JP5059005B2 - 真空中での改良型貫通接続部を備えた磁気ベアリング - Google Patents
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Description
2 制御ユニット
10 ハウジング
11 本体
12 フランジ
13 円周溝
14 キャップ
20 キャップ
21 ネジ
23 円周溝
30 電気的貫通接続部
31 プリント回路基板
32 第1のO−リング
33 第2のO−リング
34 第1プリントコネクタ
35 第2プリントコネクタ
36 開口
40 第1センサ用基板
50 第2センサ用基板
60 第3センサ用基板
70 モータ
71 分配用基板
80 第1ラジアルベアリング
90 第2ラジアルベアリング
100 第1アキシャルベアリング
110 第2アキシャルベアリング
120 ロータ
121 ロータディスク
122 ナット
123 回転軸心
130 第1補助ベアリング
140 第2補助ベアリング
Claims (12)
- 回転用ロータ軸(120)がその回転軸心(123)の周りで支持されている磁気ベアリング装置(1)であって、
内部と外部を有するハウジング(10)と、
前記ハウジングの内部に配置された少なくとも1つの能動磁気ベアリング要素(80、90、100、110)と、そして、
前記ハウジングの内部と外部の間に複数の電気的結合を提供する貫通接続部(30)、
とを備え、
前記貫通接続部(30)は、
前記内部と前記外部を結合する複数の電気的導体を有し且つ本質的に共通な平面に配置される本質的に平坦な結合要素(31)であって、前記結合要素(31)は前記ハウジング(10)の壁を横断して前記回転軸心(123)と本質的に直角な方向に伸びておりかつ前記ハウジング(10)の周辺に沿い常に前記ハウジング(10)の壁を横断する結合要素(31)と、
前記結合要素(31)を前記ハウジング(10)と気密的な方法でシールするためのシール手段(32、33)と、
からなることを特徴とする前記磁気ベアリング装置。 - 前記結合要素(31)は、硬質性、屈曲性または、硬質・屈曲性のプリント回路基板であることを特徴とする請求項1に記載された磁気ベアリング装置。
- 前記結合要素は、前記ロータ軸(120)を受け入れるための開口(36)を有することを特徴とする請求項1または2に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記ロータ軸(120)は、ある直径を有するスラストディスク(121)を備えており、そして、前記結合要素(31)の前記開口(36)が前記スラストディスク(121)の直径より大きい直径を有することを特徴とする請求項3に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記結合要素は、外周および/または内周が気密的な方法でコーティングされていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載された磁気ベアリング装置。
- 前記磁気ベアリング装置は、前記ロータ軸(120)の変位および/または回転状態を検出する少なくとも1つのセンサを備えたセンサ用基板(40)からなり、前記センサ用基板(40)は前記貫通接続部(30)と前記センサ用基板(40)との間の軸方向のギャップを埋めるコネクタ(35)によって前記貫通接続部(30)に直接、電気的に結合されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記磁気ベアリング装置は、前記ハウジング(10)の内部で前記貫通接続部(30)に結合される少なくとも1つの平坦なリボン・ケーブル(51)またはフレックスプリントからなることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記磁気ベアリング装置は、前記平坦なリボン・ケーブル(51)またはフレックスプリントに結合された分配用基板(50)からなり、前記分配用基板(50)は、前記回転軸心(123)と直角方向に伸び、前記ロータ軸(120)を受け入れるための開口を有し、さらに前記平坦なリボン・ケーブル(51)またはフレックスプリントを流れる信号を分配するための複数の電気的導体を備えていることを特徴とする、請求項7に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記結合要素は、本質的に平坦で前記ハウジングの内部と外部の間に伸びる第1の部分、屈曲性があり少なくとも1つの実質的な屈曲部を有する第2の部分、および本質的に平坦であり信号を分配するための複数の電気的導体を有する分配用基板を構成している第3の部分とからなることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記分配用基板(50)は、前記ロータ軸(120)の変位を検出するための変位センサからなることを特徴とする請求項8または9に記載された磁気ベアリング装置(1)。
- 前記ラジアル変位センサは、前記分配用基板(50)の少なくとも1つの導電性層の中にプリントコイルとして実装された複数の誘導要素からなることを特徴とする請求項10に記載された磁気ベアリング装置。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載された磁気ベアリング装置からなる真空ポンプ、特に、ターボ分子ポンプ。
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Families Citing this family (31)
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---|---|---|---|---|
EP1757825B1 (en) * | 2005-08-24 | 2010-09-29 | Mecos Traxler AG | Magnetic bearing device with an improved vacuum feedthrough |
DE102006016405B4 (de) | 2006-04-07 | 2024-08-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Antriebsgerät |
DE202007012070U1 (de) * | 2007-08-30 | 2009-01-08 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Stromdurchführung einer Vakuumpumpe |
JP5643991B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2014-12-24 | シンクロニー, インコーポレイテッドSynchrony, Inc. | 高速永久磁石モータおよび低損失メタルロータ付発電機 |
US8330311B2 (en) | 2008-04-18 | 2012-12-11 | Dresser-Rand Company | Magnetic thrust bearing with integrated electronics |
EP2154386A1 (de) * | 2008-08-11 | 2010-02-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Lagerbock mit einem geteilten magnetischen Radiallager und einem geteilten Fanglager in einem gemeinsamen geteilten Lagergehäuse |
