JP5040658B2 - 位置検出装置、二次元位置計測装置、光学機器および位置検出方法 - Google Patents
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Description
請求項6の発明の位置検出装置は、相対的に移動する第1部材と第2部材との第1方向の相対位置を検出する位置検出装置であって、第1部材は、第1領域に第1方向と直交する方向に互いに離間して備えられS極の磁気を発生する第1及び第2磁気発生部と、第1領域から第1方向に間隔を隔てた第2領域に第1方向と直交する方向に互いに離間して備えられN極の磁気を発生する第3及び第4磁気発生部と、第1領域と第2領域の間の第3領域に備えられ、第1及び第2磁気発生部及び第3及び第4磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第1部分とを含み、第2部材は、第1及び第2磁気発生部及び第3及び第4磁気発生部から発生する磁気を検出する磁気検出部を有し、第1磁気発生部と第2磁気発生部との間隔、および第3磁気発生部と第4磁気発生部との間隔は、それぞれ、第1方向に沿って変化することを特徴とする。
請求項12の発明の位置検出方法は、相対的に移動する第1部材と第2部材との第1方向の相対位置を検出する位置検出方法であって、第1部材は、第1領域に備えられS極の磁気を発生させ、第1領域において第1方向に備えられ第1磁気発生部よりも磁気の発生量が低い磁気を第1部分より発生させ、第1領域から第1方向に間隔を隔てた第2領域に備えられ第2磁気発生部よりN極の磁気を発生させ、第2領域において第1方向に備えられ第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い磁気を第2部分より発生させ、第1領域と第2領域との間の第3領域に備えられ第1磁気発生部及び第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い磁気を第3部分より発生させ、第2部材は、第1磁気発生部及び第2磁気発生部から発生する磁気を磁気検出部により検出し、第1部分は、第1方向に沿って第2磁気発生部から離れるほど、第1部材と第2部材との対向方向及び第1方向と直交する第2方向の幅が狭くなり、第2部分は、第1方向に沿って第1磁気発生部から離れるほど第2方向の幅が狭くなることを特徴とする。
図1〜6を用いて、本発明の第1の実施の形態による位置検出装置について詳細に説明する。第1の実施の形態では、位置検出装置を振れ補正機能付きカメラに適用する例を説明する。図1は、第1の実施の形態による振れ補正機能付きカメラの概念図である。図2(a)(b)は、カメラに搭載される振れ補正装置の正面図、およびA−A断面図である。
(1)磁石213aの厚さ:1.0mm
(2)磁石213aのそれぞれの検出方向長:1.65mm
(3)磁石213aの非検出方向長:3mm
(4)無磁部領域NMの幅:1.3mm
(5)無磁部領域NMa、NMbの磁石213a中央側の幅:0.3mm
(6)無磁部領域NMa、NMbの磁石213a外端部側の幅:0.1mm
(7)磁石213aと磁気検出素子213bとの間隔:1.0mm
(1)第1の実施の形態の説明では、各N極、S極のそれぞれの略中央の無磁部領域は略台形としたが、無磁部領域の形状はこれに限定されるものではない。検出方向の変位増加にともない無磁部領域NMa、NMbの幅がそれぞれ徐々に狭くなるような形状をしていれば、図8に示すような楔形状でもよい。また、図9(a)、(b)に示すように、磁石213aの中心から磁石213aの外端部方向へ離れるほど段階的に小さくなる複数の矩形を配列する形状としてもよい。また、N極とS極に設けられる無磁部領域NMa、NMbの少なくとも一方を台形状や楔形状等に形成してもよい。
(3)第1の実施の形態の説明では、磁石213aの各N極、S極の略中央は無磁部領域としたが、低磁部領域としてもよい。つまり、磁石213aの各N極、S極の略中央を所定の形状とした凹部を設け、磁場強度を低下させた低磁部としてもよい。具体的には、例えば図10(a)〜(b)に示すように磁石213aの非検出方向の中央付近に、低磁部領域として溝を形成する。図10(a)のC-C断面図、B-B断面図、およびA-A断面図に示すように、検出方向に沿って無磁部領域NMから離れるにしたがって、溝幅が狭くなる。なお、溝の壁面に勾配をつけるように設計してもよい。もしくは、図11(a)(b)に示すように、磁石213a断面に位置検出方向に対して勾配を持たせることにより低磁部領域を形成し、位置検出方向の変位増加にともない磁場強度が増加するようにしてもよい。すなわち、低磁部領域は、磁石213aのN極およびS極よりも低い磁気を発生する領域である。
(5)磁気検出素子213bとしてホール素子や磁気抵抗効果素子などの、磁場強度に応じた出力を発生させるものを用いてもよい。
(6)位置検出装置213における各構成要素の寸法は、上記記載の値に限定されるものではない。
