JP5066797B2 - 成膜方法および成膜ワークを生産する方法。 - Google Patents
成膜方法および成膜ワークを生産する方法。 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5066797B2 JP5066797B2 JP2005199790A JP2005199790A JP5066797B2 JP 5066797 B2 JP5066797 B2 JP 5066797B2 JP 2005199790 A JP2005199790 A JP 2005199790A JP 2005199790 A JP2005199790 A JP 2005199790A JP 5066797 B2 JP5066797 B2 JP 5066797B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- discharge
- surface treatment
- energy
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 6
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 82
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 80
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 80
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 65
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 40
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 27
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 16
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 14
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 12
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 11
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 31
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 31
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 26
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 5
- 229910020938 Sn-Ni Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910008937 Sn—Ni Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 2
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002482 Cu–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000756 V alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000007712 rapid solidification Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
。
ディフォーカスされている。
Claims (13)
- 金属粉末、金属の化合物の粉末、もしくはセラミックスの粉末を成形した粉末成形体、または加熱処理した該粉末成形体、を電極として、加工液中または気体雰囲気中において電極とワークの間にパルス状の放電を発生させ、その放電エネルギーによりワーク表面に電極材料または電極材料が前記パルス状の放電エネルギーにより反応した物質からなる熱伝導率が30W/mK以下となる放電表面処理被膜を形成する工程と、
この形成した放電表面処理被膜にエネルギーを照射して、該放電表面処理被膜がデバイ温度以上、融点未満に加熱する工程と、
を有することを特徴とする成膜方法。 - 放電表面処理被膜を形成する際に、該放電表面処理被膜の熱伝導率の下限値を0.1W/mKとなる被膜を形成することを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 電極材料の金属固体での熱伝導率が90W/mK以上であることを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 粉末成形体電極の電極材料として、Cu、Cu合金、Ag、Ag合金、Al、Al合金、Ni、Ni合金、Co、Co合金を用いることを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 放電表面処理被膜を形成して、エネルギーを多点照射することを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 放電表面処理被膜に照射するエネルギーのスポットを照射面の対角線と平行に移動させ、被膜部と非被膜部との境界線に到達すると、この境界線からの入射角と反射角が等しくなるように照射エネルギースポット走査方向を変えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の成膜方法。
- 照射エネルギースポット走査の変更方向を決定する被膜部と非被膜部との境界線からの入射角と反射角を、定期的に異なった大きさにすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の成膜方法。
- 放電表面処理被膜にエネルギーを照射して加熱した後に研磨することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の成膜方法。
- 金属粉末、金属の化合物の粉末、もしくはセラミックスの粉末を成形した粉末成形体、または加熱処理した該粉末成形体、を電極として、加工液中または気体雰囲気中において電極とワークの間にパルス状の放電を発生させ、その放電エネルギーによりワーク表面に電極材料または電極材料が前記パルス状の放電エネルギーにより反応した物質からなる放電表面処理被膜を形成する工程と、
この形成した放電表面処理被膜に加熱することなく圧力を付加する工程と、
を有することを特徴とする成膜方法。 - 電極材料の金属固体での熱伝導率が90W/mK以上であることを特徴とする請求項9記載の成膜方法。
- 粉末成形体電極の電極材料として、Cu、Cu合金、Ag、Ag合金、Al、Al合金、Ni、Ni合金、Co、Co合金を用いることを特徴とする請求項9記載の成膜方法。
- ワークに対し、金属粉末、金属の化合物の粉末、もしくはセラミックスの粉末を成形した粉末成形体、または加熱処理した該粉末成形体、を放電表面処理用電極として対向させ、電極とワークの間にパルス状の放電を発生させることでその放電エネルギーによりワーク表面に電極材料または電極材料が前記パルス状の放電エネルギーにより反応した物質からなる熱伝導率が30W/mK以下となる放電表面処理被膜を形成し、この形成した放電表面処理被膜にエネルギーを照射して、該放電表面処理被膜がデバイ温度以上、融点未満に加熱することを特徴とする成膜ワークを生産する方法。
