JP7454928B2 - 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 54
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 18
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0606—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven the electric motor being specially adapted for integration in the pump
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0693—Details or arrangements of the wiring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/058—Bearings magnetic; electromagnetic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0446—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0459—Details of the magnetic circuit
- F16C32/0461—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/01—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for shielding from electromagnetic fields, i.e. structural association with shields
- H02K11/014—Shields associated with stationary parts, e.g. stator cores
-
- H—ELECTRICITY
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- H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
- H02K11/21—Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
- H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
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- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/14—Structural association with mechanical loads, e.g. with hand-held machine tools or fans
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2211/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to measuring or protective devices or electric components
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
10 ・・・ケーシング
11 ・・・ベース
12 ・・・ボルト
13 ・・・円筒部
14 ・・・排気ポート
15 ・・・吸気口
15a ・・・フランジ
16 ・・・吸気ポート
20 ・・・ロータ
21 ・・・シャフト(回転軸)
22 ・・・ブレード
23 ・・・タッチダウン軸受
24 ・・・ボス孔
25 ・・・ボルト
26 ・・・ロータフランジ
27 ・・・シャフトフランジ
28 ・・・回転体
28a ・・・外周面
29 ・・・回転翼
30 ・・・モータ
31 ・・・回転子
32 ・・・固定子
40 ・・・ステータコラム
41 ・・・ボルト
50 ・・・電磁石ユニット
51、51X、51Y ・・・ラジアル電磁石
51a ・・・電磁鋼板
51b ・・・(電磁鋼板の)凸部
51c ・・・(ラジアル電磁石の)コイル
51d ・・・(ラジアル電磁石)磁極
52 ・・・アキシャル電磁石
53、53x、53y ・・・ラジアルセンサ
53a ・・・センサ鋼板
53b ・・・(センサ鋼板の)爪部
53c ・・・(ラジアルセンサの)コイル
53d ・・・(ラジアルセンサの)磁極
54 ・・・アキシャルセンサ
55 ・・・プリント基板
55a ・・・(プリント基板の)表面
55b ・・・(プリント基板の)裏面
56 ・・・センサ用配線パターン
57 ・・・電磁石用配線パターン
58 ・・・ランド
59 ・・・リード線
60 ・・・制御ユニット
70 ・・・固定翼
71 ・・・スペーサ
80 ・・・ステータ
81 ・・・ねじ溝部
A ・・・アキシャル方向(軸方向)
R ・・・ラジアル方向(径方向)
C ・・・(電磁石ユニットの)周方向
PA ・・・ターボ分子ポンプ機構
PB ・・・ねじ溝ポンプ機構
Claims (6)
- 回転軸の位置制御を行う電磁石ユニットを備えた真空ポンプであって、
前記電磁石ユニットは、
前記回転軸の位置を検出する変位センサと、
前記回転軸を所定の位置に制御する電磁石と、
前記変位センサと前記電磁石との間に介設され、対応する2つの前記変位センサのコイル同士を結線するセンサ用配線パターン及び対応する2つの前記電磁石のコイル同士を結線する電磁石用配線パターンが設けられたプリント基板と、
を備え、
前記センサ用配線パターン及び前記電磁石用配線パターンは、前記回転軸の軸方向から視て重ならないように配置され、
前記センサ用配線パターンは、前記プリント基板の一面側に配置され、
前記電磁石用配線パターンは、前記プリント基板の他面側に配置されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記電磁石用配線パターンは、前記回転軸の径方向において前記センサ用配線パターンの外側に配置されていることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記電磁石のコイル及び前記電磁石用配線パターンを半田接続するランドは、前記軸方向から視て前記変位センサのコアと重ならないように配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載の真空ポンプ。
- 前記センサ用配線パターン又は前記電磁石用配線パターンと外部機器とを接続するリード線は、前記軸方向から視て前記電磁石の電磁鋼板及び前記変位センサのセンサ鋼板と重ならないように前記軸方向に沿って延伸されていることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載の真空ポンプ。
- 前記電磁石の周方向に隣り合う電磁石間で隣り合う磁極が、互いに同極に設定されていることを特徴とする請求項4記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプの回転軸の位置制御を行う電磁石ユニットであって、
前記回転軸の位置を検出する変位センサと、
前記回転軸を所定の位置に制御する電磁石と、
前記変位センサと前記電磁石との間に介設され、対応する2つの前記変位センサのコイル同士を結線するセンサ用配線パターン及び対応する2つの前記電磁石のコイル同士を結線する電磁石用配線パターンが設けられたプリント基板と、
を備え、
前記センサ用配線パターン及び前記電磁石用配線パターンは、前記回転軸の軸方向から視て重ならないように配置され、
前記センサ用配線パターンは、前記プリント基板の一面側に配置され、
前記電磁石用配線パターンは、前記プリント基板の他面側に配置されていることを特徴とする電磁石ユニット。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019153295A JP7454928B2 (ja) | 2019-08-23 | 2019-08-23 | 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット |
CN202080056439.XA CN114270672A (zh) | 2019-08-23 | 2020-08-17 | 真空泵以及用于真空泵的电磁体单元 |
KR1020227001631A KR20220047251A (ko) | 2019-08-23 | 2020-08-17 | 진공 펌프 및 진공 펌프에 이용되는 전자석 유닛 |
PCT/JP2020/031033 WO2021039478A1 (ja) | 2019-08-23 | 2020-08-17 | 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット |
EP20858399.7A EP4019781A4 (en) | 2019-08-23 | 2020-08-17 | VACUUM PUMP AND ELECTROMAGNETIC UNIT USED FOR VACUUM PUMP |
US17/632,582 US20220356883A1 (en) | 2019-08-23 | 2020-08-17 | Vacuum pump and electromagnet unit used for vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019153295A JP7454928B2 (ja) | 2019-08-23 | 2019-08-23 | 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021032157A JP2021032157A (ja) | 2021-03-01 |
JP7454928B2 true JP7454928B2 (ja) | 2024-03-25 |
Family
ID=74678029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019153295A Active JP7454928B2 (ja) | 2019-08-23 | 2019-08-23 | 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220356883A1 (ja) |
EP (1) | EP4019781A4 (ja) |
JP (1) | JP7454928B2 (ja) |
KR (1) | KR20220047251A (ja) |
CN (1) | CN114270672A (ja) |
WO (1) | WO2021039478A1 (ja) |
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-
2019
- 2019-08-23 JP JP2019153295A patent/JP7454928B2/ja active Active
-
2020
- 2020-08-17 US US17/632,582 patent/US20220356883A1/en active Pending
- 2020-08-17 WO PCT/JP2020/031033 patent/WO2021039478A1/ja unknown
- 2020-08-17 CN CN202080056439.XA patent/CN114270672A/zh active Pending
- 2020-08-17 EP EP20858399.7A patent/EP4019781A4/en active Pending
- 2020-08-17 KR KR1020227001631A patent/KR20220047251A/ko unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220047251A (ko) | 2022-04-15 |
EP4019781A1 (en) | 2022-06-29 |
CN114270672A (zh) | 2022-04-01 |
EP4019781A4 (en) | 2023-09-13 |
WO2021039478A1 (ja) | 2021-03-04 |
US20220356883A1 (en) | 2022-11-10 |
JP2021032157A (ja) | 2021-03-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231024 |
|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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