(8)第1の実施の形態の説明では、二次元方向の位置検出方向について説明したが、一軸方向のみの位置検出装置にも本発明を適用することができる。
以下に、図12〜図19を用いて第2の実施の形態による位置検出装置を詳細に説明する。図12(a)(b)は、第2の実施の形態による位置検出装置を有する振れ補正装置の構成を示す概略図であり、振れ補正装置の光軸方向から見た状態を示している。第2の実施の形態による位置検出装置は、ホール素子に対して平行移動するマグネットに、検出方向に配列されたN極およびS極をそれぞれ有する磁化領域を、検出方向と直交する非検出方向に離間して複数設ける。そして、それらの磁化領域の間隙に無磁化領域を配置する。
(1)磁石120,520のレンズ鏡筒20の光軸I方向の厚さ:1.0mm
(2)磁石120,520のX方向(検出方向)の長さ:1.65mm
(3)磁石120,520のY方向(非検出方向)の長さ:3.0mm
(4)X方向におけるN極とS極との間隔:1.0mm
(5)磁石120,520と磁気検出部110との間隔:1.0mm
(6)X方向位置検出装置100のY方向における無磁化領域124の幅:0.2mm
次に、本発明の第3の実施の形態による位置検出装置について説明する。なお、以下の説明において、上述した第2の実施の形態と同様の部分については同じ符号を付して説明を省略する。ここでは、第2の実施の形態との相違点について主に説明する。
次に、本発明の第4の実施の形態による位置検出装置について説明する。なお、以下の説明において、上述した第2の実施の形態と同様の部分については同じ符号を付して説明を省略する。ここでは、第2の実施の形態との相違点について主に説明する。
(1)第2および第3の実施の形態は、複数の磁化領域の間に無磁化領域または低磁化領域を配置しているが、これには限らず、無磁化領域と低磁化領域とを組み合わせて配置してもよい。また、無磁化領域または低磁化領域は、相対移動部のN極側およびS極側の少なくとも一方に備えてもよい。
(2)第2および第3の実施の形態のような無磁化領域、低磁化領域を有する相対移動部は、その両側の磁化領域と一体に形成された磁性体を用いて、局所的に着磁の有無、程度を異ならせて形成することができる。ただし、これには限定されず、別体に形成され、それぞれ着磁の有無、程度を異ならせた磁性体を組み合わせたり、無磁化領域に相当する部分を非磁性体によって形成してもよい。
(3)第4の実施の形態は、凹部として検出方向に延在する矩形断面の溝部を備えるが、凹部の形状はこれに限らず他の形状であってもよい。また、N極側およびS極側の一方にのみ凹部を形成してもよい。
(4)第2及び第3の実施の形態のように、無磁化領域または低磁化領域が形成された相対移動部に、第4の実施の形態のような溝部等の凹部を形成してもよい。
本出願は日本国特許出願2005−070775号(2005年3月14日出願)、および日本国特許出願2005−310307号(2005年10月25日出願)を基礎として、その内容は引用文としてここに組み込まれる。
Claims (13)
- 相対的に移動する第1部材と第2部材との第1方向の相対位置を検出する位置検出装置であって、
前記第1部材は、第1領域に備えられS極の磁気を発生する第1磁気発生部と、前記第1領域において前記第1方向に備えられ前記第1磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第1部分と、前記第1領域から前記第1方向に間隔を隔てた第2領域に備えられN極の磁気を発生する第2磁気発生部と、前記第2領域において前記第1方向に備えられ前記第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第2部分と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域に備えられ前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第3部分とを含み、
前記第2部材は、前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部から発生する磁気を検出する磁気検出部を有し、
前記第1部分は、前記第1方向に沿って前記第2磁気発生部から離れるほど、前記第1部材と前記第2部材との対向方向及び前記第1方向と直交する第2方向の幅が狭くなり、
前記第2部分は、前記第1方向に沿って前記第1磁気発生部から離れるほど前記第2方向の幅が狭くなることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置であって、
前記第2方向でみて、前記第1部分は前記第1磁気発生部に挟まれ、前記第2部分は前記第2磁気発生部に挟まれていることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1または請求項2に記載の位置検出装置であって、
前記第1部分、前記第2部分及び前記第3部分は、非磁性体であることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに1項に記載の位置検出装置において、
