JP5022981B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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図1は、荷電粒子線装置の構成図である。荷電粒子線装置100において、電子源1から放出された電子線2は、電子光学鏡筒3の内部で、対物レンズ4によって収束し、偏向レンズ5によって偏向される。また、電子線2は試料6上の偏向領域内で走査され、検出器7で捉えた2次電子の検出信号は、増幅器11によって増幅され、コンソール8のコンピュータ装置30に送られる。そして、コンピュータ装置30によって、試料6の表面形状などの情報を得ることができる。
図2は、第1実施形態の荷電粒子線装置の構成を示す図である。なお、図9と同じ構成には同じ符号を付し、説明を適宜省略する。第1実施形態では、SEM画像14の切り替わり時の不連続な2次電子検出信号の影響を低減させて、電子線の照射位置の安定性を評価するための情報を得る方法について説明する。
図4は、第2実施形態の荷電粒子線装置の構成を示す図である。第2実施形態では、検出器7から第2のローパスフィルタ21までの構成は第1実施形態の場合と同じであるので、その部分の構成の説明を省略する。第2のローパスフィルタ21が出力した信号を、その後、A/D変換器22がデジタル信号に変換し、コンピュータ装置30が、メモリ23に記憶し、ウィンドウ処理24、FFT演算15、平均化処理25を行い、その演算処理結果をディスプレイ9に表示する(表示内容については第6実施形態で後記)。なお、ウィンドウ処理24とは、漏れ誤差(リーケージ誤差)を減らすために、データの切り取り(ウィンドウ)の始点と終点の両端を徐々に小さくしていき、次の周期に移る境目をゼロに近くするような重み付け処理のことである。
図5は、第3実施形態の荷電粒子線装置の構成を示す図である。第3実施形態の特徴は、増幅器11の出力をA/D変換し、それ以降の処理をプログラム(ソフトウェア)で行っていることである。具体的には、まず、増幅器11が出力した信号を、A/D変換器22がデジタル信号に変換する。その後、コンピュータ装置30は、そのA/D変換したデータ(図3(a))をメモリ23に書き込み、オフセット調整26を行う(図3(b))。次に、コンピュータ装置30は、その出力を第1のローパスフィルタ17a(ソフトウェアによるローパスフィルタ)で処理し(図3(c))、ゼロ補完27でしきい値VL(マイナスの値)を下回った場合に出力をゼロ電位で補完する(図3(d))。そして、コンピュータ装置30は、その出力を第2のローパスフィルタ21a(ソフトウェアによるローパスフィルタ)で処理し、それ以降は、第1実施形態の場合と同様、ウィンドウ処理24、FFT演算15、平均化処理25を行い、その演算結果をディスプレイ9に表示する
図6は、第4実施形態の荷電粒子線装置の構成を示す図である。第4実施形態では、処理内容は第3実施形態の場合と同じであるが、増幅器11とA/D変換器22もコンソール8として一体化した点が特徴である。
図7は、第5実施形態の荷電粒子線装置の構成を示す図である。第5実施形態では、処理内容は第3実施形態の場合と同じであるが、A/D変換器22のデジタル出力を受け付けるメモリ23から平均化処理25までの機能をFPGA(Field Programmable Gate Array)40(あるいはCPLD(Complex Programmable Logic Device))に集約(半導体チップ化)している。つまり、この場合、図1の構成におけるコンピュータ装置30がFPGA40(またはCPLD)に置き換わる。
図8は、周波数解析の結果を表示するディスプレイの画面例である。ディスプレイ9には、SEM画像14、条件50、グラフ28およびパワースペクトル29が表示される。
グラフ28は、3枚のSEM画像14を取得したときの電子線の照射位置の変動の時刻歴波形(時間的変化を示す波形)を示し、縦軸は変位、横軸は時間である。
パワースペクトル29は、前記した時刻歴波形をFFT演算した結果であり、縦軸は振幅、横軸は周波数である。
2 電子線
3 電子光学鏡筒
4 対物レンズ
5 偏向レンズ
6 試料
7 検出器
8 コンソール
9 ディスプレイ
10 パターンエッジ
11 増幅器
12 画像処理装置
13 ローパスフィルタ
14 SEM画像
15 FFT演算
16 ACカップリング
17,17a 第1のローパスフィルタ
18 アナログスイッチ
19 反転増幅器
20 高抵抗
21,21a 第2のローパスフィルタ
22 A/D変換器
23 メモリ
24 ウィンドウ処理
25 平均化処理
26 オフセット調整
27 ゼロ補完
28 グラフ
29 パワースペクトル
30 コンピュータ装置
40 FPGA(CPLD)
100 荷電粒子線装置
Claims (4)
- 試料へ荷電粒子線を照射し前記試料から発生する2次電子を検出器で検出して検出画像を生成する機能を有し、さらに、前記荷電粒子線の照射位置の安定性に影響を与える可能性のある低周波の環境外乱に関する情報を表示する機能を有する荷電粒子線装置であって、
前記検出器から出力される2次電子検出信号のオフセットを取り除くACカップリングと、
前記オフセットを取り除かれた2次電子検出信号の入力を受け付けて、前記荷電粒子線の走査による高周波成分を取り除くローパスフィルタと、
前記高周波成分を取り除かれた2次電子検出信号の入力を受け付けて、前記検出画像の切り替わり時の不連続波形成分をキャンセルして連続波形成分に基づいて補完する補完手段と、
前記補完された2次電子検出信号の波形を周波数解析する解析手段と、
前記周波数解析の結果を、前記低周波の環境外乱に関する情報として表示する表示手段と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記補完手段は、
前記高周波成分を取り除かれた2次電子検出信号の入力を受け付けて、前記検出画像の切り替わり時の不連続波形成分をゼロ電位にするスイッチと、
前記不連続波形成分をゼロ電位とされた2次電子検出信号の入力を受け付けて、ゼロ電位とされた部分を連続波形成分に基づいて補完するための第2のローパスフィルタと、
を備えて構成されることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記表示手段は、
前記荷電粒子線の前記試料上における照射位置の変動の時間的変化を表す時刻歴波形と、当該時刻歴波形を周波数解析した結果と、を表示し、前記時刻歴波形は複数の前記検出画像の切り替わり前後の波形を含んでいる
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の荷電粒子線装置。 - 前記周波数解析の結果は、前記荷電粒子線の前記試料上における照射位置の変動の時間的変化を表す時刻歴波形に関するパワースペクトルを含んでいることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の荷電粒子線装置。
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