JP5281916B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-09-04 | 山洋電気株式会社 | 小型モータ |
US20100230901A1 (en) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | Ferrotec (Uk), Ltd. | Magnetic fluid rotary feedthrough with sensing and communication capability |
DE102009022835B3 (de) * | 2009-05-27 | 2011-03-03 | Schaeffler Kg | Verfahren zur Überwachung des Zustands eines Fanglagers einer Maschine |
US9583991B2 (en) * | 2009-06-24 | 2017-02-28 | Synchrony, Inc. | Systems, devices, and/or methods for managing magnetic bearings |
EP2586121B1 (en) | 2010-06-23 | 2019-12-11 | Synchrony, Inc. | Split magnetic thrust bearing |
FR2962602B1 (fr) * | 2010-07-08 | 2013-08-30 | Mecanique Magnetique Sa | Procede et dispositif de liaison electrique a traversee etanche entre deux milieux differents |
CN103069173B (zh) * | 2010-08-06 | 2016-05-04 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
DE102011004919A1 (de) * | 2011-03-01 | 2012-09-06 | Robert Bosch Gmbh | Verbindungselement zwischen Motor und Steuereinheit |
CN102425562B (zh) * | 2011-12-05 | 2014-04-30 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种磁悬浮分子泵动平衡方法 |
WO2013152061A2 (en) | 2012-04-04 | 2013-10-10 | Carrier Corporation | Multiple-axis magnetic bearing and control of the magnetic bearing with active switch topologies |
DE102012105969A1 (de) * | 2012-07-04 | 2014-01-09 | Hella Kgaa Hueck & Co. | Drehwinkelsensor |
JP6735526B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2020-08-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
RU2545146C1 (ru) * | 2013-09-17 | 2015-03-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Комсомольский-на-Амуре государственный технический университет" (ФГБОУ ВПО "КнАГТУ") | Способ работы управляемого газомагнитного подшипникового узла и подшипниковый узел |
US9941766B2 (en) | 2014-04-04 | 2018-04-10 | Solar Turbines Incorporated | Penetrator power connector for an integrated rotary machine |
EP3026278B1 (en) * | 2014-11-27 | 2020-03-18 | Skf Magnetic Mechatronics | Magnetic bearing, rotary apparatus comprising such a magnetic bearing and method for manufacturing such a magnetic bearing |
JP6912196B2 (ja) * | 2016-12-28 | 2021-08-04 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置 |
IT201700040835A1 (it) * | 2017-04-12 | 2017-07-12 | Agilent Tech Inc A Delaware Corporation | Pompa da vuoto provvista di un passante elettrico da vuoto migliorato |
CN107887721B (zh) * | 2017-11-03 | 2019-12-13 | 珠海格力电器股份有限公司 | 磁悬浮轴承的接线结构及压缩机及空调 |
RU2677387C1 (ru) * | 2017-11-27 | 2019-01-16 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени И.С. ТУРГЕНЕВА" (ОГУ им. И.С. Тургенева) | Управляемый газомагнитный подшипниковый узел |
CN109281863A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-01-29 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种新型磁悬浮压缩机结构 |
EP3660319B1 (de) * | 2018-11-27 | 2021-11-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit schneidklemmen |
JP7454928B2 (ja) * | 2019-08-23 | 2024-03-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット |
JPWO2021059838A1 (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-01 | ||
EP3808988B1 (de) * | 2020-03-27 | 2024-01-10 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe und verfahren zum überwachen einer vakuumpumpe |