前記第1部分及び前記第2部分は、楔形状であることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに1項に記載の位置検出装置において、
前記第1部分及び前記第2部分は、前記第1磁気部および前記第2磁気部に備えられた凹部であることを特徴とする位置検出装置。 - 相対的に移動する第1部材と第2部材との第1方向の相対位置を検出する位置検出装置であって、
前記第1部材は、第1領域に前記第1部材と前記第2部材との対向方向及び前記第1方向と直交する第2方向に互いに離間して備えられS極の磁気を発生する第1及び第2磁気発生部と、前記第1領域から前記第1方向に間隔を隔てた第2領域に前記第2方向に離間して備えられN極の磁気を発生する第3及び第4磁気発生部と、
前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域に備えられ、前記第1磁気発生部、前記第2磁気発生部、前記第3及び前記第4磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第1部分とを含み、
前記第2部材は、前記第1磁気発生部、前記第2磁気発生部、前記第3及び前記第4磁気発生部から発生する磁気を検出する磁気検出部を有し、
前記第2方向における前記第1磁気発生部と前記第2磁気発生部との間隔は、前記第1方向に沿って前記第3磁気発生部及び前記第4磁気発生部から離れるほど狭くなり、
前記第2方向における前記第3磁気発生部と前記第4磁気発生部との間隔は、前記第1方向に沿って前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部から離れるほど狭くなることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6に記載の位置検出装置であって、
前記第2方向における前記第1磁気発生部と前記第2磁気発生部との間には、前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第1低磁気部が備えられ、
前記第2方向における前記第3磁気発生部と前記第4磁気発生部との間には、前記第3磁気発生部及び前記第4磁気発生部よりも磁気の発生量が低い第2低磁気部が備えられていることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項6に記載の位置検出装置であって、
前記第2方向における前記第1磁気発生部と前記第2磁気発生部との間、及び、前記第2方向における前記第3磁気発生部と前記第4磁気発生部との間には、非磁性体が備えられていることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の位置検出装置において、
前記磁気検出部は、ホール素子または磁気抵抗効果素子であることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の位置検出装置を2つ有し、一方の位置検出装置の位置検出方向と、他方の位置検出装置の位置検出方向とが互いに直交することを特徴とする二次元位置計測装置。
- 請求項10に記載の二次元位置計測装置と、
前記二次元位置計測装置の計測結果を用いて制御を行う制御部とを備えることを特徴とする光学機器。 - 相対的に移動する第1部材と第2部材との第1方向の相対位置を検出する位置検出方法であって、
前記第1部材は、第1領域に備えられS極の磁気を発生させ、前記第1領域において前記第1方向に備えられ前記第1磁気発生部よりも磁気の発生量が低い磁気を第1部分より発生させ、前記第1領域から前記第1方向に間隔を隔てた第2領域に備えられ第2磁気発生部よりN極の磁気を発生させ、前記第2領域において前記第1方向に備えられ前記第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い磁気を第2部分より発生させ、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域に備えられ前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部よりも磁気の発生量が低い磁気を第3部分より発生させ、
前記第2部材は、前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部から発生する磁気を磁気検出部により検出し、
前記第1部分は、前記第1方向に沿って前記第2磁気発生部から離れるほど、前記第1部材と前記第2部材との対向方向及び前記第1方向と直交する第2方向の幅が狭くなり、
前記第2部分は、前記第1方向に沿って前記第1磁気発生部から離れるほど前記第2方向の幅が狭くなることを特徴とする位置検出方法。 - 請求項12に記載の位置検出方法において、
前記第1部分及び前記第2部分は、非磁性体であることを特徴とする位置検出方法。
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