JP5067150B2 - カラーフィルタ基板の製造システム - Google Patents
カラーフィルタ基板の製造システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5067150B2 JP5067150B2 JP2007327040A JP2007327040A JP5067150B2 JP 5067150 B2 JP5067150 B2 JP 5067150B2 JP 2007327040 A JP2007327040 A JP 2007327040A JP 2007327040 A JP2007327040 A JP 2007327040A JP 5067150 B2 JP5067150 B2 JP 5067150B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- processing
- code
- processing equipment
- producing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 256
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 114
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 377
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 69
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 58
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 31
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 19
- 238000004886 process control Methods 0.000 claims description 5
- 238000012369 In process control Methods 0.000 claims 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 claims 1
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 31
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 28
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 21
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 13
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
これらカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、これらの品質をクリアーするためには、徹底したカラーフィルタ基板の製造工程管理が望まれている。
上記各工程に配置された処理設備での処理実績は、製造システムの履歴データとしては管理されているが、次工程製造設備へ基板を移動する時、もしくは各製造設備間に基板を途中投入する際の「処理可能、不可のデータ」の制御用データとしては活用されていない。
図13に示すように、処理設備2にて処理された基板Aをユニット3にて抜き取り、他の場所に移動して検査等のオフライン処理を行う場合がある。オフライン処理された基板A’を工程ラインへ復帰させるためには、処理設備2の下流加工設備である処理設備3の前のユニット5から途中再投入を行う必要がある。
ニット1へ再投入するような再投入ミスが発生する。
現状の製造システムでは、これらの再投入ミスを防止することは難しいという問題を有している。
フィルタ作製手段(30)と、青色フィルタを作製するための青色フィルタ作製手段(40)と、透明電極を作製するための透明電極作製手段(50)と、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段(60)と、工程管理システム(70)と、からなるカラーフィルタ基板の製造システムであって、ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段(10)は処理設備(11)〜(1n)を、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段(20)は処理設備(21)〜(2n)を、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段(30)は処理設備(31)〜(3n)を、青色フィルタを作製するための作製手段(40)は処理設備(41)〜(4n)を、透明電極を作製するための透明電極作製手段(50)は処理設備(51)〜(5n)を、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段(60)は処理設備(61)〜(6n)を、それぞれ有し、前記それぞれの処理設備間にはカラーフィルタ基板を搬送するための搬送ユニットを備えており、前記工程管理システム(70)では、カラーフィルタ基板には基板コードを、前記作製手段には作製手段コードを、処理設備には処理設備コードを付与し、前記作製手段コードと前記処理設備コードに対しては処理が行われたか否かを示す識別コードが付与された基板仕上がり処理フラグを用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うとともに、前記それぞれの処理設備の入口に前記カラーフィルタ基板の基板コードを読み取るとともに、作成手段コードと設備コードとともに工程管理システムに送信し、工程管理システムでは基板仕上がり処理フラグと照合してその処理設備で処理される基板か否かの判断処理を行うようにしたことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造システムとしたものである。
図1は、本発明のカラーフィルタ基板の製造システムの一実施例を示す模式構成図である。
