JP5024813B2 - 面発光素子の製造方法 - Google Patents
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C. A. Spindt : J. Appl. Phys., 39, 3504 (1968) K. Betsui: Tech. Dig. IVMC. , (1991) p26 「光エレクトロニクスの基礎」、(株)日本理工出版会、2002年7月20日再版発行 しかしながら、上述した円錐形のエミッタでは、いずれもエミッタ材料である金属、シリコンあるいはそれらの化合物は、空気中で容易に酸化されて表面に酸化物が形成されるが、酸化物は仕事関数が高く、また絶縁体であるため、電子が放出されにくいという問題がある。また、エミッタ部への電界集中が不可欠であり、エミッタ材料表面から電子を放出させるためには、電子放出部の曲率半径をできるだけ小さくする必要がある。そのため、エミッタに極微細加工を施し、放出部の先端形状を円錐形として、その先端の曲率半径を数ナノメーター以下として、このような円錐形エミッタを多数作製し、アレイ上に配置する必要がある。しかしながら、このような超精密加工を要するため、構造的欠陥が生じやすく、大面積に均一に作製することは容易ではなく、歩留まりが低下する上、欠陥検査等も不可欠となり、製造コストが高くなるという問題があった。
以下の手順により、図3に示す構造を有する面発光素子サンプルを製造した。
雰囲気:7Paのアルゴン(Ar)
放電電流:35mA
スパッタ時間:3分以上
次に、コバルトを蒸着した基体を、下記の条件で通電加熱して基体を赤熱させることにより触媒前処理を行い、コバルトを酸化して酸化コバルト膜を形成した。
処理温度:900℃
処理時間:10分
次いで、下記の条件で固液界面接触分解法を用いて、酸化コバルト膜上にカーボンナノチューブ膜22を合成した。
第1の段階
合成温度:600℃
合成時間:1分
第2の段階
合成温度:900℃、
合成時間:5分
通電を停止して第2の段階の合成反応を終了させた後、直ちに基体をメタノールから引き上げ、3秒間徐冷した。その結果、高密度、高結晶性、及び高配向のカーボンナノチューブ膜22を有するカソードを得た。
Claims (5)
- 基体上にナノカーボン材料を成膜してなるナノカーボンエミッタと、このナノカーボンエミッタに対向して配置された、透明基体上に電極を介して蛍光体層を形成してなるアノードとを具備し、前記ナノカーボンエミッタとアノード間が真空に保持されている面発光素子の製造方法であって、
前記基体上へのナノカーボン材料の成膜を、前記基体表面に触媒を担持させる工程、有機液体中での固液界面接触分解法により前記触媒を担持した基体表面にナノカーボン材料を合成し、析出させる工程、及び前記基体を前記有機液体から取り出した後、1秒乃至10秒間空冷する工程
により行うことを特徴とする面発光素子の製造方法。 - 前記触媒は酸化コバルトであることを特徴とする請求項1に記載の面発光素子の製造方法。
- 前記基体表面に触媒を担持させる工程を、基体表面に10nm以下の膜厚のコバルト膜を形成した後、酸化雰囲気中で800℃から1000℃の温度範囲で5分乃至20分間、熱処理することにより行うことを特徴とする請求項1に記載の面発光素子の製造方法。
- 前記有機液体中での固液界面接触分解法により前記触媒を担持した基体表面にナノカーボン材料を合成し、析出させる工程は、500℃以上700℃以下の範囲の基体温度で行う第1の合成段階と、750℃以上1100℃以下の範囲の基体温度で行う第2の合成段階とを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の面発光素子の製造方法。
- 上記第1の合成段階の合成時間は10秒以上3分以下であることを特徴とする請求項4に記載の面発光素子の製造方法。
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