GB2616264A (en) * | 2022-03-01 | 2023-09-06 | Edwards Ltd | Electrical feedthrough, vacuum apparatus and method for assembly |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4490614A (en) * | 1982-04-30 | 1984-12-25 | Interad Systems, Inc. | Housing for an ionization detector array in a tomographic scanner |
CN1038859A (zh) * | 1988-06-23 | 1990-01-17 | 弗拉基米尔帕夫罗维奇萨金夫 | 涡轮式分子真空泵 |
GB8830057D0 (en) * | 1988-12-23 | 1989-02-22 | Lucas Ind Plc | An electrical connection arrangement and a method of providing an electrical connection |
DE4038394A1 (de) * | 1990-12-01 | 1992-06-04 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur dichten durchfuehrung eines leiters durch die wand eines gehaeuses |
IT1255190B (it) * | 1992-06-30 | 1995-10-20 | Giuseppe Marchisi | Dispositivo di interfaccia di comando per un motore elettrico |
US6081056A (en) * | 1996-03-07 | 2000-06-27 | Seiko Epson Corporation | Motor and method for producing the same |
JPH10184685A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 磁気軸受 |
JPH11101235A (ja) * | 1997-07-30 | 1999-04-13 | Nippon Seiko Kk | 磁気軸受 |
DE19827772C2 (de) * | 1998-06-23 | 2000-09-14 | Freudenberg Carl Fa | Ringdichtung |
JP2002122137A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-26 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 軸受装置 |
US6503050B2 (en) * | 2000-12-18 | 2003-01-07 | Applied Materials Inc. | Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity |
JP4462525B2 (ja) * | 2001-03-14 | 2010-05-12 | 株式会社リコー | 動圧空気軸受型ポリゴンスキャナおよびその加工方法 |
JP3593102B2 (ja) * | 2002-01-08 | 2004-11-24 | 三菱電機株式会社 | 電動パワーステアリング装置 |
JP3894853B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2007-03-22 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 回転機 |
EP1422492A1 (en) | 2002-11-22 | 2004-05-26 | Mecos Traxler AG | Device for contact-less measurement of distances in multiple directions |
CN2597738Y (zh) * | 2002-12-11 | 2004-01-07 | 中国科学院电工研究所 | 混合磁悬浮轴承 |
US6897587B1 (en) * | 2003-01-21 | 2005-05-24 | Calnetix | Energy storage flywheel with minimum power magnetic bearings and motor/generator |
US6882072B2 (en) * | 2003-06-13 | 2005-04-19 | Honeywell International Inc. | Energy storage flywheel system with a power connector that integrally mounts one or more controller circuits |
EP1717468A4 (en) * | 2003-07-04 | 2009-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | MAGNETIC BEARING ARRANGEMENT |
JP2005033924A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-03 | Honda Motor Co Ltd | 電動機および電動機を搭載した電動パワーステアリング装置 |
EP1517042A1 (en) * | 2003-09-17 | 2005-03-23 | Mecos Traxler AG | Magnetic bearing device and vacuum pump |
US6921998B2 (en) * | 2003-10-15 | 2005-07-26 | Honeywell International, Inc. | Energy storage flywheel auxiliary bearing system and method |
FR2861142B1 (fr) | 2003-10-16 | 2006-02-03 | Mecanique Magnetique Sa | Pompe a vide turbo moleculaire |
JP4292983B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2009-07-08 | 市光工業株式会社 | モータ駆動装置及び電動格納式ドアミラー |
DE102004026755A1 (de) * | 2004-05-29 | 2005-12-22 | Krones Ag | Maschine zum Ausrichten und Ausstatten von Gegenständen |
EP1679492A1 (en) | 2005-01-11 | 2006-07-12 | Mecos Traxler AG | Eddy-current sensor and magnetic bearing device |
EP1757825B1 (en) * | 2005-08-24 | 2010-09-29 | Mecos Traxler AG | Magnetic bearing device with an improved vacuum feedthrough |
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