本発明のカラーフィルタ基板の製造システムは、ブラックマトリクス作製手段10と、赤色フィルタ作製手段20と、緑色フィルタ作製手段30と、青色フィルタ作製手段40と、透明電極作製手段50と、スペーサー作製手段60と、工程管理システム70と、から構成されており、ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段10は処理設備11〜1nを、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段20は処理設備21〜2nを、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段30は処理設備31〜3nを、青色フィルタを作製するための作製手段40は処理設備41〜4nを、透明電極を作製するための透明電極作製手段50は処理設備51〜5nを、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段60は処理設備61〜6nを、それぞれ有し、前記それぞれの処理設備間にはカラーフィルタ基板を搬送するための搬送ユニットを備えており、前記工程管理システム70では、カラーフィルタ基板には基板コードを、前記作製手段には作製手段コードを、処理設備には処理設備コードを付与し、前記作製手段コード及び前記処理設備コードに対しては処理が行われたか否かを示す識別コードが付与された基板仕上がり処理フラグを用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うようにしたものである。
ここで、各処理設備に付与されたnは、2〜9の整数を表す。
基板仕上がり処理フラグに付与された作製手段コード、処理設備コード及び識別コードは、品名、基板コードに対応したコードデータとして工程管理システム70に格納されており、その都度、コードの変換処理、判断処理が行われる。
そのため、もし工程処理済基板が処理設備に搬送されようとすると、直ちに警告を発したり、工程処理済基板をその処理設備から排除するような処置をとることができる。
カラーフィルタ基板の製造工程は、ブラックマトリクス作製手段10と、赤色フィルタ作製手段20と、緑色フィルタ作製手段30と、青色フィルタ作製手段40と、透明電極作製手段50と、スペーサー作製手段60と、からなり、各作製手段毎に、自動化製造ラインが組まれており、各自動化製造ライン毎にストッカー設備からのカセット搬送による基板投入が行われ、各処理設備間を搬送ユニットにより基板が搬送され、工程処理が実施される。
図2は、ブラックマトリクス作製工程における処理設備の配置例を示す説明図である。
まず、個々の基板に品名ABCと、基板コードXYZが印字、タグ等で付与される。
基板コードXYZに対して作製手段10、20、30、40、50、60の識別コードに0が、処理設備コード11〜67の識別コードに0が付与された基板仕上がり処理フラグが基板コード毎に作製される。基板仕上がり処理フラグの一例を図3に示す。
ここで、処理設備で処理されていない基板は識別コードが0と、処理された基板は識別コードが1と表示される。この識別コードの0、1によって、各処理設備で処理された否かの区別を行う。図3の基板仕上がり処理フラグは、まだ何の処理もされていないので、識別コードは0である。
ここで、ブラックマトリクス作製手段10の各製造工程が終了したので、図7に示すような、作製手段コード10及び処理設備コード11〜17の識別コードが1になった基板仕上がり処理フラグが作製される。
この一連の識別コードの変換作業と判断作業は、工程管理システム70と各処理設備との間でのやり取りが行われ、基板仕上がり処理フラグのデータは、工程管理システム70に格納されている。そのため、端末装置により、品名と基板コードを入力すれば、どの工程まで終了したかが即時に表示される。
ブラックマトリクス作製手段10の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置(カセット)17は、ストッカー設備より赤色フィルタ作製手段20の処理設備21の前にセットされる。作製手段コード10及び処理設備コード11〜17の識別コードが1になった基板仕上がり処理フラグを有する基板は、搬送ユニットにて搬送されて、レジスト塗布装置からなる処理設備21の入口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕
上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備21で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード21の識別コードに1が付与されて(図8(a)参照)、処理設備21による赤色レジスト塗布処理、プレベーク処理が行われ、赤色レジスト塗布基板が作製される。
さらに、途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置(カセット)26がストッカー設備にロードされる。
さらに、途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置(カセット)36がストッカー設備にロードされる。
ドと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備41で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード41の識別コードに1が付与されて(図10(a)参照)、処理設備41による青色レジスト塗布、プレベーク処理が行われ、青色レジスト塗布基板が作製される。
さらに、途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置(カセット)46はストッカー設備にロードされる。
さらに、透明電極が形成された途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置(カセット)53はストッカー設備にロードされる。
また、基板処理中に途中の処理設備から処理基板を抜き取り、オフラインで処理して再度下流の処理設備に再投入するようなことがあっても、確実に、決められた下流の処理設備に再投入することができる。
11、12、13、14、15、16……処理設備
20……赤色フィルタ作製手段
21、22、23、24、25、26……処理設備
30……緑色フィルタ作製手段
31、32、33、34、35、36……処理設備
40……青色フィルタ作製手段
41、42、43、44、45、46……処理設備
50……透明電極作製手段
51、52、53……処理設備
60……スペーサー作製手段
61、62、63、64、65、66……処理設備
70……工程管理システム
Claims (1)
- 少なくともブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段(10)と、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段(20)と、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段(30)と、青色フィルタを作製するための青色フィルタ作製手段(40)と、透明電極を作製するための透明電極作製手段(50)と、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段(60)と、工程管理システム(70)と、からなるカラーフィルタ基板の製造システムであって、ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段(10)は処理設備(11)〜(1n)を、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段(20)は処理設備(21)〜(2n)を、