JP5038327B2 - レーザ熱分解の作用によるナノ又はサブミクロン粉体の連続流生成システム及び方法 - Google Patents
レーザ熱分解の作用によるナノ又はサブミクロン粉体の連続流生成システム及び方法 Download PDFInfo
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Description
− 試薬を吐出するための断面積の横方向の広がりによって、生成速度の増大が得られる。
− レーザ光線を、特に長方形又は楕円形に細長い形状に形作ることによって、大きな出力密度範囲にわたって生成速度が顕著に増大する。
− 試薬を放出するインジェクタの断面積を、比較的大きな出力密度範囲にわたって一定に維持することができる。
1.生成粒子の均一性の観点から、この構成によって、同じ生成速度で、図1に示すシステムの場合と比べてより狭い粒度分布を有する粉体粒子の生成が可能となる。
光線11の軸線OXに垂直に配置されている3つのインジェクタ22、23、24を使用したナノSiC粉体生成の一例では、光学装置12は、光線11の軸線に垂直な軸線に沿って出力を分配するために使用される。ナノSiC粒子を生成するために使用される前駆体ガスであるシラン(SiH4)及びアセチレン(C2H2)の混合流れ速度は、それぞれ3及び1.5L/分である。各インジェクタは、隣のインジェクタから独立して、平均粒径20nm及び粒度分布+又は−5nmであるSiCナノ粒子300g/hを生成する。よって、全体として、粒径20nmで+/−5nmのSiCナノ粒子900g/hが生成される。
いくつかの用途では、小さな粒度分布を有することが重要である。焼結セラミックス及びより詳細にはナノセラミックスの特性は、例えば、それを構成している粒子の粒度分散に大きく依存し、この分散自体は、使用される粉体バッチの粒子の粒度分散に依存する。例えば、改善された機械的又は熱機械的特性を備えているセラミックスを得るために、後者が粒子の平均粒度付近の狭い分布を有する必要があることが知られている。
Claims (10)
- 熱分解レーザ(10)の作用により、ナノ又はサブミクロン粉体の連続流を生成するシステムであって、
軸OXに沿ってレーザ光線を発するレーザと、
細長い光線を伝搬させる光学装置(12)であって、寸法が調節可能な細長い断面内の、前記軸OXに垂直な第1軸に沿ってエネルギーを分布させ、前記細長い断面の幅と高さを互いに独立に調節する、光学装置と、
前記細長い光線と、前記軸OX及び前記第1軸を含む平面に垂直な、少なくとも2つの試薬の流れとの間に配置された少なくとも1つの相互作用領域と、
相互作用領域において前記少なくとも2つの試薬の流れをそれぞれが発する少なくとも2つのインジェクタとを有し、
前記少なくとも2つのインジェクタは、前記少なくとも2つのインジェクタから発せられる前記試薬の流れが、前記細長い光線の前記細長い断面によって全てカバーされるように、前記第1軸と平行な軸に沿って配置される、システム。 - 前記細長い断面が、長方形の断面である、請求項1に記載のシステム。
- 各相互作用領域に達する前の前記光線の出力密度が等しい、請求項1に記載のシステム。
- 前記レーザ光線のエネルギーは、前記レーザ光線のエネルギーが全て吸収されるまで、前記相互作用領域において吸収される、ことを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のシステム。
- 熱分解レーザ(10)の作用により、ナノ又はサブミクロン粉体の連続流を生成する方法であって、
軸細OXに沿って発せられたレーザ光線のエネルギーは、光学装置(12)が前記レーザ光線を受けて細長い光線を伝搬させることで、寸法が調節可能であって、幅と高さを互いに独立に調節することができる細長い断面に含まれる、前記軸OXに垂直な第1軸に沿って、分布すること、
前記細長い光線と、前記軸OX及び前記第1軸を含む平面に垂直な、少なくとも2つの試薬の流れとの間に配置された少なくとも1つの相互作用領域で、前記少なくとも2つの試薬の流れは、各相互作用領域において、前記第1軸と平行な軸に沿って配置された、少なくとも2つのインジェクタから、前記少なくとも2つのインジェクタから発せられる前記試薬の流れが、前記細長い光線の前記細長い断面によってすべてカバーされるように、発せられることを特徴とする方法。 - 前記細長い断面が、長方形又は楕円形の断面である、請求項5に記載の方法。
- 相互作用領域での吸収による前記光線の出力密度損失が、後続の相互作用領域でエネルギー束を集中させることによって補償される、請求項5に記載の方法。
- 前記試薬の性質を、同じ相互作用領域で1つのインジェクタから他のインジェクタへと変化させる、請求項5に記載の方法。
- 前記相互作用領域の前記インジェクタが、トレーサ種の合成又は導入のために使用される、請求項5に記載の方法。
- 前記レーザ光線のエネルギーは、前記レーザ光線のエネルギーが全て吸収されるまで、前記相互作用領域において吸収される、ことを特徴とする、請求項5から9のいずれか一項に記載の方法。
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