JP5069020B2 - 電子ビーム発生装置 - Google Patents
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Description
本発明は、以上述べたような問題点を解決し、位相制御素子の故障を検出することの出来る電子ビーム発生装置を提供することを目的とするものである。
5:三相整流回路、6:チョークコイル、7:平滑コンデンサ、8:電子銃
9:加速電圧検出抵抗、12:加速電圧脈動分検出回路、13:スイッチング回路
14:信号保持回路、15:位相制御回路
Claims (1)
- 交流電力の導通角を制御する位相制御手段と、
前記位相制御手段により位相制御された交流電力を昇圧整流し直流電圧に変換する昇圧整流回路と、
前記直流電圧が加速電圧として供給される電子銃と、
前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧が一定になるように前記位相制御手段を制御する制御回路と、
を備えた電子ビーム発生装置において、
前記加速電圧を検出した検出信号と第1の閾値とを比較する比較回路と、
該比較回路の出力を積分する積分回路と、
該積分回路の出力が第2の閾値を越えたとき前記位相制御手段の異常と判定する判定回路と
からなる異常検出回路を設けたことを特徴とする電子ビーム発生装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007046642A JP5069020B2 (ja) | 2007-02-27 | 2007-02-27 | 電子ビーム発生装置 |
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JP2008210659A JP2008210659A (ja) | 2008-09-11 |
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JP (1) | JP5069020B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108717928B (zh) * | 2018-04-27 | 2023-09-08 | 桂林狮达技术股份有限公司 | 共享加速电源阵列式电子枪电子束流控制装置及方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2944505C2 (de) * | 1979-11-03 | 1985-09-05 | Aeg-Elotherm Gmbh, 5630 Remscheid | Verfahren zur elektrochemischen Bearbeitung eines metallenen Werkstückes und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
JPS5899269A (ja) * | 1981-12-07 | 1983-06-13 | Sanken Electric Co Ltd | 直流電源装置 |
JP3274160B2 (ja) * | 1991-12-05 | 2002-04-15 | 株式会社日立メディコ | インバータ式x線高電圧装置 |
JP2004023878A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Yaskawa Electric Corp | 電源欠相検出回路付コンバータ |
JP4596251B2 (ja) * | 2005-04-12 | 2010-12-08 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 欠相検出装置及び交流−交流直接変換装置 |
DE102005020815B4 (de) * | 2005-05-04 | 2007-05-10 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Anordnung für die Regelung der Elektronenstrahlleistung einer Elektronenstrahlkanone |
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JP2008210659A (ja) | 2008-09-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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