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段(30)は処理設備(31)〜(3n)を、青色フィルタを作製するための作製手段(40)は処理設備(41)〜(4n)を、透明電極を作製するための透明電極作製手段(50)は処理設備(51)〜(5n)を、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段(60)は処理設備(61)〜(6n)を、それぞれ有し、前記それぞれの処理設備間にはカラーフィルタ基板を搬送するための搬送ユニットを備えており、前記工程管理システム(70)では、カラーフィルタ基板には基板コードを、前記作製手段には作製手段コードを、処理設備には処理設備コードを付与し、前記作製手段コードと前記処理設備コードに対しては処理が行われたか否かを示す識別コードが付与された基板仕上がり処理フラグを用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うとともに、前記それぞれの処理設備の入口に前記カラーフィルタ基板の基板コードを読み取るとともに、作成手段コードと設備コードとともに工程管理システムに送信し、工程管理システムでは基板仕上がり処理フラグと照合してその処理設備で処理される基板か否かの判断処理を行うようにしたことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007327040A JP5067150B2 (ja) | 2007-12-19 | 2007-12-19 | カラーフィルタ基板の製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007327040A JP5067150B2 (ja) | 2007-12-19 | 2007-12-19 | カラーフィルタ基板の製造システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009150967A JP2009150967A (ja) | 2009-07-09 |
JP5067150B2 true JP5067150B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40920186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007327040A Expired - Fee Related JP5067150B2 (ja) | 2007-12-19 | 2007-12-19 | カラーフィルタ基板の製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5067150B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11101907A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタおよびカラーフィルタ製造管理システム |
JP2002311226A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-23 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶素子 |
-
2007
- 2007-12-19 JP JP2007327040A patent/JP5067150B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009150967A (ja) | 2009-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4967430B2 (ja) | 不具合管理装置、不具合管理プログラム、およびこれを記録した記録媒体 | |
JP7455505B2 (ja) | システム、方法、物品の製造方法及び記録媒体 | |
US20190196442A1 (en) | Production management system and production management method | |
TWI450059B (zh) | Production management system and production management methods | |
JP5745981B2 (ja) | 半導体チップテスト方法、半導体チップテスト装置 | |
CN115223730A (zh) | 一种解决商品基本信息标准化的方法和对应的装置 | |
JP5067150B2 (ja) | カラーフィルタ基板の製造システム | |
JP5458800B2 (ja) | 異常検出システム | |
JP5067137B2 (ja) | カラーフィルタ基板の製造工程管理システム | |
US20060020358A1 (en) | Manufacturing management system and method | |
JP5067023B2 (ja) | ガラス基板の移載装置 | |
JP4654939B2 (ja) | カラーフィルタ製造工場モニタリングシステム | |
JP4212342B2 (ja) | 対基板作業ライン | |
JP2007115038A (ja) | プリント基板品質情報管理システム | |
JP2013149172A (ja) | 物流ラインの構成装置、物流ラインの管理装置、物流ライン管理システム、搬送制御プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP4148365B2 (ja) | プリント基板の検査装置 | |
JP5428120B2 (ja) | カラーフィルタ製造管理システム | |
JP2003124288A (ja) | 半導体製造方法 | |
TWM591202U (zh) | 設備報修管理系統 | |
JP3049871B2 (ja) | リファレンスウェハ枚葉管理装置 | |
TWI237111B (en) | Optical inspection ststem and method thereof | |
JP2008032929A (ja) | カラーフィルタの検査方法 | |
JP2008027337A (ja) | 生産管理システムおよび生産管理方法 | |
KR101096247B1 (ko) | 포토마스크 결함검사 데이터 처리시스템 및 방법 | |
JP2006049658A (ja) | 製造システムおよび製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120417 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120717 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120730 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |