮断するスリットと、
を更に備える請求請11から請求項17のいずれかに記載のチューナブルフィルタ。 - 請求項11から請求項18までのいずれかに記載のチューナブルフィルタと、
スペクトル分布を有する出射光を前記チューナブルフィルタに入射させる光源部と
を備える光源装置。 - 前記光源部は、スーパコンティニュアム光源である請求項17に記載の光源装置。
- 請求項11から請求項18までのいずれかに記載のチューナブルフィルタと、
前記チューナブルフィルタからの出射光を測定する光量測定部と
を備え、
前記透過型空間変調部により変調された波長領域と、前記光量測定部により測定された出射光の強度とに基づいて、前記チューナブルフィルタに入射された入射光のスペクトル分布を測定するスペクトル分布測定装置。
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JP2014035524A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Canon Inc | 画像表示装置及びその制御方法 |
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---|---|---|---|---|
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JPH11101944A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Satoru Toyooka | 光源装置 |
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JP4407382B2 (ja) * | 2004-05-27 | 2010-02-03 | 株式会社ニコン | 光フィルタ装置 |
JP5023707B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2012-09-12 | 株式会社ニコン | チューナブルフィルタ、光源装置、及びスペクトル分布測定装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015028559A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 波長板及び分割プリズム部材 |
US10591669B2 (en) | 2013-07-30 | 2020-03-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Wave plate and divided prism member |
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