- ワークに対し、金属粉末、金属の化合物の粉末、もしくはセラミックスの粉末を成形した粉末成形体、または加熱処理した該粉末成形体、を放電表面処理用電極として対向させ、電極とワークの間にパルス状の放電を発生させることでその放電エネルギーによりワーク表面に電極材料または電極材料が前記パルス状の放電エネルギーにより反応した物質からなる放電表面処理被膜を形成し、この形成した放電表面処理被膜に加熱することなく圧力を付加することを特徴とする成膜ワークを生産する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005199790A JP5066797B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 成膜方法および成膜ワークを生産する方法。 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005199790A JP5066797B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 成膜方法および成膜ワークを生産する方法。 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007016285A JP2007016285A (ja) | 2007-01-25 |
JP5066797B2 true JP5066797B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=37753701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005199790A Active JP5066797B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 成膜方法および成膜ワークを生産する方法。 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5066797B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4884324B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2012-02-29 | 三菱電機株式会社 | 放電表面処理用電極、放電表面処理方法および放電表面処理装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57155363A (en) * | 1981-03-18 | 1982-09-25 | Koji Hashimoto | Method of forming surface covering metal layer |
JPS63216979A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-09 | Inoue Japax Res Inc | 表面処理方法 |
JPH0192381A (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-11 | Inoue Japax Res Inc | マイクロ溶着 |
JPH01242785A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Hitachi Metals Ltd | 排気系機器の製造法 |
JPH06182626A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-07-05 | Hitachi Ltd | 高耐食性表面処理方法 |
JP2005002375A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Mitsubishi Electric Corp | 放電表面処理用電極及び放電表面処理方法 |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005199790A patent/JP5066797B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007016285A (ja) | 2007-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Casalino et al. | Laser-arc hybrid welding of wrought to selective laser molten stainless steel | |
US6197386B1 (en) | Method for applying a coating by means of plasma spraying while simultaneously applying a continuous laser beam | |
Piekoszewski et al. | Application of high intensity pulsed ion and plasma beams in modification of materials | |
Milovanović et al. | Titanium alloy surface modification by excimer laser irradiation | |
CN103540931A (zh) | 一种机械振动辅助感应加热激光表面合金化复合加工方法及装置 | |
CN115135785A (zh) | 金属合金表面改性方法以及具有改进的粘结头耐久性的相关金属合金产品 | |
JP2008545530A (ja) | レーザを用いたスラリーコーティングの選択領域の融着 | |
Majumdar et al. | Introduction to laser assisted fabrication of materials | |
CN100363144C (zh) | 一种用于钛合金激光焊接的活性剂使用方法 | |
JP5066797B2 (ja) | 成膜方法および成膜ワークを生産する方法。 | |
CN113046742B (zh) | 一种钨铜复合材料的激光增材制备方法 | |
WO2017202233A1 (zh) | 一种金属表面机械辅助电热合金化的制备方法 | |
JP2005254317A (ja) | 自溶性合金の被覆方法及び装置並びにこれを用いた連続鋳造用鋳型及びその製造方法 | |
JP4027153B2 (ja) | 連続鋳造鋳型の被覆方法 | |
JPH0192381A (ja) | マイクロ溶着 | |
Yue et al. | High pwder Nd-YAG laser welding of SiC particle reinforced aluminium alloy 2124 | |
JP4871589B2 (ja) | 光学素子の接合方法 | |
RU2427666C1 (ru) | Способ упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов | |
JP3303138B2 (ja) | 電子ビーム合金化層の形成方法および装置 | |
CN112222549B (zh) | 一种倾斜式磁性阴极板激光电化学复合钻孔的装置及方法 | |
Wenxian et al. | Type HRPM-II machine for selective laser melting process | |
Naeem | Micro joining of dissimilar metals with a pulsed Nd: YAG laser | |
CN112620855A (zh) | 钎涂方法及其获得的钎涂后待焊母材 | |
Belyavin et al. | Solid-state laser fusion of spherical titanium powders | |
Gheorghies et al. | New reinforcing technique of alumina coatings on steel substrates |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110421 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120717 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120730 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5066797 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |