JP5052391B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
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図1は、本発明の第1の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す図である。図1に示す光学式エンコーダは、光源4と光検出器5とを内部に有したセンサヘッド1と、該センサヘッド1と相対的に直線運動をする格子パターンを有するスケール2とで構成される反射型光学式エンコーダである。
図2は、本発明の第2の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す図である。図2に示す光学式エンコーダは、光源4と光検出器5を内部に有したセンサヘッド1と、該センサヘッド1と相対的に直線運動をする格子パターンを有するスケール2とで構成される反射型光学式エンコーダである。
図3は、本発明の第3の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す図である。図3に示す光学式エンコーダは、光源4と光検出器5を内部に有したセンサヘッド1と、該センサヘッド1と相対的に直線運動をする格子パターンを有するスケール2とで構成される反射型光学式エンコーダである。
図4は、本発明の第4の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す図である。図4に示す光学式エンコーダは、光源4と光検出器5を内部に有したセンサヘッド1と、該センサヘッド1と相対的に直線運動をする格子パターンを有するスケール2とで構成される反射型光学式エンコーダである。
図5は、本発明の第5の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す図である。図5に示す光学式エンコーダは、光源4と光検出器5を内部に有したセンサヘッド1と、該センサヘッド1と相対的に直線運動をする格子パターンを有するスケール2とで構成される反射型光学式エンコーダである。
上記具体的な実施の形態から以下のような構成の発明が抽出される。
前記センサヘッドは、電極が形成されるとともに、前記光源及び前記光検出器が所定位置に配置された配線基板と、前記配線基板と、前記光源と、前記光検出器とを覆う樹脂とを有し、
前記樹脂の表面の少なくとも一部に第1の導電部材を配置したことを特徴とする光学式エンコーダ。
この発明に関する実施の形態は、第1の実施の形態が対応する。
樹脂の表面の一部に導電部材を形成することにより、センサヘッドの製造時及びセンサヘッドの装置への取付け時にセンサヘッド表面を触るもしくは擦るような作業があっても、樹脂に静電気を発生させることがなく、センサヘッド内に配した半導体機能素子を破壊することを防止することができる。
この発明に関する実施の形態は、第1の実施の形態が対応する。
構成1と同じ。
この発明に関する実施の形態は、第1の実施の形態が対応する。
構成1と同じ、且つ導電部材を樹脂より水分浸透性が小さくまた水分による酸化が進まない金属酸化物とすることにより、樹脂封止で問題となる水分浸透による光学部材と樹脂間の剥離によるエンコーダ信号の劣化及び電極部材の腐食による電気的導通不良などを防止でき、信号の安定した信頼性が高い光学式エンコーダを得ることができる。
この発明に関する実施の形態は、第2の実施の形態が対応する。
構成1と同じ、且つ更なる静電気破壊防止対策構造なので、センサヘッドの製造時及び装置への取付け時の歩留まりの更なる向上につながる。
この発明に関する実施の形態は、第3の実施の形態が対応する。
構成4と同じ。
構成4と同じ。
この発明に関する実施の形態は、第5の実施の形態が対応する。
構成2と同じ、且つクリーニング機能材を配することにより水分の付着、汚れを防止できるので、安定したエンコーダ信号を得ることができる。
2 スケール
3 配線基板
4 光源
5 光検出器
6 樹脂
7 導電部材
8 導電ワイヤ
31 グランド電極
51 半導体IC
312 表面電極
313 引出電極
314 裏面電極
Claims (7)
- 1つ以上の光源と1つ以上の光検出器を有するセンサヘッドと、前記センサヘッドと相対的に移動可能なスケールとから構成され、前記光源から出射した光を前記スケールを介して前記光検出器で受光して前記センサヘッドから前記センサヘッドと前記スケールとの位置関係を示す変位信号を出力する光学式エンコーダであって、
前記センサヘッドは、電極が形成されるとともに、前記光源及び前記光検出器が所定位置に配置された配線基板と、前記配線基板と、前記光源と、前記光検出器とを覆う樹脂とを有し、
前記樹脂の表面の少なくとも一部に第1の導電部材を配置したことを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記第1の導電部材は前記光源からの光を透過することを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1の導電部材は金属酸化物からなることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
- 前記配線基板に形成された電極と、前記第1の導電部材とは第2の導電部材により電気的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
- 前記第2の導電部材は、前記センサヘッドの樹脂内部に配置されていることを特徴とする請求項4記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1の導電部材を前記樹脂表面の全域に配置したことを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1の導電部材の少なくとも一部にクリーニング機能材を配置したことを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
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